-
题名超锐截止生物医学滤光片的研制(特邀)
被引量：6
- 1
-
-
作者
阴晓俊
王瑞生
赵帅锋
任少鹏
高鹏
费书国
-
机构
沈阳仪表科学研究院有限公司汇博光学公司
传感器国家工程研究中心
-
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第9期20-31,共12页
-
基金
科技部创新方法专项(No.2020IM010400)。
-
文摘
高端荧光、拉曼等生物医学检测需要超高透射、超锐截止滤光片,包括带通、单侧截止、多通带、陷波及分色等多种典型光谱类型。本文简要介绍了五种典型光谱滤光片的膜系设计方法,并以230层双侧锐截止带通典型膜系为代表,详细介绍了超多层薄膜的等离子反应溅射镀制工艺,多监控片膜厚控制及膜厚误差模拟仿真技术,超锐截止光谱表征技术及检测方法。最后给出研制的五种典型锐截止生物医学滤光片镀制结果(部分结果含增透):单面镀膜双侧锐截止带通滤光片的透射率大于95%,截止陡度优于1%;单面镀膜单侧锐截止滤光片峰值透射率大于95%,截止陡度优于0.7%;双面镀膜三通带锐截止滤光片平均透射率大于95%,截止陡度优于1%;陷波滤光片截止深度优于OD6,通带透射率大于90%;分色镜(45°入射)陡度优于1%,平均透射率大于95%。
-
关键词
生物医学
滤光片
超多层薄膜
荧光
拉曼
等离子反应磁控溅射
-
Keywords
Biomedical science
Filter
Super multilayer films
Fluorescence
Raman
Plasma assisted reactive magnetron sputtering
-
分类号
O432.2
[机械工程—光学工程]
-
