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微机械制造工艺及其应用
被引量：
9
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作者
闫利文
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2004年第3期83-85,共3页
介绍微机械制造工艺的特点及关键技术,阐述微机械制造工艺的新技术及其发展趋势。
关键词
MEMS
LIGA技术
准LIGA技术
微机械
机械制造
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职称材料
题名
微机械制造工艺及其应用
被引量：
9
1
作者
闫利文
机构
江苏省常熟高等专科学校机电系
出处
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2004年第3期83-85,共3页
文摘
介绍微机械制造工艺的特点及关键技术,阐述微机械制造工艺的新技术及其发展趋势。
关键词
MEMS
LIGA技术
准LIGA技术
微机械
机械制造
Keywords
MEMS (Micro electromechanical system) LIGA technology Quasi-LIGA technology
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
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作者
出处
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1
微机械制造工艺及其应用
闫利文
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2004
9
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