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题名基于TMR元件的电流传感器的研制
被引量：19
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作者
王海宝
郭海平
王于波
王峥
郭彦
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机构
北京智芯微电子科技有限公司北京市电力高可靠性集成电路设计工程技术研究中心
江苏多维科技有限公司
北京智芯微电子科技有限公司国家电网公司重点实验室电力芯片设计分析实验室
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出处
《电测与仪表》
北大核心
2018年第9期103-107,共5页
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基金
工业和信息化部项目(0714-EMTC02-5378/4)
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文摘
以50A的电流传感器为目标,建立了通电导线的磁场模型,利用有限元仿真软件计算出通电导线周围的磁场。基于在通电导线上方的两个位置磁场大小相等、方向相反的特点,设计了全桥拓扑结构的TMR元件。采用IrMn/CoFeB/Ru/CoFeB/MgO/CoFeB/NiFe/Ta的磁隧道结膜层结构,制备得到的TMR元件灵敏度为4.4mV/V/Oe,线性范围达到15Gs,offset仅为1%V_(cc)。利用该TMR元件构建的开环电流传感器,精度达到了1%,证明了TMR元件能够被用于电流传感器中。
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关键词
TMR
电流传感器
有限元分析
高灵敏度
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Keywords
TMR, current sensor, FEA, high sensitivity
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分类号
TM933
[电气工程—电力电子与电力传动]
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题名TMR单芯片微弱电流传感器的研制
被引量：8
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作者
王峥
郭海平
庞振江
徐绥召
王海宝
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机构
北京智芯微电子科技有限公司 国家电网公司重点实验室电力芯片设计分析实验室
江苏多维科技有限公司
北京智芯微电子科技有限公司 北京市电力高可靠性集成电路设计工程技术研究中心
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出处
《电测与仪表》
北大核心
2018年第17期129-133,共5页
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基金
工信部支持项目(0714-EMTC02-5378/4)
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文摘
针对微弱电流的检测,提出了一种单芯片微弱电流传感器,其原理是:利用隧道磁电阻(TMR)元件作为磁场敏感元件,并将电流导体和TMR元件进行集成,以减小电流导体与磁场敏感元件的间距,提高电流测量的分辨率。结合MEMS工艺,通过优化设计TMR元件结构和电流导体结构,研制出了电流分辨率达到20μA的微弱电流传感器,为微弱电流检测提供了一种有效、廉价的解决方案。
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关键词
TMR元件
高分辨率
微弱电流检测
MEMS
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Keywords
TMR element
high resolution
weak current detection
MEMS
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分类号
TM933
[电气工程—电力电子与电力传动]
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