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钢缆直径对大尺寸直拉单晶硅生长稳定性的影响: 1; 作者朱丽涛刘磊 +7 位作者原帅周声浪张华利汪晨高宇曹建伟余学功杨德仁《人工晶体学报》北大核心 2025年第6期942-948,共7页; 直拉单晶硅生长技术的发展促进了更大尺寸晶体的生产。目前,在重复拉晶过程中,单炉最后一根晶体的质量通常达到600~800 kg,已超过成熟技术中提拉钢缆的工程载荷上限。本文报道了设备改造中因增加提拉钢缆直径而引发的稳定性问题及其解... 展开更多; 关键词硅提拉法重复拉晶籽晶应力晶体生长提拉钢缆; 在线阅读下载PDF 职称材料

不同籽晶对多晶硅晶体生长的影响被引量：9: 2; 作者权祥焦富强 +3 位作者邓敏徐冬梅彭景云朱常任《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期2743-2746,共4页; 通过在坩埚底部铺设籽晶来控制形核的同步性,获得均一等大的硅晶粒,实验采用铺设硅粉、颗粒料、碎硅片三种籽晶来诱导硅晶体生长,结果表明硅粉籽晶生长硅晶体晶粒均匀性最好。采用硅粉籽晶所生产硅锭效率比碎硅片籽晶高0.3%。; 关键词硅晶体籽晶位错; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于神经网络和遗传算法的铸锭晶体硅质量控制及工艺优化被引量：3: 3; 作者郝佩瑶朱金伟 +2 位作者廖继龙郑丽丽张辉《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第3期385-397,共13页; 铸锭晶体硅是太阳能级晶硅材料的重要来源之一,为了进一步降低硅片成本,需要在保证晶体质量的同时发展大尺寸铸锭晶硅。影响铸造晶体硅质量的热场控制核心参数包括晶体生长速度与生长界面温度梯度之比V/G、壁面热流q、生长界面高度差Δ... 展开更多; 关键词铸锭晶体硅人工神经网络遗传算法 V/G 定向凝固晶体质量; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于迁移学习的大尺寸铸锭晶体硅热场设计被引量：1: 4; 作者郝佩瑶郑丽丽 +1 位作者张辉廖继龙《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第8期1323-1336,共14页; 不同尺寸的铸锭晶体硅生长过程具有相似性,小尺寸晶体的生长规律可以迁移至大尺寸。本文采用迁移学习(TL)对G8型铸锭炉进行热场设计,设计对象为侧、顶加热器位置及体积、侧隔热笼分区块高度,主要设计目标为减少晶体内部的位错缺陷、抑... 展开更多; 关键词 G8型铸锭炉晶体硅热场设计迁移学习神经网络遗传算法; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名钢缆直径对大尺寸直拉单晶硅生长稳定性的影响: 1; 作者朱丽涛刘磊原帅周声浪张华利汪晨高宇曹建伟余学功杨德仁; 机构浙江大学材料科学与工程学院浙江大学上虞半导体材料研究中心江苏协鑫硅材料科技发展有限公司浙江晶盛机电有限责任公司; 出处《人工晶体学报》北大核心 2025年第6期942-948,共7页; 基金国家重点研发计划课题(2024YFB4204902) 浙江省“尖兵”科技计划项目(2024C01054) 江苏省硅基电子材料重点实验室开放基金。; 文摘直拉单晶硅生长技术的发展促进了更大尺寸晶体的生产。目前,在重复拉晶过程中,单炉最后一根晶体的质量通常达到600~800 kg,已超过成熟技术中提拉钢缆的工程载荷上限。本文报道了设备改造中因增加提拉钢缆直径而引发的稳定性问题及其解决方案。研究发现,钢缆增粗后刚性增强,导致籽晶发生倾斜,进而在低负载时引发棱线偏移,在高负载时增加细颈断裂的风险。通过控制变量实验,本研究确认钢缆增粗后晶体生长稳定性的问题主要源于籽晶倾斜。此外,采用数值模拟方法进一步分析了籽晶倾斜所诱发的应力分布机制。最终,通过增加配重的方法,有效恢复了晶体生长的稳定性。; 关键词硅提拉法重复拉晶籽晶应力晶体生长提拉钢缆; Keywords silicon Czochralski repetitive Czochralski seed crystal stress crystal growth pulling cable; 分类号 O782.5 [理学—晶体学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名不同籽晶对多晶硅晶体生长的影响被引量：9: 2; 作者权祥焦富强邓敏徐冬梅彭景云朱常任; 机构徐州工业职业技术学院江苏协鑫硅材料科技发展有限公司; 出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期2743-2746,共4页; 基金徐州工业职业技术学院项目(XGY201307); 文摘通过在坩埚底部铺设籽晶来控制形核的同步性,获得均一等大的硅晶粒,实验采用铺设硅粉、颗粒料、碎硅片三种籽晶来诱导硅晶体生长,结果表明硅粉籽晶生长硅晶体晶粒均匀性最好。采用硅粉籽晶所生产硅锭效率比碎硅片籽晶高0.3%。