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准分子激光直写加工特性与脉冲参数关系的研究
被引量：
3
1
作者
魏仁选
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期85-87,共3页
以玻璃为实验靶材 ,用精密微动平台准确调节靶材位置 ,利用波长 2 4 8nm的KrF准分子激光器 ,研究了准分子激光直写加工图形和激光脉冲数及脉冲能量之间的关系。实验证明 ,随着加工槽深度的增大 ,单个激光脉冲所烧蚀的深度逐渐减小 ,当...
以玻璃为实验靶材 ,用精密微动平台准确调节靶材位置 ,利用波长 2 4 8nm的KrF准分子激光器 ,研究了准分子激光直写加工图形和激光脉冲数及脉冲能量之间的关系。实验证明 ,随着加工槽深度的增大 ,单个激光脉冲所烧蚀的深度逐渐减小 ,当达到一定的脉冲数时 ,所烧蚀槽的深度基本上保持不变。脉冲能量越大 ,刻蚀速率越大 。
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关键词
准分子激光
微加工
刻蚀
能量
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职称材料
干涉法测量多层透明膜系反射率
被引量：
1
2
作者
魏仁选
姜德生
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期763-765,共3页
应用干涉法实现透明膜系反射率的测量。将待测膜系镀在两薄玻璃片上 ,并构成 F- P干涉仪 ,根据透射光谱的自由谱宽和干涉峰的半宽值 ,计算出膜系反射率 ,避免了光源波动对测量结果的影响。在实验中所用膜系的反射率小于 98%时 ,测量偏...
应用干涉法实现透明膜系反射率的测量。将待测膜系镀在两薄玻璃片上 ,并构成 F- P干涉仪 ,根据透射光谱的自由谱宽和干涉峰的半宽值 ,计算出膜系反射率 ,避免了光源波动对测量结果的影响。在实验中所用膜系的反射率小于 98%时 ,测量偏差小于 0 .0 0 4 %。
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关键词
膜系
反射率
干涉法
谱宽
F-P干涉仪
透射光谱
多层
透明膜
玻璃
测量结果
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职称材料
题名
准分子激光直写加工特性与脉冲参数关系的研究
被引量：
3
1
作者
魏仁选
机构
武汉理工大学光纤传感技术研究中心国家光纤传感技术工业性实验基地
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期85-87,共3页
文摘
以玻璃为实验靶材 ,用精密微动平台准确调节靶材位置 ,利用波长 2 4 8nm的KrF准分子激光器 ,研究了准分子激光直写加工图形和激光脉冲数及脉冲能量之间的关系。实验证明 ,随着加工槽深度的增大 ,单个激光脉冲所烧蚀的深度逐渐减小 ,当达到一定的脉冲数时 ,所烧蚀槽的深度基本上保持不变。脉冲能量越大 ,刻蚀速率越大 。
关键词
准分子激光
微加工
刻蚀
能量
Keywords
excimer laser
micro fabrication
etching
energy
分类号
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
干涉法测量多层透明膜系反射率
被引量：
1
2
作者
魏仁选
姜德生
机构
武汉理工大学光纤传感技术研究中心国家光纤传感技术工业性实验基地
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期763-765,共3页
文摘
应用干涉法实现透明膜系反射率的测量。将待测膜系镀在两薄玻璃片上 ,并构成 F- P干涉仪 ,根据透射光谱的自由谱宽和干涉峰的半宽值 ,计算出膜系反射率 ,避免了光源波动对测量结果的影响。在实验中所用膜系的反射率小于 98%时 ,测量偏差小于 0 .0 0 4 %。
关键词
膜系
反射率
干涉法
谱宽
F-P干涉仪
透射光谱
多层
透明膜
玻璃
测量结果
Keywords
Transparent films Reflectivity Fabry-Perot interferometry Wavelength
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
TN141.32 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
准分子激光直写加工特性与脉冲参数关系的研究
魏仁选
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004
3
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职称材料
2
干涉法测量多层透明膜系反射率
魏仁选
姜德生
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
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职称材料
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