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材料结构对AlGaN基分布布拉格反射镜特性的影响: 1; 作者谢自力张荣 +9 位作者刘斌姬小利李亮修向前江若琏龚海梅赵红韩平施毅郑有炓《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1060-1062,共3页; 采用低压MOCVD技术生长了A lGaN/GaN、A lGaN/A lN等多种交替生长结构的半导体多层膜分布布拉格反射镜(DBR)。利用X射线衍射、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等测量手段对材料的物理特性进行了分析表征。结果表明,材料结构对DB... 展开更多; 关键词分布布拉格反射镜反射率 AlxGa1-x N/AlN 金属有机化学汽相沉积; 在线阅读下载PDF 职称材料

MOCVD生长不同Al组分AlGaN薄膜被引量：2: 2; 作者刘斌张荣 +12 位作者谢自力张禹李亮张曾刘启佳姚劲周建军姬小利修向前江若琏韩平郑有炓龚海梅《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第B09期964-966,970,共4页; 本文研究了利用金属有机物化学汽相淀积系统(MOCVD)生长高质量不同A l组分A lxGa1-xN薄膜(0.13<x<0.8)。扫面电子显微镜(SEM)照片表明生长的A lN插入层有效地调节了A lGaN层与GaN支撑层的应力,使A lGaN表面平整无裂纹,原子力显微... 展开更多; 关键词金属有机物化学汽相淀积 ALGAN 薄膜生长; 在线阅读下载PDF 职称材料

AlGaN/GaN分布布拉格反射镜的MOCVD生长被引量：1: 3; 作者李亮张荣 +14 位作者谢自力张禹修向前姬小利刘成祥毕朝霞陈琳周建军刘斌韩平江若琏顾书林施毅龚海梅郑有炓《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第11期891-893,共3页; 文中利用MOCVD方法,采用高质量GaN作为缓冲层,在(0001)取向的蓝宝石衬底上实现了不同组分的A lxGa1-xN/GaN分布布拉格反射镜(DBR)的制备。通过XRD、SEM、AFM、反射谱等测量分析手段,研究了A lxGa1-xN/GaN DBR的结构质量、厚度和表面形貌。; 关键词 ALGAN GAN 分布布拉格反射镜 MOCVD; 在线阅读下载PDF 职称材料

退火温度对纳米ZnO薄膜结构与发光特性的影响被引量：5: 4; 作者陈晓清谢自力 +5 位作者张荣修向前顾书林韩平施毅郑有炓《微纳电子技术》 CAS 2004年第11期24-27,共4页; 利用溶胶鄄凝胶法在硅衬底上制备了纳米ZnO薄膜。研究了热处理对ZnO薄膜的质量与发光性能的影响。结果表明,纳米ZnO薄膜具有六方纤锌矿结构,并且,随着退火温度的升高,ZnO的晶粒变大,c轴取向性变好,紫外发光强度增强。; 关键词纳米ZNO薄膜发光特性硅衬底退火温度发光性能 C轴取向发光强度紫外溶胶-凝胶法锌矿; 在线阅读下载PDF 职称材料

Mg掺杂的AlGaN的MOCVD生长被引量：1: 5; 作者姚靖谢自力 +8 位作者刘斌韩平张荣江若琏刘启佳徐峰龚海梅施毅郑有炓《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第B09期971-973,980,共4页; 文章主要研究利用金属有机物化学汽相沉积(MOCVD)方法制备的Mg掺杂A lGaN薄膜。根据Raman光谱对Mg掺杂A lGaN薄膜应力和X射线摇摆曲线对晶体质量的研究表明引入高温A lN插入层能有效调节应力,并提高薄膜质量,降低位错密度。实验发现在保... 展开更多; 关键词金属有机物化学汽相淀积 Mg掺杂 P型AlGaN RAMAN光谱; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名材料结构对AlGaN基分布布拉格反射镜特性的影响: 1; 作者谢自力张荣刘斌姬小利李亮修向前江若琏龚海梅赵红韩平施毅郑有炓; 机构江苏省光电功能材料重点实验室南京大学物理系中国科学院上海技术物理研究所; 出处《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1060-1062,共3页; 文摘采用低压MOCVD技术生长了A lGaN/GaN、A lGaN/A lN等多种交替生长结构的半导体多层膜分布布拉格反射镜(DBR)。