纳米硅薄膜超微压力传感器设计与性能研究 被引量：3

1

作者 沈思国 丁建宁 +3 位作者 潘海彬 凌智勇 程广贵 范真 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第10期62-64,共3页

利用纳米硅薄膜良好的力学与电学特性,设计出超微压压力传感器芯片结构:双岛—梁—膜结构。利用ANSYS进行了静力分析、模态分析、谐反应分析、瞬态分析,结果表明:该结构具有灵敏度高、线性度好、动态响应快等优点。

关键词 纳米硅薄膜 超微压压力传感器 结构 性能

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用AFM导电探针在n-Si(111)表面进行纳米加工的机理研究 被引量：1

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作者 朱守星 丁建宁 +3 位作者 范真 李长生 蔡兰 杨继昌 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期202-205,共4页

本文介绍了在AFM针尖与氢钝化硅表面之间施加电场作用对硅表面进行修饰的纳米加工方法 ,重点讨论了加工机理。实验考虑了样品的表面状态 ,周围大气状况 ,所加电压的极性、大小和加压方式等影响纳米加工的因素。对机理的研究表明 ,针尖... 本文介绍了在AFM针尖与氢钝化硅表面之间施加电场作用对硅表面进行修饰的纳米加工方法 ,重点讨论了加工机理。实验考虑了样品的表面状态 ,周围大气状况 ,所加电压的极性、大小和加压方式等影响纳米加工的因素。对机理的研究表明 ,针尖和样品之间发生的是场致电子发射而非热电子发射 ,电流热效应增强粒子的扩散能力 ,提高了电化学反应速度。 展开更多

关键词 原子力显微镜 AFM 导电探针 纳米加工 表面修饰 纳米技术 场致电子发射 粒子扩散 阳极氧化扩散

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乌梢蛇腹部表皮的纳米力学性能研究 被引量：1

3

作者 张占立 杨继昌 +1 位作者 丁建宁 胡友耀 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1652-1654,共3页

用纳米硬度仪研究了不同载荷条件下乌梢蛇腹部表皮的弹性模量、压入硬度等纳米力学性能.结果表明:在法向载荷小于10mN的范围内,腹部表皮的弹性模量和压入硬度均随载荷的增加而减小,弹性模量的数值范围在300~830MPa,且为载荷的幂函数;压... 用纳米硬度仪研究了不同载荷条件下乌梢蛇腹部表皮的弹性模量、压入硬度等纳米力学性能.结果表明:在法向载荷小于10mN的范围内,腹部表皮的弹性模量和压入硬度均随载荷的增加而减小,弹性模量的数值范围在300~830MPa,且为载荷的幂函数;压入硬度的数值范围在37~62MPa,与载荷成线性关系.腹部表皮的接触刚度随载荷的增加而增加,其数值范围在3.5×103N/m^5.7×103N/m,为载荷的幂函数.研究结果对深入研究蛇类腹部表皮的摩擦特性及蛇皮的仿生制造提供了基础资料. 展开更多

关键词 腹部表皮 乌梢蛇 弹性模量 压入硬度 接触刚度

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FeCuNbSiB单纳米晶环形磁心双绕组新型微电流传感器 被引量：1

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作者 鲍丙豪 丁建宁 李长生 《电力系统自动化》 EI CSCD 北大核心 2004年第15期104-107,共4页

