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反射系数相位法计算谐振腔外观品质因数的局限性 被引量:10
1
作者 林福民 王志勇 黄焕辉 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1399-1404,共6页
分析了反射系数相位法原理中所采用的完全耦合电路和实际等效电路之间的差异,指出采用反射系数相位法计算谐振腔外观品质因数失效的原因是:传输线与谐振腔只通过部分电感耦合;π模双间隙腔中存在耦合槽。定量计算表明:当谐振腔中耦合电... 分析了反射系数相位法原理中所采用的完全耦合电路和实际等效电路之间的差异,指出采用反射系数相位法计算谐振腔外观品质因数失效的原因是:传输线与谐振腔只通过部分电感耦合;π模双间隙腔中存在耦合槽。定量计算表明:当谐振腔中耦合电感与非耦合电感之比小于0.1,或者缝模频率小于2π模频率时,反射系数相位法就会失效。结合实际谐振腔的参数值进行分析得出:导致反射系数相位法失效的最主要原因是传输线与谐振腔只通过部分电感耦合,并且耦合电感太小。 展开更多
关键词 反射系数相位法 外观品质因数 部分电感耦合 双间隙腔 宽带速调管
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SrO-CeO_2体系化合物的固相反应机理研究 被引量:3
2
作者 符史流 戴军 丁球科 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期357-362,共6页
以SrCO3和CeO2为原料,采用XRD和TG/DTA分析技术研究了SrO-CeO2体系化合物的物相形成过程.结果发现,当灼烧温度低于950℃时,原始粉料只反应生成Sr2CeO4; 而当灼烧温度高于950℃时,在反应的初始阶段,原始粉料中同时出现SrCeO3和Sr2CeO4... 以SrCO3和CeO2为原料,采用XRD和TG/DTA分析技术研究了SrO-CeO2体系化合物的物相形成过程.结果发现,当灼烧温度低于950℃时,原始粉料只反应生成Sr2CeO4; 而当灼烧温度高于950℃时,在反应的初始阶段,原始粉料中同时出现SrCeO3和Sr2CeO4 物相,在950℃附近,主要产物为Sr2CeO4,在1000℃以上,主要产物为SrCeO3.SrCeO3 和Sr2CeO4物相分别存在着两种形成机制,当温度高于1000℃时,SrCeO3由SrO和CeO2 直接反应生成,而Sr2CeO4则由SrCeO3和SrO反应生成;当温度低于950℃时,Sr2CeO4 由SrO和CeO2直接反应生成,而在950℃附近SrCeO3则由Sr2CeO4和CeO2反应生成.依据这些实验结果,给出了SrO-CeO2体系固相反应规律,并对SrCeO3衍射数据JCPDS36-980 的错误结果进行了分析.荧光光谱测试结果表明,Sr2CeO4物相的形成机制对其激发光谱产生明显的影响. 展开更多
关键词 形成机制 SrCeO3 SR2CEO4 SrO—CeO2体系
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高能量密度物质的X射线Talbot-Lau干涉诊断技术综述 被引量:1
3
作者 陈泽畑 仵武汉 李昆 《强激光与粒子束》 北大核心 2025年第5期36-46,共11页
随着高能量密度(HED)物质诊断需求的日益增长,X射线干涉成像技术在该领域得到了广泛关注和应用。主要综述了X射线干涉成像技术与系统的国内外最新进展,介绍了基于Talbot和Talbot-Lau干涉的X射线光栅成像原理和能力,Talbot干涉和Talbot-... 随着高能量密度(HED)物质诊断需求的日益增长,X射线干涉成像技术在该领域得到了广泛关注和应用。主要综述了X射线干涉成像技术与系统的国内外最新进展,介绍了基于Talbot和Talbot-Lau干涉的X射线光栅成像原理和能力,Talbot干涉和Talbot-Lau干涉是通过利用具有周期性结构的光栅,对X射线的相位、吸收和散射特性进行高精度测量,从而实现对样品内部结构的无损检测与成像。总结了该技术在高能量密度物质诊断实验中的应用,介绍了Talbot干涉分析(TIA)代码,并依靠TIA程序与Flash流体力学代码结合进行了初步模拟,成功获取了Flash模型中的吸收、相位和暗场三种信息,最后总结和展望了X射线Talbot-Lau干涉诊断技术在高能量密度等离子体实验中的应用。 展开更多
