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使用电子回旋波共振等离子体源辅助中频磁控溅射沉积氧化铌薄膜
被引量：
1
1
作者
殷冀平
吕少波
+1 位作者
蔺增
巴德纯
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期273-279,共7页
中频磁控溅射虽相较于电子束蒸发成膜质量更好,但不可避免仍然存在一部分颗粒物,将严重影响光学薄膜的质量和光学特性。研究了使用电子回旋波共振(ECWR)等离子体源作为辅助设备与中频磁控溅射相配合沉积的氧化铌薄膜,进行了等离子体诊...
中频磁控溅射虽相较于电子束蒸发成膜质量更好,但不可避免仍然存在一部分颗粒物,将严重影响光学薄膜的质量和光学特性。研究了使用电子回旋波共振(ECWR)等离子体源作为辅助设备与中频磁控溅射相配合沉积的氧化铌薄膜,进行了等离子体诊断和薄膜表征。结果表明:在相同条件下,ECWR等离子体放电的氧化效果明显优于传统的感应耦合等离子体放电。ECWR等离子体源能够在较低压强的纯氧环境下稳定产生高密度等离子体,无须通过氩气作“引子”来激发维持氧气的稳定放电,展示了电子回旋波共振放电结构的优越性。沉积得到的非晶氧化铌薄膜光滑均匀且透射率达91%,能有效消除中频磁控溅射产生的颗粒物问题。通过透射率波峰位置对比发现纯氧ECWR放电样片出现红移,原因是其放电得到的薄膜均匀而致密,使光学禁带宽度向低能方向漂移出现带隙窄化。研究结果还揭示了离子源高密度、低能量特性与薄膜表面和光学特性之间的关系,为精密光学薄膜应用提供了新的解决方案。
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关键词
电子回旋波共振等离子体
中频磁控溅射
等离子体诊断
感应耦合等离子体
氧化铌薄膜
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职称材料
超锐截止生物医学滤光片的研制(特邀)
被引量：
6
2
作者
阴晓俊
王瑞生
+3 位作者
赵帅锋
任少鹏
高鹏
费书国
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第9期20-31,共12页
高端荧光、拉曼等生物医学检测需要超高透射、超锐截止滤光片,包括带通、单侧截止、多通带、陷波及分色等多种典型光谱类型。本文简要介绍了五种典型光谱滤光片的膜系设计方法,并以230层双侧锐截止带通典型膜系为代表,详细介绍了超多层...
高端荧光、拉曼等生物医学检测需要超高透射、超锐截止滤光片,包括带通、单侧截止、多通带、陷波及分色等多种典型光谱类型。本文简要介绍了五种典型光谱滤光片的膜系设计方法,并以230层双侧锐截止带通典型膜系为代表,详细介绍了超多层薄膜的等离子反应溅射镀制工艺,多监控片膜厚控制及膜厚误差模拟仿真技术,超锐截止光谱表征技术及检测方法。最后给出研制的五种典型锐截止生物医学滤光片镀制结果(部分结果含增透):单面镀膜双侧锐截止带通滤光片的透射率大于95%,截止陡度优于1%;单面镀膜单侧锐截止滤光片峰值透射率大于95%,截止陡度优于0.7%;双面镀膜三通带锐截止滤光片平均透射率大于95%,截止陡度优于1%;陷波滤光片截止深度优于OD6,通带透射率大于90%;分色镜(45°入射)陡度优于1%,平均透射率大于95%。
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关键词
生物医学
滤光片
超多层薄膜
荧光
拉曼
等离子反应磁控溅射
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职称材料
题名
使用电子回旋波共振等离子体源辅助中频磁控溅射沉积氧化铌薄膜
被引量：
1
1
作者
殷冀平
吕少波
蔺增
巴德纯
机构
东北大学机械工程与自动化学院
沈阳仪表科学研究院有限公司汇博光学
辽宁省植入器械与界面
科学
重点实验室
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期273-279,共7页
基金
国家自然科学基金(51775096)
中国科学院-威高研究发展计划攻关项目([2007]006)
中央高校基本科研业务费项目(N2003009)。
文摘
中频磁控溅射虽相较于电子束蒸发成膜质量更好,但不可避免仍然存在一部分颗粒物,将严重影响光学薄膜的质量和光学特性。研究了使用电子回旋波共振(ECWR)等离子体源作为辅助设备与中频磁控溅射相配合沉积的氧化铌薄膜,进行了等离子体诊断和薄膜表征。结果表明:在相同条件下,ECWR等离子体放电的氧化效果明显优于传统的感应耦合等离子体放电。ECWR等离子体源能够在较低压强的纯氧环境下稳定产生高密度等离子体,无须通过氩气作“引子”来激发维持氧气的稳定放电,展示了电子回旋波共振放电结构的优越性。沉积得到的非晶氧化铌薄膜光滑均匀且透射率达91%,能有效消除中频磁控溅射产生的颗粒物问题。通过透射率波峰位置对比发现纯氧ECWR放电样片出现红移,原因是其放电得到的薄膜均匀而致密,使光学禁带宽度向低能方向漂移出现带隙窄化。研究结果还揭示了离子源高密度、低能量特性与薄膜表面和光学特性之间的关系,为精密光学薄膜应用提供了新的解决方案。
关键词
电子回旋波共振等离子体
中频磁控溅射
等离子体诊断
感应耦合等离子体
氧化铌薄膜
Keywords
electron cyclotron wave resonance plasma
medium frequency magnetron sputtering
plasma diagnosis
inductively coupled plasma
niobium oxide film
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
超锐截止生物医学滤光片的研制(特邀)
被引量：
6
2
作者
阴晓俊
王瑞生
赵帅锋
任少鹏
高鹏
费书国
机构
沈阳仪表科学研究院有限公司汇博光学
公司
传感器国家工程
研究
中心
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第9期20-31,共12页
基金
科技部创新方法专项(No.2020IM010400)。
文摘
高端荧光、拉曼等生物医学检测需要超高透射、超锐截止滤光片,包括带通、单侧截止、多通带、陷波及分色等多种典型光谱类型。本文简要介绍了五种典型光谱滤光片的膜系设计方法,并以230层双侧锐截止带通典型膜系为代表,详细介绍了超多层薄膜的等离子反应溅射镀制工艺,多监控片膜厚控制及膜厚误差模拟仿真技术,超锐截止光谱表征技术及检测方法。最后给出研制的五种典型锐截止生物医学滤光片镀制结果(部分结果含增透):单面镀膜双侧锐截止带通滤光片的透射率大于95%,截止陡度优于1%;单面镀膜单侧锐截止滤光片峰值透射率大于95%,截止陡度优于0.7%;双面镀膜三通带锐截止滤光片平均透射率大于95%,截止陡度优于1%;陷波滤光片截止深度优于OD6,通带透射率大于90%;分色镜(45°入射)陡度优于1%,平均透射率大于95%。
关键词
生物医学
滤光片
超多层薄膜
荧光
拉曼
等离子反应磁控溅射
Keywords
Biomedical science
Filter
Super multilayer films
Fluorescence
Raman
Plasma assisted reactive magnetron sputtering
分类号
O432.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
使用电子回旋波共振等离子体源辅助中频磁控溅射沉积氧化铌薄膜
殷冀平
吕少波
蔺增
巴德纯
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
1
在线阅读
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职称材料
2
超锐截止生物医学滤光片的研制(特邀)
阴晓俊
王瑞生
赵帅锋
任少鹏
高鹏
费书国
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
6
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职称材料
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