经炉内绝热退火法制得的纳米晶合金Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9环形磁心,由于内应力及磁致伸缩系数的减小,使其具有高的磁性能温度稳定性及高的磁灵敏性。利用纳米晶合金材料作为敏感材料,提出了采用单纳米晶磁心双绕组结构、多谐振荡桥励磁... 经炉内绝热退火法制得的纳米晶合金Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9环形磁心,由于内应力及磁致伸缩系数的减小,使其具有高的磁性能温度稳定性及高的磁灵敏性。利用纳米晶合金材料作为敏感材料,提出了采用单纳米晶磁心双绕组结构、多谐振荡桥励磁的对微电流进行非接触测量的新型电流传感器。分析了传感器的工作原理,并利用傅里叶变换对桥路输出信号进行了分析。通过对电路参数的优化,研制出线性量程为±250 mA、带宽为DC～1.6 kHz的电流传感器。对直流电流给出了测试结果。传感器的非线性误差小于O.5％,在信号处理电路放大系数为l时,其灵敏度可达1.11 mV/mA;温度为-15℃～50℃、电流为250 mA时的温漂小于O.03％/℃,电流为O mA的温漂小于0.01％/℃;25℃环境下3 h测得传感器零漂小于0.02％(满量程)。此外,传感器可判定直流电流流向,并可在桥路电源变化时,其灵敏度保持很好的稳定性。 展开更多

关键词 微电流传感器 纳米晶合金 单磁心双绕组 非接触测量 在线监测

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Sol-gel法制备纳米晶镍锌钴铁氧体／-氧化硅复合颗粒的研究 被引量：1

5

作者 徐小玉 赵玉涛 +2 位作者 戴起勋 傅明喜 李长生 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第F05期189-191,200,共4页

开发了用溶胶-凝胶法制备纳米晶镍锌钴复合铁氧体颗粒的技术，并对溶胶．凝胶工艺的影响因素进行了研究探讨。用扫描电镜（SEM）、电子探针（EPMA）和X射线衍射（XRD）对样品进行了表征，得到球状分布的纳米晶镍锌钴铁氧体／二氧化硅复... 开发了用溶胶-凝胶法制备纳米晶镍锌钴复合铁氧体颗粒的技术，并对溶胶．凝胶工艺的影响因素进行了研究探讨。用扫描电镜（SEM）、电子探针（EPMA）和X射线衍射（XRD）对样品进行了表征，得到球状分布的纳米晶镍锌钴铁氧体／二氧化硅复合颗粒，并优化了制备工艺。 展开更多

关键词 磁性复合材料 溶胶-凝胶法 铁氧体

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基于硫系相变材料的存储机理和方法的研究进展

6

作者 解国新 丁建宁 +2 位作者 范真 付永忠 杨继昌 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期99-101,共3页

以 GeSbTe 及 AgInSbTe 等硫系合金化合物为载体,较全面地介绍了当前相变存储研究领域比较热门的几种存储方法,对各自的研究进展作了必要阐述,重点突出探针相变存储技术的研究方法,并对各种方法的优缺点进行了比较说明,同时结合自身研... 以 GeSbTe 及 AgInSbTe 等硫系合金化合物为载体,较全面地介绍了当前相变存储研究领域比较热门的几种存储方法,对各自的研究进展作了必要阐述,重点突出探针相变存储技术的研究方法,并对各种方法的优缺点进行了比较说明,同时结合自身研究实际,展示相变存储的研究方向和所取得的成果,并进一步列举了一些尚待解决的问题,指出了其今后发展的一般趋势。 展开更多

关键词 研究进展 存储机理 相变材料 硫系 相变存储 金化合物 存储方法 研究领域 研究方法 存储技术 研究方向 优缺点

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用于探针存储系统的硅微静电驱动器的分析

7

作者 凌智勇 宋向前 丁建宁 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2009年第1期50-52,56,共4页

静电驱动的微XY平台、微探针阵列及具有超高密度存储功能的记录介质相结合的高密度数据存储技术是目前的研究热点。该文提出并设计了用于相变探针存储系统的微型静电驱动器,其具有面积为12 mm×12 mm的中央XY平台和100μm的静态位移... 静电驱动的微XY平台、微探针阵列及具有超高密度存储功能的记录介质相结合的高密度数据存储技术是目前的研究热点。该文提出并设计了用于相变探针存储系统的微型静电驱动器,其具有面积为12 mm×12 mm的中央XY平台和100μm的静态位移,平台上相变存储介质的面积定为6.4 mm×6.4 mm,考虑分析了该驱动器的可靠性及机械干涉问题。分析表明,所设计的静电微驱动器的结构合理,各项参数可行,可满足相变探针存储系统的要求。 展开更多