关键词 Talbot-Lau干涉 高能量密度 等离子体 X射线成像
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Spacer(垫隔粉)微粒喷洒密度和均匀性自动检测系统及其图像处理
4
作者 姚若河 沈奕 +1 位作者 邱培峰 黎冠能 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2002年第4期49-51,共3页
应用计算机图像处理技术和机器视觉实现对SPACER(垫隔粉 )微粒喷洒密度和均匀性的自动检测。阐述SPACER(垫隔粉 )微粒密度自动测量系统的基本组成及工作原理。着重讨论了图像处理算法。
关键词 垫隔粉 图像处理 自动检测 LCD 微粒喷洒密度 均匀性 自动检测系统
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基于LabVIEW的载流子迁移率测试系统的设计 被引量:3
5
作者 汤震 邱桂明 +1 位作者 余云鹏 周涛 《电子测量技术》 2011年第4期70-73,共4页
针对传统测试方法所存在的局限性,根据线性增压载流子瞬态谱(CELIV)这一原理,以LabVIEW8.60为平台设计半导体载流子迁移率测试系统。介绍了系统的硬件、软件构成,详细介绍了软件的设计及功能实现。测试结果表明,该系统具有较好的数据采... 针对传统测试方法所存在的局限性,根据线性增压载流子瞬态谱(CELIV)这一原理,以LabVIEW8.60为平台设计半导体载流子迁移率测试系统。介绍了系统的硬件、软件构成,详细介绍了软件的设计及功能实现。测试结果表明,该系统具有较好的数据采集、数据保存、显示功能与可操作性,同时软件具有参数设置灵活、可二次开发等优点。 展开更多
关键词 LABVIEW CELIV 迁移率 测试系统
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延迟膜光谱分析测试系统及应用 被引量:3
6
作者 沈奕 王勇竞 +2 位作者 王琳静 姜言森 陈绍源 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期964-968,共5页
介绍了一个测试延迟膜在不同波长下延迟量的方法。在测量晶体相位延迟量1/4λ波片法的基础上,用分光光度计代替其中的光源、滤色片以及光电探测器,并且对样品进行了测试,利用所得数据,对样品的延迟量进行光谱分析。结果表明:延迟膜的色... 介绍了一个测试延迟膜在不同波长下延迟量的方法。在测量晶体相位延迟量1/4λ波片法的基础上,用分光光度计代替其中的光源、滤色片以及光电探测器,并且对样品进行了测试,利用所得数据,对样品的延迟量进行光谱分析。结果表明:延迟膜的色散效应相对较小,且由同种材料制作的具有不同延迟量的延迟膜其色散曲线极为相似。本实验得到的蓝光延迟量=(1-3.5%)绿光延迟量;红光延迟量=(1+2.6%)绿光延迟量,这为分析延迟膜的色散效应对彩色液晶显示所带来的影响提供了依据。由于此系统可忽略光强的波动及与光强有关的误差,且1/4λ波片对多波长测试误差的影响很小,故其有很高的精度和可靠性,可以测试其精度范围内的任意小延迟量,亦可对其他光学相位延迟器件进行光谱分析。 展开更多
关键词 延迟膜 光谱分析 1/4λ波片
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TFT LCD中Γ校正的系统设计与实现
7
作者 罗甜 朱维安 陈莉 《电子测量技术》 2012年第2期28-32,共5页
以分辨率240RGB×320的小尺寸彩屏TFT LCD为研究对象,针对驱动系统传送的视频数据不能正确反映亮度在大脑中形成的感觉问题,进行Γ校正电路设计。借助ORCAD PSPICE仿真软件,并采用TSMC 0.25μmMixed-Signal Salicide工艺完成电路仿... 以分辨率240RGB×320的小尺寸彩屏TFT LCD为研究对象,针对驱动系统传送的视频数据不能正确反映亮度在大脑中形成的感觉问题,进行Γ校正电路设计。借助ORCAD PSPICE仿真软件,并采用TSMC 0.25μmMixed-Signal Salicide工艺完成电路仿真设计。仿真结果表明:系统设计的电路很好地实现了幅度调节、斜率调节、以及微调节功能。 展开更多
关键词 TFT LCD Γ校正 ORCAD PSPICE TSMC0.25μm
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聚合物分散液晶的散射特性与成像恢复 被引量:1
