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TOPCon太阳电池LPCVD技术路线下的EL黑边、黑角改善研究
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作者 周塘华 谢婉丽 +3 位作者 易辉 谌业斌 邹佳朴 孙浩月 《太阳能》 2025年第1期70-78,共9页
EL黑边、黑角是TOPCon太阳电池采用LPCVD技术路线时遇到的重点和难点问题,其不仅会导致光电转换效率和良品率下降,还会使太阳电池内出现EL图像明暗不均的问题。为了改善EL黑边、黑角问题,对TOPCon太阳电池采用LPCVD技术路线时的EL黑边... EL黑边、黑角是TOPCon太阳电池采用LPCVD技术路线时遇到的重点和难点问题,其不仅会导致光电转换效率和良品率下降,还会使太阳电池内出现EL图像明暗不均的问题。为了改善EL黑边、黑角问题,对TOPCon太阳电池采用LPCVD技术路线时的EL黑边、黑角问题进行了分析和改善研究。研究结果表明:TOPCon太阳电池生产线上出现的EL黑边、黑角问题主要是由LPCVD设备内首舟的气场与碱抛自然氧化层不均匀叠加导致。通过优化LPCVD自动化放舟程序和调整焖氧时间,EL黑边、黑角、EL石英舟印和EL氧化脏污现象均得到了明显改善,EL黑边、黑角改善幅度为0.45%,高温类EL不良占比改善幅度达3.04%。 展开更多
关键词 TOPCon太阳电池 LPCVD EL黑边、黑角 EL石英舟印
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