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题名SEM电子光学光路自动设计初探
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作者
沈一骑
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机构
江南光学仪器厂电子光学仪器研究所
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1993年第2期196-196,共1页
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文摘
SEM电子光学系统的自动设计需要在未知磁透镜系统中追踪实际电子轨迹,根据象评介方法进行平衡和修正,最终输出各个设计参量。由于计算量巨大,目前还无法实现。但它又是电镜设计者所迫切需要的,因为它能使系统设计达到最优状态,并可提高设计效率。为了调和矛盾,我们设想将自动设计分为磁透镜的CAD和电子光学光路的自动设计。在光路自动设计时不再对磁透镜进行优选。同时由于SEM实际电子轨迹能较好地满足傍轴要求,故可采用几何电子光学和三级象差理论计算,使问题大为简化。我们看到,光路自动设计一开始就陷入矛盾,因为象差系数和光路设置互为前提,而这一循环过程是否收敛直接关系到自动设计的成败。本文除了给出各子程序的计算方法外,还着重分析系统的误差状况。
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关键词
电子显微镜
SEM
电子光学光路
设计
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分类号
TN16
[电子电信—物理电子学]
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题名用非线性空间变换提高机构状态测定精度
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作者
瞿华璞
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机构
江南光学仪器厂电子光学研究所
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1993年第2期195-195,共1页
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文摘
本文介绍在X射线波长色散谱仪的装配、调试中,以非线性空间变换理论为依据,直接测量卡尔丹机构运动过程中的两个特定状态时,其副正弦轴(图1中的l_i)之间的距离,使其等于理论计算值,从而精确地确定此机构在后一状态下,其主正弦轴(C_i)至卡尔丹运动定瞬心轨迹圆圆心S的距离L。这是一个精度很高的测定L的纯软件方法。而且可循环重复,进一步提高测量L的精确度。所谓非线性空间变换通俗地讲就是二个空间之间的变换关系不是线性函数对应关系。
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关键词
色谱仪
机械运动
测量
非线性
空间变换
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分类号
TH113.21
[机械工程—机械设计及理论]
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