8
作者 黄书阳 贾焓彬 +1 位作者 孙巍 谢向生 《红外与激光工程》 CSCD 北大核心 2024年第12期235-244,共10页
散射是光学成像的重要障碍之一,科学家已经发明了各种计算成像技术实现透过散射介质后的聚焦与成像。与之相反,有些散射介质在日常生活中起到保护隐私的作用,如窗帘、毛玻璃和聚合物分散液晶(Polymer Dispersed Liquid Crystal,PDLC)等... 散射是光学成像的重要障碍之一,科学家已经发明了各种计算成像技术实现透过散射介质后的聚焦与成像。与之相反,有些散射介质在日常生活中起到保护隐私的作用,如窗帘、毛玻璃和聚合物分散液晶(Polymer Dispersed Liquid Crystal,PDLC)等。PDLC作为一种电控切换透光状态的新颖散射介质,已被广泛应用到生活和工作中。文中研究了典型的PDLC的光学特性,包括散射特性、透明度及电控特性等,发现PDLC的散射效果主要体现在宽谱背景光匀化造成目标成像对比度下降上,透过PDLC的光场中的弹道光比例较高,总能通过相应的滤波和计算成像方法窥视其遮挡物体信息。目前的PDLC在保护隐私上存在较大隐患,简单的光学匀化不能作为PDLC设计和制备的唯一指标,必须提出更全面的散射光学特性指标。 展开更多
关键词 散斑相关成像 计算成像 光学记忆效应 聚合物分散液晶
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低温制备高质量多晶硅薄膜技术及其应用 被引量:17
9
作者 黄创君 林璇英 +2 位作者 林揆训 余楚迎 姚若河 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期561-563,共3页
多晶硅薄膜是集晶体硅材料和非晶硅氢合金薄膜优点于一体 ,在能源科学、信息科学的微电子技术中有广泛应用的一种新型功能材料。本文综述低温 ( <6 0 0℃ )制备高质量多晶硅薄膜技术的研究进展及其应用 ,着重讨论用等离子体化学气相... 多晶硅薄膜是集晶体硅材料和非晶硅氢合金薄膜优点于一体 ,在能源科学、信息科学的微电子技术中有广泛应用的一种新型功能材料。本文综述低温 ( <6 0 0℃ )制备高质量多晶硅薄膜技术的研究进展及其应用 ,着重讨论用等离子体化学气相沉积 (PECVD)硅基薄膜固相晶化制备多晶硅技术及其在薄膜硅太阳能电池上的应用。 展开更多
关键词 多晶硅 固相晶化 非晶硅氢合金薄膜 薄膜硅太阳能电池
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化妆品中草药添加剂的光谱特性研究 被引量:10
10
作者 黄翀 欧阳艳东 +2 位作者 方奕文 余云鹏 林舜辉 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期1649-1651,共3页
中草药作为化妆品天然添加剂 ,既能保持化妆品的特色 ,又有养护、保健和治疗的效果。某些中草药具有吸收紫外线的功能 ,而且有修复晒伤的作用。文章主要用紫外 可见分光光度计测定化妆品几种中草药添加剂的光谱特性 ,分析其对紫外光的... 中草药作为化妆品天然添加剂 ,既能保持化妆品的特色 ,又有养护、保健和治疗的效果。某些中草药具有吸收紫外线的功能 ,而且有修复晒伤的作用。文章主要用紫外 可见分光光度计测定化妆品几种中草药添加剂的光谱特性 ,分析其对紫外光的吸收作用。说明野生绞股蓝对紫外光有较好的吸收作用 ,完全可以作为较好的防晒和保健化妆品的天然添加剂 ;党参、野菊花、黄芩和甘草对紫外光也有一定的吸收作用 ,可以作为一般化妆品的天然添加剂。川芎对紫外光吸收较差 ,不能作为防晒添加剂。 展开更多
关键词 中草药 化妆品 添加剂 光谱特性 紫外-可见分光光度计 吸光度
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液晶光阀的电光色散特性研究 被引量:15
11
作者 黄翀 周学平 +3 位作者 欧阳艳东 林旭升 吴永俊 黄远明 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期539-541,共3页
