期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到10篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
半导体芯片化学机械抛光过程中材料去除机理研究进展 被引量：20
1
作者 赵永武 刘家浚 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期283-287,共5页
就国内外关于集成电路芯片化学机械抛光(CMP)材料去除机理研究的现状和进展进行了评述,总结了集成电路芯片常用介电材料二氧化硅以及导电互连材料钨、铝及铜的化学机械抛光研究现状和进展,进而分析了化学机械抛光过程中化学作用同机械... 就国内外关于集成电路芯片化学机械抛光(CMP)材料去除机理研究的现状和进展进行了评述,总结了集成电路芯片常用介电材料二氧化硅以及导电互连材料钨、铝及铜的化学机械抛光研究现状和进展,进而分析了化学机械抛光过程中化学作用同机械作用的协同效应,指出关于芯片化学机械抛光的材料去除机理尚存在争议,因此有必要在CMP研究领域引入原子力显微镜和电化学显微镜等先进分析测试设备和相关技术,以便在深入揭示CMP过程中材料去除机理的基础上,为更好地控制CMP过程和提高CMP效率提供科学依据. 展开更多
关键词 芯片 化学机械抛光(CMP) 材料去除机理 化学-机械协同效应
在线阅读 下载PDF
机械式金相试样抛光机改造为电解研磨复合抛光机
2
作者 刘新佳 许鹤群 《实验室研究与探索》 CAS 1998年第5期121-122,127,共3页
本文简要介绍了把普通机械式金相试样抛光机改装为电解研磨复合抛光机的方法及改装后的使用情况。结果表明，金相试样的电解研磨复合抛光具有高效、优质、经济的优点。
关键词 金相试样 抛光机 电解研磨 金属材料
在线阅读 下载PDF
干摩擦滞后系统的参数识别
3
作者 胡年丰 刘永宏 《江南大学学报（自然科学版）》 CAS 1992年第2期1-12,共12页
本文采用参数识别和非参数识别相结合的方法对含有干摩擦滞后特性的非线性系统的模型特征与参数进行了分析研完。利用正交幂级数多项式的最小二乘估计法对系统的非线性恢复力进行最佳逼近。提出了结合最小二乘回归技术关于非线性恢复力... 本文采用参数识别和非参数识别相结合的方法对含有干摩擦滞后特性的非线性系统的模型特征与参数进行了分析研完。利用正交幂级数多项式的最小二乘估计法对系统的非线性恢复力进行最佳逼近。提出了结合最小二乘回归技术关于非线性恢复力最佳阶次的判别方法。通过模拟识别和结合实际产品对双线性滞后模型的特征参数进行识别研完。为非线性干摩擦滞后系统的动态特性研究及工程应用提供了新的依据和方法。 展开更多
关键词 干摩擦滞后 非线性系统 参数识别
全文增补中
统计试验方法及其在机械优化设计中的应用
4
作者 袁金珠 《江南大学学报（自然科学版）》 CAS 1991年第2期28-34,共7页
本文讨论了统计试验方法及其在机械优化设计中的应用,重点探讨了自动变更设计变量搜索区域的方法。这对统计试验方法的实际应用有重要意义。
关键词 统计试验法 机械设计 优化设计
全文增补中
现代组合机床技术及其发展 被引量：1
5
作者 徐旭东 周菊琪 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 1995年第3期31-34,共4页
介绍了现代组合机床技术发展的主流，分析了组合机床柔性化的几个主要方面和通用部件、加工精度、应用范围等的现状及发展，从柔性制造技术角度介绍了组合机床综合自动化技术的发展新动向。
关键词 组合机床 机床技术 柔性化 现代化
在线阅读 下载PDF
营建工程环境，加大实验教学改革力度 被引量：7
6
作者 彭守敏 许鹤群 《实验技术与管理》 CAS 1999年第3期67-69,共3页
培养大学生的工程实践能力是工科院校的重要任务之一，文中论述学校营建工程环境对培养大学生工程素质的重要性，先决条件和基本方法，抓好实验室氛围，教师的素质，实验教学改革等，是最重要的环节。
关键词 工程环境 工程素质 实验教学 教学改革 高校
在线阅读 下载PDF
自动编程的现状和发展趋向 被引量：1
7
作者 沈孟养 《江南大学学报（自然科学版）》 CAS 1991年第4期84-89,共6页
数控加工程序编制是数控机床使用中的关键。本文论述自动编程的现状和发展趋向。提出应大力研制和推广在微型计算机上能实现的 CAD/CAM 一体化软件系统,以适应中、小企业的普及应用,推动我国机械工业的发展。
关键词 数控机床 自动编程 CAD CAM
在线阅读 下载PDF
可调偏置对传动误差的补偿机理及应用 被引量：1
8
作者 徐旭东 周菊琪 瞿靖华 《制造技术与机床》 CSCD 1996年第12期35-37,共3页
车床螺纹传动链的末端常采用对心直动滚子平面凸轮机构，而凸轮理论廓线为阿基米德螺线。若采用可调偏置．即可对传动误差进行有效的补偿，文章探讨了补偿机理以及在车床车螺纹装置中的应用实例。
关键词 平面凸轮 可调偏置 传动误差 补偿 车床
在线阅读 下载PDF
工件以“一面两孔”定位时的定位误差及其微机处理
9
作者 肖继德 《江南大学学报（自然科学版）》 CAS 1991年第4期57-68,共12页
本文较深入全面地对“一面两孔”定位误差进行分析计算,列出了不同方向,不同位置的加工尺寸在不同偏转角情况下的定位误差计算公式。并介绍了微机处理的软件及计算实例。该软件可在 IBM PC/XT 微机上运行,采用中、英文 BASIC 语言,通过... 本文较深入全面地对“一面两孔”定位误差进行分析计算,列出了不同方向,不同位置的加工尺寸在不同偏转角情况下的定位误差计算公式。并介绍了微机处理的软件及计算实例。该软件可在 IBM PC/XT 微机上运行,采用中、英文 BASIC 语言,通过人机对话形式,可快速计算出各种类型加工尺寸的定位误差。具有实用价值。 展开更多
关键词 机床 夹具 定位误差 微机处理 工件
在线阅读 下载PDF
SR—20可编程序控制器在单泵体钻铣组合机床上的应用
10
作者 周菊琪 《江南大学学报（自然科学版）》 CAS 1991年第2期72-79,共8页
本文对 SR—20型 PC 在一台八工位组合机床控制系统中的应用实例进行设计分析。采用鼓形控制器逻辑功能的优点、建立梯形图,提出控制系统的标准化典型化设计及提高系统工作稳定性的方法和措施。
关键词 机床 控制器 组合 单泵体 微机控制
全文增补中
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
关于我们 | 版权声明 | 联系我们 | 帮助中心| 意见反馈
主办单位：上海市教育委员会
技术支持：重庆维普资讯有限公司
渝公网安备 50019002500403号
使用帮助 返回顶部