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射频CO_2激光陶瓷基板划片机
1
作者
侯廉平
陈陪峰
陈清明
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期54-56,共3页
介绍了RFCO2 激光器及陶瓷基板划片的特点。分析了RFCO2 激光陶瓷基板划片的机理 ;给出了整机总体设计方案。对导光系统的激光束进行了模拟 ,给出了导光系统的光路图及聚焦镜焦平面处的光斑尺寸及能量分布图。
关键词
射频
CO2激光
陶瓷基板
划片机
激光划片
二氧化碳
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职称材料
高隔离度干涉截止滤光片的设计与制备
被引量:
2
2
作者
高晓丹
张晓晖
陈清明
《海军工程大学学报》
CAS
北大核心
2005年第6期77-79,共3页
根据光通讯无源器件和激光探测仪器对光学薄膜的特殊需求,采用解析法和自动优化法综合设计了高隔离度的干涉截止滤光片,分析了膜厚改变2%对设计膜系的透过率曲线的影响,通过莱宝APS1104镀膜机对所设计的膜系进行了实际镀制,获得了性能...
根据光通讯无源器件和激光探测仪器对光学薄膜的特殊需求,采用解析法和自动优化法综合设计了高隔离度的干涉截止滤光片,分析了膜厚改变2%对设计膜系的透过率曲线的影响,通过莱宝APS1104镀膜机对所设计的膜系进行了实际镀制,获得了性能优良的高隔离度截止滤光片.
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关键词
高隔离度
截止滤光片
膜系
优化设计
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职称材料
题名
射频CO_2激光陶瓷基板划片机
1
作者
侯廉平
陈陪峰
陈清明
机构
华中科技大学
激光
工程研究院
武汉金石凯激光技术有限公司
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期54-56,共3页
文摘
介绍了RFCO2 激光器及陶瓷基板划片的特点。分析了RFCO2 激光陶瓷基板划片的机理 ;给出了整机总体设计方案。对导光系统的激光束进行了模拟 ,给出了导光系统的光路图及聚焦镜焦平面处的光斑尺寸及能量分布图。
关键词
射频
CO2激光
陶瓷基板
划片机
激光划片
二氧化碳
Keywords
ceramic substrate,laser scribing,RF CO 2 laser
分类号
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
高隔离度干涉截止滤光片的设计与制备
被引量:
2
2
作者
高晓丹
张晓晖
陈清明
机构
海军工程大学兵器工程系
武汉金石凯激光技术有限公司
出处
《海军工程大学学报》
CAS
北大核心
2005年第6期77-79,共3页
文摘
根据光通讯无源器件和激光探测仪器对光学薄膜的特殊需求,采用解析法和自动优化法综合设计了高隔离度的干涉截止滤光片,分析了膜厚改变2%对设计膜系的透过率曲线的影响,通过莱宝APS1104镀膜机对所设计的膜系进行了实际镀制,获得了性能优良的高隔离度截止滤光片.
关键词
高隔离度
截止滤光片
膜系
优化设计
Keywords
high isolation
edge filter
formula
optimization design
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
射频CO_2激光陶瓷基板划片机
侯廉平
陈陪峰
陈清明
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2002
0
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职称材料
2
高隔离度干涉截止滤光片的设计与制备
高晓丹
张晓晖
陈清明
《海军工程大学学报》
CAS
北大核心
2005
2
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