分析液晶光阀(LCLV)的电光色散特性,重点研究扭曲向列型液晶光阀TB3639的电光色散特性。在温度为27℃时,将TB3639液晶光阀置于频率为1000Hz的交流电场中,测出电光特性T-λ曲线,同时得到不同波长的T-V电光特性曲线,确定对比度与... 分析液晶光阀(LCLV)的电光色散特性,重点研究扭曲向列型液晶光阀TB3639的电光色散特性。在温度为27℃时,将TB3639液晶光阀置于频率为1000Hz的交流电场中,测出电光特性T-λ曲线,同时得到不同波长的T-V电光特性曲线,确定对比度与光波波长的函数关系k(λ),并得出电光色散特性关系曲线k(λ)~λ。分析结果表明,TB3639液晶光阀在可见光区域,具有相对较高的对比度,其色散较小。波长在450~750nm区域其对比度均大于0.8;其中波长在550~670nm区域其对比度变化不大,均大于0.95,其色散最小。 展开更多
关键词 液晶光阀 光谱色散 电光特性
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混合纤芯光子晶体光纤超平坦色散的研究 被引量:29
12
作者 吴维庆 陈雄文 +3 位作者 周辉 周开锋 林旭升 兰胜 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期109-113,共5页
利用平面波展开法,系统地研究了一种具有混合纤芯结构的光子晶体光纤的色散特性.数值计算结果表明,通过优化结构参量,这种新型结构的光子晶体光纤在通信窗口1.55μm附近可以获得带宽超过800nm的超平坦色散区域(色散曲线的变化范围不超过... 利用平面波展开法,系统地研究了一种具有混合纤芯结构的光子晶体光纤的色散特性.数值计算结果表明,通过优化结构参量,这种新型结构的光子晶体光纤在通信窗口1.55μm附近可以获得带宽超过800nm的超平坦色散区域(色散曲线的变化范围不超过±0.6ps·km^(-1)·nm^(-1)). 展开更多
关键词 光子晶体光纤 平坦色散 平面波展开法
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汽车太阳膜的光谱特性分析 被引量:14
13
作者 黄翀 周学平 +1 位作者 林旭升 欧阳艳东 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期178-181,共4页
用带计算机控制系统的UVVis8500型双光束紫外可见分光光度计定量测量和分析了市场上某品牌汽车太阳膜的光谱特性。测量分析结果表明:普通膜系列太阳膜透视性能均良好,隔紫外线效果一般,隔热效果也不理想;防爆膜系列太阳膜隔热效果、隔... 用带计算机控制系统的UVVis8500型双光束紫外可见分光光度计定量测量和分析了市场上某品牌汽车太阳膜的光谱特性。测量分析结果表明:普通膜系列太阳膜透视性能均良好,隔紫外线效果一般,隔热效果也不理想;防爆膜系列太阳膜隔热效果、隔紫外线效果和透视性均一般;防爆抗磨系列太阳膜隔热效果和透视性均一般,但隔紫外线效果与其他系列膜比较是最好的;超级前挡膜系列太阳膜透视性能均良好,隔紫外线效果与隔热效果较好,是综合效果最好的汽车太阳膜。 展开更多
关键词 太阳膜 汽车 光谱特性
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Ca_2SnO_4:Tb^(3+)绿色荧光粉的制备及光致发光研究 被引量:10
14
作者 邱桂明 许成科 黄翀 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期2906-2909,共4页
采用高温固相法合成了Ca2SnO4∶Tb3+绿色荧光粉。利用X射线衍射分析了Ca2SnO4∶Tb3+物相的形成。测量了Ca2SnO4∶Tb3+的激发和发射光谱,激发光谱由一个宽激发峰组成,研究了Tb3+浓度对样品激发光谱的影响,结果显示,随Tb3+浓度增大,宽带... 采用高温固相法合成了Ca2SnO4∶Tb3+绿色荧光粉。利用X射线衍射分析了Ca2SnO4∶Tb3+物相的形成。测量了Ca2SnO4∶Tb3+的激发和发射光谱,激发光谱由一个宽激发峰组成,研究了Tb3+浓度对样品激发光谱的影响,结果显示,随Tb3+浓度增大,宽带激发峰发生了红移。发射光谱由四个主要发射峰组成,峰值分别位于491,543,588和623nm处,Tb3+以5 D4—7 F5(543nm)跃迁发射最强,低掺杂浓度下,Tb3+的7 F6能级出现斯托克劈裂,劈裂峰(481nm处)随Tb3+浓度增加,先增强然后减弱;在发光强度方面,随Tb3+浓度的增大呈现先增大后减小的趋势,当Tb3+摩尔浓度为9%时,发光强度最大,根据Dexter理论,确定了在Ca2SnO4基质中Tb3+自身浓度猝灭机理。荧光寿命测试表明Tb3+在Ca2SnO4基质中荧光衰减平均寿命为4.4ms。 展开更多