利用X射线衍射、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等测量手段对材料的物理特性进行了分析表征。结果表明,材料结构对DBR的性能影响很大。通过材料的优化生长,获得了反射率高达93.5%、中心波长和发射率都接近理论值的A lGaN/A lN DBR材料。; 关键词分布布拉格反射镜反射率 AlxGa1-x N/AlN 金属有机化学汽相沉积; Keywords DBR reflectivity Alx Ga1-xN/AlN MOCVD; 分类号 TN304.26 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MOCVD生长不同Al组分AlGaN薄膜被引量：2: 2; 作者刘斌张荣谢自力张禹李亮张曾刘启佳姚劲周建军姬小利修向前江若琏韩平郑有炓龚海梅; 机构江苏省光电信息功能材料重点实验室南京大学物理系中国科学院上海技术物理研究所; 出处《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第B09期964-966,970,共4页; 基金国家重点基础研究发展规划973(2006CB6049) 国家高技术研究发展规划(2006AA03A103 +10 种基金 2006AA03A118 2006AA03A142 2006AA03Z411) 国家自然科学基金(6039070 60421003 60676057) 教育部重大项目(10416) 南京大学研究生科研创新基金; 文摘本文研究了利用金属有机物化学汽相淀积系统(MOCVD)生长高质量不同A l组分A lxGa1-xN薄膜(0.13<x<0.8)。扫面电子显微镜(SEM)照片表明生长的A lN插入层有效地调节了A lGaN层与GaN支撑层的应力,使A lGaN表面平整无裂纹,原子力显微镜(AFM)测量得到所有A lGaN薄膜粗糙度均小于1nm。通过原位干涉谱发现,A lGaN薄膜生长速率主要由Ga流量大小控制,随A l组分升高逐渐降低。利用X射线衍射和卢瑟福背散射(RBS)两种方法确定A lGaN薄膜的A l组分,发现A l组分与摩尔比TMA l/(TMGa+TMA l)关系为线性,说明在优化的生长条件下,A l原子与NH3的寄生反应得到了有效的抑制。; 关键词金属有机物化学汽相淀积 ALGAN 薄膜生长; Keywords MOCVD AlGaN film growth; 分类号 TN23 [电子电信—物理电子学] TN304.055 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名AlGaN/GaN分布布拉格反射镜的MOCVD生长被引量：1: 3; 作者李亮张荣谢自力张禹修向前姬小利刘成祥毕朝霞陈琳周建军刘斌韩平江若琏顾书林施毅龚海梅郑有炓; 机构江苏省光电信息功能材料重点实验室南京大学物理系中国科学院上海技术物理研究所; 出处《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第11期891-893,共3页; 文摘文中利用MOCVD方法,采用高质量GaN作为缓冲层,在(0001)取向的蓝宝石衬底上实现了不同组分的A lxGa1-xN/GaN分布布拉格反射镜(DBR)的制备。通过XRD、SEM、AFM、反射谱等测量分析手段,研究了A lxGa1-xN/GaN DBR的结构质量、厚度和表面形貌。; 关键词 ALGAN GAN 分布布拉格反射镜 MOCVD; Keywords AlGaN GaN distributed Bragg reflectors MOCVD; 分类号 O484.1 [理学—固体物理] TN304.055 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名退火温度对纳米ZnO薄膜结构与发光特性的影响被引量：5: 4; 作者陈晓清谢自力张荣修向前顾书林韩平施毅郑有炓; 机构江苏省光电信息功能材料重点实验室南京大学物理系; 出处《微纳电子技术》 CAS 2004年第11期24-27,共4页; 基金国家重点基础研究发展规划(G2000068305) 国家高技术研究发展规划(2001AA311110 +5 种基金 2003AA311060) 国家自然科学基金(69976014 69806006 69987001) 国家杰出青年基金(60025411) 江苏省自然科学基金重点项目资助(BK2003203); 文摘利用溶胶鄄凝胶法在硅衬底上制备了纳米ZnO薄膜。