检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

动态气流下真空腔室内的压强分布及压差测量被引量：3: 1; 作者周玉林杨铁牛《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期199-203,共5页; 集成电路(IC)装备工艺腔室内流场的均匀性是影响镀膜质量的关键因素。本文通过控制真空腔室入口处N_2流量(140,230,320 mL/min(标准状态))和出气口处压强值(36,45,55 Pa)来设置实验,采用压力管法测量低压腔室内任一点的压强值和薄膜规... 展开更多; 关键词真空腔室压强测量压差均匀布气; 在线阅读下载PDF 职称材料

低压流场速度测量的不确定度分析被引量：4: 2; 作者杨铁牛邹胜 +3 位作者吴宗跃赵蕾蕾卢冬冬阳亚《计量学报》 CSCD 北大核心 2019年第2期278-284,共7页; 激光多普勒测速技术被广泛应用于流速测量领域。在搭建好的真空气流检测实验平台基础上,运用二维激光多普勒测速仪对真空腔室进行流速测量;为了减小测速系统的测量误差,对真空腔室流速测量不确定度的来源及评定进行了分析与说明,得到了... 展开更多; 关键词计量学二维激光多普勒测速仪真空腔室流速测量不确定度; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于二维LDV低压流场速度测量的研究被引量：4: 3; 作者邹胜杨铁牛 +2 位作者黄尊地吴宗跃赵蕾蕾《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期169-175,共7页; 在半导体制造领域中,IC装备工艺腔室流场的均匀性决定镀膜的质量。本文运用二维激光多普勒测速仪(LDV)对真空腔室进行内流场测量,研究了在不同进气量、不同腔室压强下,腔室各平面流速的分布规律。研究表明,粒子浓度和背景噪声是影响腔... 展开更多; 关键词二维激光多普勒测速仪真空腔室粒子浓度背景噪声流速测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

