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题名基于激光光热法的固体热扩散率数值分析
被引量：4
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作者
张青枝
吴钢
庞之洋
冯巧莲
毕柯
李雁飞
石零
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机构
海军工程大学机械工程系
江汉大学化学与环境学院
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期129-132,共4页
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基金
国家自然科学基金项目(No.51076165)资助
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文摘
固体材料的热扩散率对于研究低温非稳态导热过程极为重要,为了研究固体材料在低温下的热扩散率,本文根据热扩散理论模型计算样品材料在不同温度时的热扩散率,在此基础上基于激光光热法对热扩散率与激光频率和相位之间的函数关系进行了数值模拟,数值计算结果与实验数据对比表明两者基本相符,研究表明激光光热法可对固体材料的热扩散率进行有效测量,样品材料在低温下热扩散率的数值模拟表明20～80 K温区样品材料热扩散率随温度变化而显著变化,80～300 K温区材料热扩散率变化较小。
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关键词
激光光热法
热扩散率
低温工程
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Keywords
laser photothermal method
thermal diffusivity
cryogenic engineering
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
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题名关于CVD金刚石表面图形化的研究进展
被引量：2
- 2
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作者
满卫东
谢鹏
吴宇琼
孙蕾
汪建华
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机构
武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
江汉大学化学与环境学院
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出处
《真空与低温》
2008年第2期63-67,共5页
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基金
国家自然科学基金(No:50572075)资助
湖北省教育厅Q20081505项目(2004)资助
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文摘
金刚石膜是一种具有巨大应用潜力的新型功能材料, 但是它极高的硬度和良好的化学稳定性使其难以被加工成型, 因此如何对金刚石膜表面进行精确的图形化加工是实现制造金刚石器件的关键技术问题之一。系统地介绍了金刚石表面各种图形化的技术, 并且比较了它们的优缺点。
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关键词
金刚石
图形化
刻蚀
等离子体
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Keywords
diamond
patteming
etching
plasma
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分类号
TB43
[一般工业技术]
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题名氢等离子作用下Fe、Co对金刚石膜刻蚀的研究
- 3
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作者
满卫东
陈朋
吴宇琼
吕继磊
董维
朱金凤
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机构
武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
江汉大学化学与环境学院
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出处
《真空与低温》
2011年第1期17-22,共6页
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基金
湖北省自然科学基金2008CDB255
湖北省教育厅优秀中青年人才Q20081505项目资助
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文摘
金刚石具有很高的硬度,加工困难,为寻找一种刻蚀效率较高的材料,利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,在氢等离子体作用下,研究了Fe、Co对CVD金刚石膜表面的刻蚀效率。用SEM观察刻蚀效果,用Raman光谱对其表面结构进行表征。结果表明:在氢等离子体的作用下,Fe、Co对金刚石表面都有明显的腐蚀作用,其中Fe的刻蚀速率较高,并且可以通过对溶碳材料的厚度控制,来实现对刻蚀速率与刻蚀量的有效控制。对刻蚀后的样品用混合酸及丙酮处理后,得到了可与原始金刚石相媲美的质量。
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关键词
金刚石膜
溶碳材料
刻蚀
MPCVD
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Keywords
diamond film
dissolved carbon material
etching
MPCVD
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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