关键词 静电驱动 微XY平台 相变探针存储

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微结构对太阳能选择性吸收薄膜性能的影响

8

作者 杨娟 范真 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2014年第5期153-155,共3页

介绍了制备光热太阳能选择性吸收薄膜的条件及薄膜的制备方法。采用二次阳极氧化方法在铝基底上制备了多孔微结构,再利用磁控溅射制备SS-AlN多层膜。用SEM、Optsol Absorber Control等测试手段表征了膜系的表面形貌、光谱吸收性能等,考... 介绍了制备光热太阳能选择性吸收薄膜的条件及薄膜的制备方法。采用二次阳极氧化方法在铝基底上制备了多孔微结构,再利用磁控溅射制备SS-AlN多层膜。用SEM、Optsol Absorber Control等测试手段表征了膜系的表面形貌、光谱吸收性能等,考察了微结构对太阳能选择性吸收薄膜性能的影响。结果表明基底表面微结构能有效提高其光谱吸收率。 展开更多

关键词 太阳能 光谱性能 选择性 多孔结构

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氮化铜薄膜制备中氮气比例对其结构及微观力学性能的影响 被引量：3

9

作者 龚鹏 范真 +3 位作者 丁建宁 程广贵 袁宁一 凌智勇 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期15-18,31,共5页

采用射频磁控溅射方法在玻璃基底上制备氮化铜薄膜,研究了氮氩混合气体中的氮气比例对薄膜择优生长取向、表面晶粒尺寸和微观力学性能的影响。结果表明:低氮气比例时,薄膜的纳米力学性能比较差;随着氮气比例的增加,氮化铜薄膜的择优生... 采用射频磁控溅射方法在玻璃基底上制备氮化铜薄膜,研究了氮氩混合气体中的氮气比例对薄膜择优生长取向、表面晶粒尺寸和微观力学性能的影响。结果表明:低氮气比例时,薄膜的纳米力学性能比较差;随着氮气比例的增加,氮化铜薄膜的择优生长晶面从(111)晶面转变为(100)晶面,晶粒尺寸变小,显微硬度增加,弹性模量则是先增加,后减小。 展开更多

关键词 氮化铜薄膜 射频磁控溅射 微结构 纳米力学

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柔性透明导电薄膜的制备及其发展前景 被引量：14

10

作者 何维凤 赵玉涛 +1 位作者 李素敏 李长生 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期32-36,共5页

随着电子器件向小型化和轻便化方向发展,柔性衬底的透明导电薄膜将成为硬质衬底透明导电薄膜的更新换代产品,因此其研究备受关注。综述了柔性透明导电膜的主要制备技术及其优缺点,阐述了当前该领域的最新研究成果及应用,并讨论了工业应... 随着电子器件向小型化和轻便化方向发展,柔性衬底的透明导电薄膜将成为硬质衬底透明导电薄膜的更新换代产品,因此其研究备受关注。综述了柔性透明导电膜的主要制备技术及其优缺点,阐述了当前该领域的最新研究成果及应用,并讨论了工业应用对柔性透明导电膜的性能要求及其未来发展趋势。 展开更多

关键词 透明导电膜 透明导电薄膜 柔性衬底 电子器件 小型化 更新换代 未来发展 硬质 制备 工业应用

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喷雾冷却和刀具表面涂层复合润滑在切削加工中的应用 被引量：4

11

作者 颜科红 李长生 +6 位作者 朱成顺 刘育 宋昌才 凌智勇 范真 丁建宁 杨继昌 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第7期17-19,24,共4页