低压腔室内流速分布规律研究: 4; 作者吴宗跃杨铁牛 +2 位作者黄尊地赵蕾蕾杜华娜《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期197-205,共9页; 工艺腔室内气体流动状态对于目标产品的性能影响极为重要。为研究腔室压强、进气量、温度、间距等因素对腔室内气体流速的影响,利用激光多普勒测速仪对腔室进行内流速测量实验,从而研究流速的分布规律及各个变量对流速规律的影响,并在... 展开更多; 关键词真空腔室激光多普勒测速仪流速多因素回归分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名动态气流下真空腔室内的压强分布及压差测量被引量：3: 1; 作者周玉林杨铁牛; 机构五邑大学机电工程学院江门市cad/cam工程技术研发中心; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期199-203,共5页; 基金国家科技重大专项资助项目(No.2011ZX02403-004); 文摘集成电路(IC)装备工艺腔室内流场的均匀性是影响镀膜质量的关键因素。本文通过控制真空腔室入口处N_2流量(140,230,320 mL/min(标准状态))和出气口处压强值(36,45,55 Pa)来设置实验,采用压力管法测量低压腔室内任一点的压强值和薄膜规直接测量腔壁、出气口的压强值来实现腔室内压强分布的研究和压差的测量。讨论了腔壁与出气口之间的压差对压力管法的测量误差的影响;选择了二级匀气装置对进入腔室内的气体进行布气,通过比较腔室内同一水平面上各点与出气口之间的压差是否恒定来分析二级匀气盘的匀气效果。试验研究发现:在距离腔室中心150 mm的范围内,二级匀气装置的布气效果明显;本文采用的压力管法测量腔室内压强的误差与腔室进气量和腔室内流速存在内在联系。研究结果对IC装备设计及工艺控制有一定的指导意义。; 关键词真空腔室压强测量压差均匀布气; Keywords Vacuum chamber Pressure measurement Pressure differences Uniform distribution; 分类号 TB75 [一般工业技术—真空技术] TG174 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名低压流场速度测量的不确定度分析被引量：4: 2; 作者杨铁牛邹胜吴宗跃赵蕾蕾卢冬冬阳亚; 机构五邑大学机电工程学院江门市cad/cam工程技术研发中心; 出处《计量学报》 CSCD 北大核心 2019年第2期278-284,共7页; 基金国家科技重大专项(2011ZX02403-004); 文摘激光多普勒测速技术被广泛应用于流速测量领域。在搭建好的真空气流检测实验平台基础上,运用二维激光多普勒测速仪对真空腔室进行流速测量;为了减小测速系统的测量误差,对真空腔室流速测量不确定度的来源及评定进行了分析与说明,得到了真空腔室流速测量的合成相对标准不确定度和相对扩展不确定度。研究表明:LDV重复性测速和进气量估读引起的不确定度较大,而LDV系统误差和其它因素引起的不确定度较小。研究结果对后期真空腔室流速测量有一定指导意义。; 关键词计量学二维激光多普勒测速仪真空腔室流速测量不确定度; Keywords metrology two-dimensional LDV vacuum chamber measurement of gas-velocity uncertainty; 分类号 TB93 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于二维LDV低压流场速度测量的研究被引量：4: 3; 作者邹胜杨铁牛黄尊地吴宗跃赵蕾蕾; 机构五邑大学机电工程学院江门市cad/cam工程技术研发中心五邑大学轨道交通学院; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期169-175,共7页; 基金国家科技重大专项资助项目(No.2011ZX02403-004); 文摘在半导体制造领域中,IC装备工艺腔室流场的均匀性决定镀膜的质量。本文运用二维激光多普勒测速仪(LDV)对真空腔室进行内流场测量,研究了在不同进气量、不同腔室压强下,腔室各平面流速的分布规律。研究表明,粒子浓度和背景噪声是影响腔室流速测量的两大关键因素,采用四种方法有效地降低了背景噪声对信号的干扰;通过大量实验得出了LDV有效测量腔室流速的压力范围,以及腔室压强、进气量与流速之间的关系;验证了腔室内二级匀气装置具有均匀布气的功能。研究结果能为IC装备的设计提供数据支持。; 关键词二维激光多普勒测速仪真空腔室粒子浓度背景噪声流速测量; Keywords Two-dimensional LDV, Vacuum chamber, Particle concentration, Background noise, Measurement of gas-velocity; 分类号 TB75 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名低压腔室内流速分布规律研究: 4; 作者吴宗跃杨铁牛黄尊地赵蕾蕾杜华娜; 机构江门市cad/cam工程技术研发中心五邑大学智能制造学部五邑大学轨道交通学院; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期197-205,共9页; 基金国家科技重大专项资助项目(No.2011ZX02403-004); 文摘工艺腔室内气体流动状态对于目标产品的性能影响极为重要。为研究腔室压强、进气量、温度、间距等因素对腔室内气体流速的影响,利用激光多普勒测速仪对腔室进行内流速测量实验,从而研究流速的分布规律及各个变量对流速规律的影响,并在中轴线方向上建立多元线性回归模型。结果表明:当进气量、温度越大,流速越大。当压强、间距越大,流速越小。四个因素对中轴线上流速大小影响排序为:压强(p)>进气量(Q)>温度(T)>间距(G)。; 关键词真空腔室激光多普勒测速仪流速多因素回归分析; Keywords Vacuum chamber Laser Doppler velocimeter Current velocity Multiple factors Regression analysis; 分类号 TB77 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	动态气流下真空腔室内的压强分布及压差测量	周玉林杨铁牛	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2016	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	低压流场速度测量的不确定度分析	杨铁牛邹胜吴宗跃赵蕾蕾卢冬冬阳亚	《计量学报》 CSCD 北大核心	2019	4	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于二维LDV低压流场速度测量的研究	邹胜杨铁牛黄尊地吴宗跃赵蕾蕾	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2018	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	低压腔室内流速分布规律研究	吴宗跃杨铁牛黄尊地赵蕾蕾杜华娜	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2019	0	在线阅读下载PDF 职称材料