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氢等离子体处理钝化层对高效晶硅异质结太阳电池性能的影响
被引量：
1
1
作者
刘欢
由甲川
+3 位作者
赵雷
王文静
曲铭浩
徐希翔
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第7期140-144,共5页
研究不同时间氢等离子体处理(HPT)氢化非晶硅a-Si:H(i)钝化层对高效晶硅异质结太阳电池(效率>23%)性能的影响。发现适当时间的HPT可改善钝化效果提升电池性能,但过长时间的HPT可导致薄膜钝化效果变差,有效少数载流子寿命降低。分析认...
研究不同时间氢等离子体处理(HPT)氢化非晶硅a-Si:H(i)钝化层对高效晶硅异质结太阳电池(效率>23%)性能的影响。发现适当时间的HPT可改善钝化效果提升电池性能,但过长时间的HPT可导致薄膜钝化效果变差,有效少数载流子寿命降低。分析认为HPT时间过长,H原子进入到a-Si:H(i)薄膜层中,导致薄膜内部SiH2增多,微结构因子(R)增大,薄膜质量变差。并且,适当时间的HPT改善太阳电池性能的幅度有限,而过长时间的HPT导致电池性能下降却很明显。因此,针对高效率的晶硅异质结太阳电池,应对钝化层沉积之后的HPT工艺进行谨慎控制。
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关键词
晶硅异质结
太阳电池
PECVD
氢等离子体处理
钝化
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职称材料
题名
氢等离子体处理钝化层对高效晶硅异质结太阳电池性能的影响
被引量：
1
1
作者
刘欢
由甲川
赵雷
王文静
曲铭浩
徐希翔
机构
中国科学院太阳能热利用及光伏系统重点实验室
中国科学院大学
洁净能源国家实验室
汉能薄膜发电集团成都研发中心
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第7期140-144,共5页
基金
国家自然科学基金面上项目(61674151)
中国科学院战略性先导科技专项A类项目课题(XDA21060500)。
文摘
研究不同时间氢等离子体处理(HPT)氢化非晶硅a-Si:H(i)钝化层对高效晶硅异质结太阳电池(效率>23%)性能的影响。发现适当时间的HPT可改善钝化效果提升电池性能,但过长时间的HPT可导致薄膜钝化效果变差,有效少数载流子寿命降低。分析认为HPT时间过长,H原子进入到a-Si:H(i)薄膜层中,导致薄膜内部SiH2增多,微结构因子(R)增大,薄膜质量变差。并且,适当时间的HPT改善太阳电池性能的幅度有限,而过长时间的HPT导致电池性能下降却很明显。因此,针对高效率的晶硅异质结太阳电池,应对钝化层沉积之后的HPT工艺进行谨慎控制。
关键词
晶硅异质结
太阳电池
PECVD
氢等离子体处理
钝化
Keywords
silicon heterojunction
solar cells
PECVD
hydrogen plasma treatment
passivation
分类号
TM914.41 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氢等离子体处理钝化层对高效晶硅异质结太阳电池性能的影响
刘欢
由甲川
赵雷
王文静
曲铭浩
徐希翔
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
1
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