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衬底温度对ZnO薄膜生长过程和微结构的影响
被引量：
6
1
作者
刘永利
刘欢
+2 位作者
李蔚
赵骞
祁阳
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期631-638,共8页
从原子尺度上去研究薄膜生长过程中温度对薄膜取向性、缺陷结构以及薄膜完整性的影响和作用规律,对于解释薄膜生长的物理本质、控制生长条件、提高薄膜制备的质量具有重要意义.本文应用基于反应力场的分子动力学方法研究了ZnO薄膜(000l...
从原子尺度上去研究薄膜生长过程中温度对薄膜取向性、缺陷结构以及薄膜完整性的影响和作用规律,对于解释薄膜生长的物理本质、控制生长条件、提高薄膜制备的质量具有重要意义.本文应用基于反应力场的分子动力学方法研究了ZnO薄膜(000l)表面作为衬底的薄膜沉积生长过程,初步讨论了衬底温度(200、500和800K)变化对沉积较薄ZnO膜质量的影响,部分结果与实验观察相符.结果表明,衬底温度在500K左右时,沉积原子结构径向分布函数曲线特征峰尖锐、明显,有序度较高,注入和溅射对薄膜完整性影响较小,沉积形成的薄膜结构稳定而又致密.在预置衬底表面平坦的情况下薄膜呈现一种链岛状的生长模式,每原子层均具有两种生长取向,导致其生长前锋交汇处形成了一种新的有序缺陷.
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关键词
分子动力学方法
薄膜生长
微结构
ZNO
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职称材料
题名
衬底温度对ZnO薄膜生长过程和微结构的影响
被引量：
6
1
作者
刘永利
刘欢
李蔚
赵骞
祁阳
机构
东北
大学
理学院
材料
物理
与化学研究所
沈阳工业大学理学院物理实验中心
出处
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期631-638,共8页
基金
教育部中央高校基本科研业务费(N100305001,N110205001,N110105001)
国家自然科学基金(51172040)资助项目~~
文摘
从原子尺度上去研究薄膜生长过程中温度对薄膜取向性、缺陷结构以及薄膜完整性的影响和作用规律,对于解释薄膜生长的物理本质、控制生长条件、提高薄膜制备的质量具有重要意义.本文应用基于反应力场的分子动力学方法研究了ZnO薄膜(000l)表面作为衬底的薄膜沉积生长过程,初步讨论了衬底温度(200、500和800K)变化对沉积较薄ZnO膜质量的影响,部分结果与实验观察相符.结果表明,衬底温度在500K左右时,沉积原子结构径向分布函数曲线特征峰尖锐、明显,有序度较高,注入和溅射对薄膜完整性影响较小,沉积形成的薄膜结构稳定而又致密.在预置衬底表面平坦的情况下薄膜呈现一种链岛状的生长模式,每原子层均具有两种生长取向,导致其生长前锋交汇处形成了一种新的有序缺陷.
关键词
分子动力学方法
薄膜生长
微结构
ZNO
Keywords
Molecular dynamics method
Film growth
Microstructure
ZnO
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
衬底温度对ZnO薄膜生长过程和微结构的影响
刘永利
刘欢
李蔚
赵骞
祁阳
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2013
6
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