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题名SEM电子光学光路自动设计初探
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作者
沈一骑
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机构
江南光学仪器厂电子光学仪器研究所
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1993年第2期196-196,共1页
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文摘
SEM电子光学系统的自动设计需要在未知磁透镜系统中追踪实际电子轨迹,根据象评介方法进行平衡和修正,最终输出各个设计参量。由于计算量巨大,目前还无法实现。但它又是电镜设计者所迫切需要的,因为它能使系统设计达到最优状态,并可提高设计效率。为了调和矛盾,我们设想将自动设计分为磁透镜的CAD和电子光学光路的自动设计。在光路自动设计时不再对磁透镜进行优选。同时由于SEM实际电子轨迹能较好地满足傍轴要求,故可采用几何电子光学和三级象差理论计算,使问题大为简化。我们看到,光路自动设计一开始就陷入矛盾,因为象差系数和光路设置互为前提,而这一循环过程是否收敛直接关系到自动设计的成败。本文除了给出各子程序的计算方法外,还着重分析系统的误差状况。
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关键词
电子显微镜
SEM
电子光学光路
设计
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分类号
TN16
[电子电信—物理电子学]
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