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用于微型、纳米卫星三维作图的微型多来电子束曝光系统研究
1
作者
陶友松
付世民
+2 位作者
李达耀
刘志雄
西门纪业
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期310-313,共4页
采用微型多束电子束曝光手段研制微型、纳米卫星所用ＭＥＭＳ和ＡＳＩＭ分系统，具有灵活、迅速和设备费用较低的优点。本文介绍一台四束微型电子束曝光系统的总体方案、电子光柱计算、结构设计和扫描电路实验。四条电子束一条适用于微...
采用微型多束电子束曝光手段研制微型、纳米卫星所用ＭＥＭＳ和ＡＳＩＭ分系统，具有灵活、迅速和设备费用较低的优点。本文介绍一台四束微型电子束曝光系统的总体方案、电子光柱计算、结构设计和扫描电路实验。四条电子束一条适用于微型机械直接光刻，两条适用于ＶＬＳＩ和ＭＭＩＣ，第四条适用于光集成电路。
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关键词
电子束曝光系统
电子束曝光机
纳米卫星
电子光学柱
微型机械
结构设计
离子束
工件台
电气系统
光子束
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职称材料
纳米卫星微型连接器结构与工艺设计
2
作者
伍克军
李达耀
+1 位作者
陶友松
周福昌
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期306-309,共4页
微型连接器是微型和纳米卫星研制中连接和测试其ＭＥＭＳ和ＡＳＩＭ分系统不可缺少的部件。本文就连接器的结构和制造工艺做了初步的探讨，其中电子束ＣＡＤ和ＣＡＭ以及Ｘ射线ＬＩＧＡ工艺给出图形和工艺流程。
关键词
既n
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职称材料
题名
用于微型、纳米卫星三维作图的微型多来电子束曝光系统研究
1
作者
陶友松
付世民
李达耀
刘志雄
西门纪业
机构
永泉研究所北京研究发展部
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期310-313,共4页
文摘
采用微型多束电子束曝光手段研制微型、纳米卫星所用ＭＥＭＳ和ＡＳＩＭ分系统，具有灵活、迅速和设备费用较低的优点。本文介绍一台四束微型电子束曝光系统的总体方案、电子光柱计算、结构设计和扫描电路实验。四条电子束一条适用于微型机械直接光刻，两条适用于ＶＬＳＩ和ＭＭＩＣ，第四条适用于光集成电路。
关键词
电子束曝光系统
电子束曝光机
纳米卫星
电子光学柱
微型机械
结构设计
离子束
工件台
电气系统
光子束
分类号
V474 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
纳米卫星微型连接器结构与工艺设计
2
作者
伍克军
李达耀
陶友松
周福昌
机构
中国航天工业总公司二院二十三所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期306-309,共4页
文摘
微型连接器是微型和纳米卫星研制中连接和测试其ＭＥＭＳ和ＡＳＩＭ分系统不可缺少的部件。本文就连接器的结构和制造工艺做了初步的探讨，其中电子束ＣＡＤ和ＣＡＭ以及Ｘ射线ＬＩＧＡ工艺给出图形和工艺流程。
关键词
既n
Keywords
既n
分类号
V474 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
用于微型、纳米卫星三维作图的微型多来电子束曝光系统研究
陶友松
付世民
李达耀
刘志雄
西门纪业
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
0
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职称材料
2
纳米卫星微型连接器结构与工艺设计
伍克军
李达耀
陶友松
周福昌
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
0
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