研究了热处理对ZnO薄膜的质量与发光性能的影响。结果表明,纳米ZnO薄膜具有六方纤锌矿结构,并且,随着退火温度的升高,ZnO的晶粒变大,c轴取向性变好,紫外发光强度增强。; 关键词纳米ZNO薄膜发光特性硅衬底退火温度发光性能 C轴取向发光强度紫外溶胶-凝胶法锌矿; Keywords Sol-Gel nanometer ZnO films annealing temperature XRD PL Raman spectrum; 分类号 TN304.21 [电子电信—物理电子学] O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Mg掺杂的AlGaN的MOCVD生长被引量：1: 5; 作者姚靖谢自力刘斌韩平张荣江若琏刘启佳徐峰龚海梅施毅郑有炓; 机构江苏省光电信息功能材料重点实验室南京大学物理系中国科学院上海技术物理所; 出处《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第B09期971-973,980,共4页; 基金国家重点基础研究发展规划(2006CB604900) 国家高技术研究发展规划(2006AA03A103 +5 种基金 2006AA03A142) 国家自然科学基金(6039072 60421003 60676057) 江苏省自然科学基金项目(BK2005210); 文摘文章主要研究利用金属有机物化学汽相沉积(MOCVD)方法制备的Mg掺杂A lGaN薄膜。根据Raman光谱对Mg掺杂A lGaN薄膜应力和X射线摇摆曲线对晶体质量的研究表明引入高温A lN插入层能有效调节应力,并提高薄膜质量,降低位错密度。实验发现在保持Mg掺杂量不变的情况下,随着A l组分的上升,材料中出现大量岛状晶核,粗糙度变大,晶体质量下降,由三维生长向二维生长的转变更加困难。同时研究发现A l组分的上升和Mg掺杂量的增加都会使得螺位错密度上升;Mg的掺杂对于刃位错有显著影响,而A l组分的上升对刃位错无明显影响。经过退火温度对空穴浓度影响的研究,发现对于P型A l0.1Ga0.9N样品,900℃为比较理想的退火温度。; 关键词金属有机物化学汽相淀积 Mg掺杂 P型AlGaN RAMAN光谱; Keywords MOCVD Mg doped P-AlGaN Raman spectrum; 分类号 TN23 [电子电信—物理电子学] TN304.2 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	材料结构对AlGaN基分布布拉格反射镜特性的影响	谢自力张荣刘斌姬小利李亮修向前江若琏龚海梅赵红韩平施毅郑有炓	《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心	2006	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	MOCVD生长不同Al组分AlGaN薄膜	刘斌张荣谢自力张禹李亮张曾刘启佳姚劲周建军姬小利修向前江若琏韩平郑有炓龚海梅	《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心	2007	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	AlGaN/GaN分布布拉格反射镜的MOCVD生长	李亮张荣谢自力张禹修向前姬小利刘成祥毕朝霞陈琳周建军刘斌韩平江若琏顾书林施毅龚海梅郑有炓	《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心	2005	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	退火温度对纳米ZnO薄膜结构与发光特性的影响	陈晓清谢自力张荣修向前顾书林韩平施毅郑有炓	《微纳电子技术》 CAS	2004	5	在线阅读下载PDF 职称材料
5	Mg掺杂的AlGaN的MOCVD生长	姚靖谢自力刘斌韩平张荣江若琏刘启佳徐峰龚海梅施毅郑有炓	《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心	2007	1	在线阅读下载PDF 职称材料