; 关键词硅晶体籽晶位错; Keywords silicon crystal seed crystal dislocation; 分类号 TQ174.75 [化学工程—陶瓷工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于神经网络和遗传算法的铸锭晶体硅质量控制及工艺优化被引量：3: 3; 作者郝佩瑶朱金伟廖继龙郑丽丽张辉; 机构清华大学航天航空学院江苏协鑫硅材料科技发展有限公司清华大学工程物理系; 出处《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第3期385-397,共13页; 基金国家重点研发计划(2020YFB1506501)。; 文摘铸锭晶体硅是太阳能级晶硅材料的重要来源之一,为了进一步降低硅片成本,需要在保证晶体质量的同时发展大尺寸铸锭晶硅。影响铸造晶体硅质量的热场控制核心参数包括晶体生长速度与生长界面温度梯度之比V/G、壁面热流q、生长界面高度差Δh和硅熔体内部温差ΔT等。针对铸锭晶体硅生长过程中的质量控制问题,本研究基于人工神经网络(ANN)模型对晶体生长过程建立了工艺控制优化方法,利用实验测量数据和数值仿真模拟结果构建铸锭晶体硅生长过程的工艺控制数据集,以底部隔热笼开口和侧、顶加热器功率比作为主要工艺控制参数,V/G、|q|、|Δh|和ΔT为优化目标,建立用于研究晶体生长工艺控制参数和热场参数之间映射关系的神经网络模型。使用训练完成的模型分析底部隔热笼开口及侧、顶加热器功率比对晶体生长过程热场的影响规律,并采用遗传算法(GA)对铸锭晶体硅生长过程的工艺控制参数以提高晶体质量为目标进行优化,最后结合实际生产中的检测图像讨论了V/G对晶体质量的影响。研究表明晶体生长中期的V/G沿横向变化较平缓,对应缺陷较少且分布均匀,因此增大V/G在横向上的均匀度也是提高晶体质量的一个重要因素。; 关键词铸锭晶体硅人工神经网络遗传算法 V/G 定向凝固晶体质量; Keywords ingot crystalline silicon artificial neural network genetic algorithm V/G directional solidification crystal quality; 分类号 O469 [理学—凝聚态物理] TQ127.2 [化学工程—无机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于迁移学习的大尺寸铸锭晶体硅热场设计被引量：1: 4; 作者郝佩瑶郑丽丽张辉廖继龙; 机构清华大学航天航空学院清华大学工程物理系江苏协鑫硅材料科技发展有限公司; 出处《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第8期1323-1336,共14页; 基金国家重点研发计划(2020YFB1506501)。; 文摘不同尺寸的铸锭晶体硅生长过程具有相似性,小尺寸晶体的生长规律可以迁移至大尺寸。本文采用迁移学习(TL)对G8型铸锭炉进行热场设计,设计对象为侧、顶加热器位置及体积、侧隔热笼分区块高度,主要设计目标为减少晶体内部的位错缺陷、抑制硅锭边缘多晶且使晶体生长界面微凸。首先使用神经网络对已有的G7铸锭炉建立热场几何参数与热场评价参数间的映射模型,然后将该模型迁移至G8铸锭炉,对比不同模型结构对迁移过程的影响,采用Dropout分析模型是否存在过拟合,并使用遗传算法(GA)结合聚类算法(CA)对热场几何参数进行优化,以上为G8热场设计过程。最后对优化结果采用数值模拟方法研究其在晶体生长过程中的温度分布、固液界面形状等,最终选定的优化方案能够实现较高质量的长晶。将该方案同时应用于G7和G8热场并进行对比,结果表明G8在硅熔体和硅晶体中的轴向温度梯度均小于G7,在晶体生长界面沿径向的温度梯度也小于G7,这有利于减小晶体内部的热应力。; 关键词 G8型铸锭炉晶体硅热场设计迁移学习神经网络遗传算法; Keywords G8 ingot furnace crystalline silicon hot zone design transfer learning neural network genetic algorithm; 分类号 TP183 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程] TQ127.2 [化学工程—无机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	钢缆直径对大尺寸直拉单晶硅生长稳定性的影响	朱丽涛刘磊原帅周声浪张华利汪晨高宇曹建伟余学功杨德仁	《人工晶体学报》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	不同籽晶对多晶硅晶体生长的影响	权祥焦富强邓敏徐冬梅彭景云朱常任	《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2014	9	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于神经网络和遗传算法的铸锭晶体硅质量控制及工艺优化	郝佩瑶朱金伟廖继龙郑丽丽张辉	《人工晶体学报》 CAS 北大核心	2022	3	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于迁移学习的大尺寸铸锭晶体硅热场设计	郝佩瑶郑丽丽张辉廖继龙	《人工晶体学报》 CAS 北大核心	2022	1	在线阅读下载PDF 职称材料