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氧化钒薄膜的结构、性能及制备技术的相关性 被引量:18
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作者 袁宁一 李金华 林成鲁 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期572-575,共4页
氧化钒薄膜及其在微电子和光电子领域中的应用已成为国际上新颖功能材料研究的热点之一。本文综述了V2 O5和VO2 薄膜电学性能与薄膜组分和结构的相关性 。
关键词 氧化钒薄膜 相变 热电阻温度系数 功能材料
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ITO用作铁电薄膜电极的研究 被引量:6
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作者 李金华 陈汉松 +2 位作者 李坤 汤国英 陈王丽华 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期64-66,共3页
研究了sol -gel掺锡氧化铟 (ITO)溶胶在SiO2 /Si衬底和光学玻璃衬底上的成膜及结晶性能 ,并与CVD法生长的ITO薄膜作了对比。结论是 ,sol -gelITO膜 ,虽然具有与CVDITO膜相似的结晶性能和较高的导电性 ,但以sol -gelITO膜作下电极 ,无法... 研究了sol -gel掺锡氧化铟 (ITO)溶胶在SiO2 /Si衬底和光学玻璃衬底上的成膜及结晶性能 ,并与CVD法生长的ITO薄膜作了对比。结论是 ,sol -gelITO膜 ,虽然具有与CVDITO膜相似的结晶性能和较高的导电性 ,但以sol -gelITO膜作下电极 ,无法使PLT、PZT的sol -gel膜具有明显的结晶取向。因漏电太大 ,sol -gelITO也无法作sol -gel铁电膜 (如PLT ,PZT)的上电极。但在CVDITO膜上 ,sol -gel铁电膜能很好结晶 ,且Au/PLT/ITO电容 ,具有良好的电学性能。 展开更多
关键词 ITO薄膜 铁电电容电极 SOL-GEL法 FERAM 随机存
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PT/P(VDF-TrFE)复合膜及悬空结构热释电传感器研究 被引量:3
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作者 李金华 李坤 +2 位作者 陈燕 陈王丽华 蔡忠龙 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1998年第3期190-195,共6页
将溶胶-凝胶法制备的钛酸铅(PT)纳米粉粒掺入聚偏氟乙烯-三氟乙烯共聚物[P(VDF-TrFE)]中,制成PT/P(VDF-TrFE)复合热释电敏感膜,提高其热释电优值和探测优值。用KOH腐蚀硅衬底使PT/P(VDF... 将溶胶-凝胶法制备的钛酸铅(PT)纳米粉粒掺入聚偏氟乙烯-三氟乙烯共聚物[P(VDF-TrFE)]中,制成PT/P(VDF-TrFE)复合热释电敏感膜,提高其热释电优值和探测优值。用KOH腐蚀硅衬底使PT/P(VDF-TrFE)敏感膜热释电传感器形成悬空结构。实验结果表明,掺入体积比为0.12PT粉粒的PT/P(VDF-TrFE)敏感膜,比同样成膜条件的P(VDF-TrFE)膜的热释电优值提高20%,探测优值提高35%;悬空结构大大降低了热导,使传感器在低频段的电压灵敏度和电流灵敏度提高了10倍以上。根据实验结果,提出了弱铁电体连续基体与铁电体颗粒均匀复合后,计算复合膜介电系数和热电系数的方法。 展开更多
关键词 复合材料 热释电传感器 共聚物 悬空结构
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绝压式BESOI负压传感器研制
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作者 李金华 孙慷 +5 位作者 蒋美萍 周倜 冒建军 焦继传 陆德仁 王渭源 《传感技术学报》 CAS CSCD 1995年第2期50-54,共5页
采取BESOI技术形成带真空腔的绝压式结构,利用凸型梁使形变膜的应力放大,研制出在电源电压5V时,具有输出灵敏度为257.4mV/10~5Pa的绝压式负压传感器芯片.其非线性度约0.1%,未加负压时,输出电压的温漂约400×10^(-6)/℃(FS).
关键词 负压传感器 键合 BESOI 传感器
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