采用喷雾冷却和固体润滑涂层两者复合的方法来进行切削加工,对切削温度和后刀面磨损量进行了测量,并用SEM和EDAX对刀具后刀面磨损形貌和成分进行分析。结果表明:在切削速度低于200m/min的情况下,单一的喷雾和固体润滑涂层对提高刀具的... 采用喷雾冷却和固体润滑涂层两者复合的方法来进行切削加工,对切削温度和后刀面磨损量进行了测量,并用SEM和EDAX对刀具后刀面磨损形貌和成分进行分析。结果表明:在切削速度低于200m/min的情况下,单一的喷雾和固体润滑涂层对提高刀具的耐磨寿命有明显的作用;在切削速度高于200m/min后,单一的喷雾方法的减磨效果就大幅降低;当速度高于300m/min时单一使用几无效果,而复合法能明显提高刀具的耐磨寿命和加工精度。 展开更多

关键词 喷雾冷却 固体润滑涂层 切削加工

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基底对TiNxOy太阳能选择性吸收薄膜性能的影响

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作者 杨娟 范真 +1 位作者 袁宁一 丁建宁 《表面技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期16-18,共3页

采用磁控溅射法,分别在铜基、铝基上制备AlN/TiNxOy/Al多层膜,对比了该膜系与铜基和铝基的粘附性能,分析了与基底粘附性能的差异原因。采用二次阳极氧化方法使铝基底表面形成多孔微结构,再次镀多层膜,表征了膜系的表面形貌、光谱吸收性... 采用磁控溅射法,分别在铜基、铝基上制备AlN/TiNxOy/Al多层膜,对比了该膜系与铜基和铝基的粘附性能,分析了与基底粘附性能的差异原因。采用二次阳极氧化方法使铝基底表面形成多孔微结构,再次镀多层膜,表征了膜系的表面形貌、光谱吸收性能和反射率,研究了微结构对薄膜性能的影响。结果表明:薄膜与铝基的粘附性较好,基底表面形成多孔微结构能有效提高其光谱吸收率。 展开更多

关键词 TiNxOy薄膜 太阳能 光谱性能 粘附性 基底多孔结构

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扫描探针机械刻蚀及DPN新技术

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作者 蒋洪奎 范真 +1 位作者 姚汤伟 朱春耕 《机床与液压》 北大核心 2006年第7期83-84,86,共3页

扫描探针显微镜(SPM)作为高精度显微工具的同时,还可以作为加工工具对样品表面进行刻蚀加工。扫描探针刻蚀加工技术(SPL)近年来发展迅速。本文综述了基于SPM的扫描探针机械刻蚀技术,并介绍了DPN技术的机理及最新研究进展。

关键词 扫描探针 机械刻蚀 DPN

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a-Si(p)/c-Si(n)异质结太阳电池的AFORS-HET模拟优化 被引量：1

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作者 卢超 丁建宁 +2 位作者 程广贵 郭立强 林爱国 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期770-773,共4页

采用限定变量的方法,运用AFORS-HET(Automat FOR Simulation of HETerostructures)软件计算模拟了不同厚度、掺杂浓度和禁带宽度的非晶硅薄膜背场以及不同厚度、禁带宽度的非晶硅本征层对a-Si(p)/c-Si(n)异质结太阳电池的影响。结果表明... 采用限定变量的方法,运用AFORS-HET(Automat FOR Simulation of HETerostructures)软件计算模拟了不同厚度、掺杂浓度和禁带宽度的非晶硅薄膜背场以及不同厚度、禁带宽度的非晶硅本征层对a-Si(p)/c-Si(n)异质结太阳电池的影响。结果表明,在其它参数不变的情况下,增加较薄的背场和中间本征层,可以提高太阳电池的整体性能,其光电转换有很大程度提高,其最高转换效率可达20.75%;其中,中间本征层在厚度不超过20nm时,对电池的短路电流影响不大,而其它性能则相对下降;当非晶硅薄膜背场的掺杂浓度为1019cm-3以上,带隙为1.7eV,厚度为5nm时,电池性能最佳。 展开更多

关键词 异质结 AFORS—HET 背场 缓冲层

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