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磨料混合对蓝宝石抛光效果的影响
被引量：
13
1
作者
汪海波
杨金
+5 位作者
鲁世斌
张忠祥
蒋先伟
王菲菲
樊敏
彭勇
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期43-48,54,共7页
磨料的粒径分布严重影响蓝宝石抛光,传统的抛光模型无法说明粒径分布的作用效果。针对这一问题,以不同粒径磨料混合放大粒径分散性影响,研究单一磨料和2种粒径混合磨料对抛光速率的影响。结果表明:2种不同粒径混合能够明显提高抛光速率...
磨料的粒径分布严重影响蓝宝石抛光,传统的抛光模型无法说明粒径分布的作用效果。针对这一问题,以不同粒径磨料混合放大粒径分散性影响,研究单一磨料和2种粒径混合磨料对抛光速率的影响。结果表明:2种不同粒径混合能够明显提高抛光速率,在一定质量比条件下可以达到最大值,并且粒径差距越大,抛光速率越快;不同粒径磨料混合影响抛光温度和磨料使用寿命,这是因为其一方面增加磨料整体羟基官能团数量,另一方面可以形成不同磨料间的密堆积,增加与蓝宝石接触面积。以此为基础,讨论多粒径分布的抛光动力学过程,并提出抛光动力学模型。
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关键词
分散性
蓝宝石
化学机械抛光
粒径分布
抛光速率
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职称材料
题名
磨料混合对蓝宝石抛光效果的影响
被引量：
13
1
作者
汪海波
杨金
鲁世斌
张忠祥
蒋先伟
王菲菲
樊敏
彭勇
机构
合肥师范学院电子信息系统仿真设计安徽省重点实验室
池州华钛半导体有限公司
出处
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期43-48,54,共7页
基金
安徽高校省级自然科学研究项目(KJ2016A574
KJ2015A276
+2 种基金
KJ2014A208)
合肥师范学院人才科研启动基金项目(2016rcjj07)
安徽省科技重大专项(批准号:17030901009)
文摘
磨料的粒径分布严重影响蓝宝石抛光,传统的抛光模型无法说明粒径分布的作用效果。针对这一问题,以不同粒径磨料混合放大粒径分散性影响,研究单一磨料和2种粒径混合磨料对抛光速率的影响。结果表明:2种不同粒径混合能够明显提高抛光速率,在一定质量比条件下可以达到最大值,并且粒径差距越大,抛光速率越快;不同粒径磨料混合影响抛光温度和磨料使用寿命,这是因为其一方面增加磨料整体羟基官能团数量,另一方面可以形成不同磨料间的密堆积,增加与蓝宝石接触面积。以此为基础,讨论多粒径分布的抛光动力学过程,并提出抛光动力学模型。
关键词
分散性
蓝宝石
化学机械抛光
粒径分布
抛光速率
Keywords
dispersity
sapphire
chemical mechanical polishing
particle distribution
removal rate
分类号
TH117.1 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磨料混合对蓝宝石抛光效果的影响
汪海波
杨金
鲁世斌
张忠祥
蒋先伟
王菲菲
樊敏
彭勇
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2018
13
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