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等离子体氮化与物理气相沉积复合处理的研究进展 被引量:4
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作者 赵彦辉 董利民 +3 位作者 杜昊 于传跃 肖金泉 于宝海 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1-4,71,共5页
简要综述了等离子体氮化及物理气相沉积复合处理的新进展,主要介绍了复合处理的工艺进展、复合处理镀层的组织结构、膜/基结合力、耐磨性和耐腐蚀性,并对复合处理的应用前景进行了展望。
关键词 等离子体氮化 物理气相沉积 复合处理 组织 性能
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