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敏感结构尺寸对压力传感器过载能力的影响
1
作者
揣荣岩
关若飞
张晓民
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2017年第10期14-16,45,共4页
微机电系统(MEMS)表面微加工技术与IC工艺相兼容,利用该技术可以实现对压力传感器敏感结构尺寸的精确控制,并可用于提高传感器的过载能力。基于有限元仿真,通过应力分布的线性静力分析和非线性接触分析,确定压力传感器感压膜尺寸与过载...
微机电系统(MEMS)表面微加工技术与IC工艺相兼容,利用该技术可以实现对压力传感器敏感结构尺寸的精确控制,并可用于提高传感器的过载能力。基于有限元仿真,通过应力分布的线性静力分析和非线性接触分析,确定压力传感器感压膜尺寸与过载能力之间的关系,给出了一种提高压力传感器过载能力的方法。在不增加工艺步骤和生产成本的前提下,优化了敏感结构的尺寸,使压力传感器的过载能力得到显著提高。
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关键词
压力传感器
牺牲层技术
线性
过载能力
应变
非线性接触分析
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职称材料
题名
敏感结构尺寸对压力传感器过载能力的影响
1
作者
揣荣岩
关若飞
张晓民
机构
沈阳工业大学信息科学与工程学院
江苏奥尼克电气股份有限公司
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2017年第10期14-16,45,共4页
基金
国家自然科学基金项目(61372019)
文摘
微机电系统(MEMS)表面微加工技术与IC工艺相兼容,利用该技术可以实现对压力传感器敏感结构尺寸的精确控制,并可用于提高传感器的过载能力。基于有限元仿真,通过应力分布的线性静力分析和非线性接触分析,确定压力传感器感压膜尺寸与过载能力之间的关系,给出了一种提高压力传感器过载能力的方法。在不增加工艺步骤和生产成本的前提下,优化了敏感结构的尺寸,使压力传感器的过载能力得到显著提高。
关键词
压力传感器
牺牲层技术
线性
过载能力
应变
非线性接触分析
Keywords
pressure sensor
sacrificial layer technology
linear
overload capacity
strain
nonlinear contact analysis
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
敏感结构尺寸对压力传感器过载能力的影响
揣荣岩
关若飞
张晓民
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2017
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