关键词 Ca2SnO4∶Tb3+ 荧光粉 光致发光 荧光寿命
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机械球磨与反应烧结合成Sr_2CeO_4发光体的研究 被引量:11
15
作者 符史流 戴军 周甫方 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第6期698-702,共5页
Sr2CeO4 phosphor was synthesized by mechanical milling and reactive sintering in this work. The solid state reaction of SrCO3 and CeO2 (2∶1) started at about 850 ℃ and completed at 1 000 ℃ for about 4 h. Two types ... Sr2CeO4 phosphor was synthesized by mechanical milling and reactive sintering in this work. The solid state reaction of SrCO3 and CeO2 (2∶1) started at about 850 ℃ and completed at 1 000 ℃ for about 4 h. Two types of formation mechanism of Sr2CeO4 were proposed. When the starting powder mixture was fired above 1 000 ℃, the unstable intermediate phase SrCeO3 was developed, which then reacted with SrCO3 to form the final product Sr2CeO4, however, SrCO3 and CeO2 converted directly to Sr2CeO4 at a lower temperature. The XRD results showed the crystal structure of Sr2CeO4 was orthorhombic. The emission spectra displayed a broad band with maximum at about 465 nm. The mechanical milling of starting power mixture and the sintering temperature had no effect on this emission spectra. 展开更多
关键词 机械球磨 SR2CEO4 发光体 发光材料 光谱 烧结温度
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无毒紫外吸收剂的制备及光谱特性分析 被引量:7
16
作者 方奕文 倪文秀 +2 位作者 黄翀 薛亮 余林 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1120-1122,共3页
对鸡蛋花树叶、芒果树叶、桂花树叶等几十种天然植物进行紫外吸收剂的提取,并对提取的紫外吸收剂进行光谱特性分析。通过对光谱特性分析结果的比较,选择紫外吸收效果最好的植物,探索提取紫外吸收剂的方法。结果显示,以芒果树叶为原... 对鸡蛋花树叶、芒果树叶、桂花树叶等几十种天然植物进行紫外吸收剂的提取,并对提取的紫外吸收剂进行光谱特性分析。通过对光谱特性分析结果的比较,选择紫外吸收效果最好的植物,探索提取紫外吸收剂的方法。结果显示,以芒果树叶为原料,蒸馏水为提取溶剂,乙醇为沉淀剂,得到的紫外吸收剂效果好,提取物配制成浓度为1%(ω/ω)的溶液,在整个紫外区(200~400nm)紫外光透过率不超过1%。产物无毒,收率为1.5%。 展开更多
关键词 天然植物 紫外吸收剂 提取 光谱特性
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SiCl_4-H_2为气源低温制备多晶硅薄膜 被引量:7
17
