期刊文献+
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
P型微晶硅在柔性太阳电池中的应用研究 被引量:2
1
作者 靳果 袁铸 胡居涛 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第7期1025-1027,共3页
以B(CH_3)_3为掺杂剂,采用正交实验法,以硅烷浓度、B(CH_3)_3掺杂比、反应压强及气体总流量等主要沉积参数为实验组变量,对P型微晶硅薄膜进行初步优化。在玻璃衬底上沉积厚度为80 nm左右的P型微晶硅(μc-Si:H)薄膜,通过测试材料暗态电... 以B(CH_3)_3为掺杂剂,采用正交实验法,以硅烷浓度、B(CH_3)_3掺杂比、反应压强及气体总流量等主要沉积参数为实验组变量,对P型微晶硅薄膜进行初步优化。在玻璃衬底上沉积厚度为80 nm左右的P型微晶硅(μc-Si:H)薄膜,通过测试材料暗态电导率、XRD、Raman等,研究了上述沉积参数对材料电学和微结构性能的影响,并在此基础上做进一步的参数优化,得到更高电导的微晶硅薄膜;将其应用于PEN衬底的非晶硅薄膜太阳电池中,得到6%的初始效率。 展开更多
关键词 P型微晶硅薄膜 B(CH3)3 柔性衬底 非晶硅太阳电池
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部