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题名超高真空原位表面分析摩擦实验装置的研制
被引量:1
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作者
齐尚奎
王一明
张延坤
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机构
中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室
中国科学院沈阳科学仪器厂
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出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
1991年第1期15-22,共8页
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文摘
研制了一台超高真空摩擦实验装置,与美国P.E公司生产的PHI—550多功能电子能谱仪联机,实现了在超高真空条件下进行摩擦试验,并配置有多种表面分析手段(AES、XPS、SIMS),原位分析评价材料表面的组成变化,对摩擦学及多种材料学科的应用基础研究有一定的应用前景。
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关键词
表面分析
材料学科
多功能电子
摩擦学研究
能谱仪
原位分析
试验机
基础研究
真空室
原子尺度
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分类号
TB7-55
[一般工业技术—真空技术]
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题名用于物理研究的分子束外延模拟实验装置
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作者
董国胜
侯晓远
丁训民
陈平
张恩善
谢琪
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机构
复旦大学表面物理实验室
中国科学院沈阳科学仪器厂
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出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
1990年第2期95-98,共4页
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文摘
本文报道了一台用于物理研究的分子束外延模拟实验装置的设计和调试。这一模拟实验装置和商业化的大型测试仪器相连接,允许在不破坏超高真空状态时测试用分子束外延方法制备的样品,提供了开展应用研究和在线检测的手段。
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关键词
分子束外延
物理研究
模拟实验装置
在线检测
测试仪器
束源
样品架
物理测试
准备室
应用研究
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分类号
TB7-55
[一般工业技术—真空技术]
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题名表面芯能级联合谱仪
- 3
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作者
华中一
诸葛健
潘星龙
陈广禄
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机构
复旦大学现代物理研究所
沈阳科学仪器厂
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出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
1988年第3期284-291,共8页
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文摘
本文叙述一种包含俄歇电子谱、俄歇电子出现电势谱、软x 射线出现电势谱和消隐电势谱等四种表面分析手段的联合谱仪。它们利用同一筒镜型电子能量分析器在带通、高通和无色散模式下运行,因此超高真空工作室的结构十分紧凑,并容易对同一表面用不同的谱加以研究。最后对本仪器的性能和每种谱的特点作了扼要的说明。
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关键词
电子能量分析器
俄歇电子
筒镜分析器
消隐
能量分辨率
带通
电子倍增器
锁定放大器
调制电压
子谱
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分类号
TN1
[电子电信—物理电子学]
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题名筒镜分析器最佳工作参数的实验测试
被引量:1
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作者
王钤
耿德忠
陈广禄
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机构
复旦大学
中国科学院沈阳科学仪器厂
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出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
1985年第1期22-27,共6页
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文摘
利用筒镜分析器(CMA)固有的S形象差曲线求得最佳工作参数来设计CMA,可以显著地减小角度象差而大大提高俄歇电子能谱仪(AES)的性能。本文叙述用这一新方法设计的CMA的结构尺寸和测试结果,并与原按二级聚焦法设计的CMA的性能进行了比较。
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关键词
筒镜分析器
最佳工作参数
象差
电子能量分析器
能量分辨率
俄歇电子能谱仪
透过率
电子束直径
象点
电极位置
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分类号
O65
[理学—分析化学]
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