作者 黄创君 林璇英 +3 位作者 林揆训 余云鹏 余楚迎 池凌飞 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期650-652,共3页
以SiCl4 H2 为气源 ,用等离子体化学气相沉积技术 ,在衬底温度仅为 2 0 0℃时能获得多晶硅薄膜。最大晶粒达 1.5 μm ,结晶度在 90 %以上。薄膜中不含Cl、H、C、N、O等杂质 ,暗电导率高达 10 -4Ω-1·cm-1,光照稳定性好。对氯元素... 以SiCl4 H2 为气源 ,用等离子体化学气相沉积技术 ,在衬底温度仅为 2 0 0℃时能获得多晶硅薄膜。最大晶粒达 1.5 μm ,结晶度在 90 %以上。薄膜中不含Cl、H、C、N、O等杂质 ,暗电导率高达 10 -4Ω-1·cm-1,光照稳定性好。对氯元素在低温成膜中的作用进行初步讨论。 展开更多
关键词 多晶硅薄膜 SiCl4/H2气源 低温生长 结晶度
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聚苯乙炔包覆多壁碳纳米管的制备及其分散性 被引量:8
18
作者 郑伟玲 肖潭 +1 位作者 朱朦琪 吴萍 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2009年第11期2373-2379,共7页
用苯乙炔合成聚苯乙炔(PPA),对多壁碳纳米管进行纯化、氧化,然后将多壁碳纳米管与PPA一起在甲苯中超声分散.结果显示氧化多壁碳纳米管已被PPA包覆且能够稳定分散于甲苯溶液中,一个多月不沉降.分别采用傅立叶变换红外(FTIR)光谱、酸碱滴... 用苯乙炔合成聚苯乙炔(PPA),对多壁碳纳米管进行纯化、氧化,然后将多壁碳纳米管与PPA一起在甲苯中超声分散.结果显示氧化多壁碳纳米管已被PPA包覆且能够稳定分散于甲苯溶液中,一个多月不沉降.分别采用傅立叶变换红外(FTIR)光谱、酸碱滴定、拉曼光谱分析氧化后多壁碳纳米管的结构变化.利用高分辨透射电镜(HRTEM)分别观察纯化、氧化、PPA包覆多壁碳纳米管的分散情况. 展开更多
关键词 多壁碳纳米管 聚苯乙炔 非共价功能化 分散性
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Ce^(4+)和Eu^(3+)共掺杂的Ca_2SnO_4发光材料的合成与光谱特性 被引量:8
19
作者 符史流 柴飞 +1 位作者 周涛 张汉焱 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2009年第1期76-80,共5页
利用高温固相反应法合成了Ce4+和Eu3+共掺杂的Ca2-xEuxSn1-yCeyO4样品,并对其结构和发光特性进行了研究。X射线衍射结果显示,在Ca2SnO4中同时掺入Ce4+和Eu3+离子没有改变其晶体结构。Ca2-xEuxSn1-yCeyO4样品的发射光谱随Eu3+掺杂浓度产... 利用高温固相反应法合成了Ce4+和Eu3+共掺杂的Ca2-xEuxSn1-yCeyO4样品,并对其结构和发光特性进行了研究。X射线衍射结果显示,在Ca2SnO4中同时掺入Ce4+和Eu3+离子没有改变其晶体结构。Ca2-xEuxSn1-yCeyO4样品的发射光谱随Eu3+掺杂浓度产生很大变化,当Eu3+掺杂浓度低时,样品中同时存在着Ce4+-O2-的蓝光发射和Eu3+的红光发射;当Eu3+掺杂浓度较高时,样品呈现出Eu3+离子的红光发射。Ce4+-O2-蓝色发光的寿命约为81μs,其能量来源于O2-和Ce4+离子间的电荷迁移吸收;而Eu3+红色发光的寿命约为830μs,其能量来源于O2-和Eu3+离子间的电荷迁移吸收。Eu3+-O2-键比Ce4+-O2-键更容易吸收紫外光,两者之间没有能量传递现象。 展开更多
关键词 Ca2-xEuxSn1-yCeyO4 发光特性 荧光衰减 电荷迁移
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高速沉积非晶硅氢合金薄膜的研究 被引量:9
20
作者 林璇英 林揆训 +4 位作者 余云鹏 曾旭 陈家宜 王洪 吴萍 《功能材料》 EI CAS CSCD 1992年第5期280-283,共4页
在一个等离子体化学气相沉积(PCVD)系统中,用射频辉光放电分解纯硅烷,通过控制和选择工艺条件,可以制备速率大于1.0nm/s,光敏性大于10~5的优质非晶硅氢合金薄膜。
关键词 非晶硅氢合金 沉积速率 光敏性
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