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具有温度补偿的膜片型光纤光栅温度压力传感器 被引量:13
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作者 蔡安 印新达 +1 位作者 常晓东 江山 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第4期98-100,共3页
阐述了具有温度补偿结构的膜片型光纤光栅温度压力传感器。传感器以弹性膜片为感压元件,在压力作用下产生轴向位移来压缩压力敏感光栅以实现压力传感;通过结构温度补偿消除压力敏感光栅的温度漂移,同时串入感温光栅进行实时修正并实现... 阐述了具有温度补偿结构的膜片型光纤光栅温度压力传感器。传感器以弹性膜片为感压元件,在压力作用下产生轴向位移来压缩压力敏感光栅以实现压力传感;通过结构温度补偿消除压力敏感光栅的温度漂移,同时串入感温光栅进行实时修正并实现温度测量。对传感器的压力和温度特性进行了测量。试验结果表明:压力灵敏度为528 pm/MPa,温度灵敏度为8 pm/℃。 展开更多
关键词 光纤光栅 压力传感器 弹性膜片 温度补偿
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