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微透镜及其应用简介
被引量：
1
1
作者
孔令彬
易新建
+1 位作者
申毕红
陈四海
《红外技术》
CSCD
北大核心
2002年第2期18-21,共4页
对二元光学的产生和发展作了介绍 ,并阐述了二元光学元件之一的微透镜 (microlenses)的设计、制作和测试方法以及它们的主要应用。微透镜的设计是基于已成熟的标量衍射理论 ;而其制作过程包括 :计算机设计波面相位、产生掩膜板、光刻或...
对二元光学的产生和发展作了介绍 ,并阐述了二元光学元件之一的微透镜 (microlenses)的设计、制作和测试方法以及它们的主要应用。微透镜的设计是基于已成熟的标量衍射理论 ;而其制作过程包括 :计算机设计波面相位、产生掩膜板、光刻或离子 (束 )蚀刻以及复制产生微透镜 ,其关键技术蚀刻方法有等离子蚀刻技术和反应离子蚀刻RIE(ReactiveIonEtching)技术 ;微透镜的测试主要包括衍射效率(diffractiveefficiency)和点扩散函数 (PSF)的测试 ,有直接法和间接法两种测试方法。微透镜可以微型化与阵列化 ,并且可以同微电子器件一起集成化 。
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关键词
二元光学
微透镜
衍射效率
点扩散函数
蚀刻
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职称材料
反映的主体性原则和客体性原则的辩证统一关系
2
作者
田耘
《江汉论坛》
CSSCI
北大核心
1996年第1期45-46,共2页
关键词
主体性原则和客体性原则
主客体关系
辩证统一关系
社会历史性
客观实在性
对象性关系
超越性
自主性
主体和客体
客观性
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职称材料
题名
微透镜及其应用简介
被引量：
1
1
作者
孔令彬
易新建
申毕红
陈四海
机构
中国地质大学机电系
华中科技大学图象信息处理与智能控制教育部重点实验室
武汉水利电力学校
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2002年第2期18-21,共4页
基金
国家高技术研究发展计划资助项目
国家自然科学基金资助项目
文摘
对二元光学的产生和发展作了介绍 ,并阐述了二元光学元件之一的微透镜 (microlenses)的设计、制作和测试方法以及它们的主要应用。微透镜的设计是基于已成熟的标量衍射理论 ;而其制作过程包括 :计算机设计波面相位、产生掩膜板、光刻或离子 (束 )蚀刻以及复制产生微透镜 ,其关键技术蚀刻方法有等离子蚀刻技术和反应离子蚀刻RIE(ReactiveIonEtching)技术 ;微透镜的测试主要包括衍射效率(diffractiveefficiency)和点扩散函数 (PSF)的测试 ,有直接法和间接法两种测试方法。微透镜可以微型化与阵列化 ,并且可以同微电子器件一起集成化 。
关键词
二元光学
微透镜
衍射效率
点扩散函数
蚀刻
Keywords
binary optics
microlenses
diffractive efficiency
point spread function
etching
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
反映的主体性原则和客体性原则的辩证统一关系
2
作者
田耘
机构
武汉水利电力学校
出处
《江汉论坛》
CSSCI
北大核心
1996年第1期45-46,共2页
关键词
主体性原则和客体性原则
主客体关系
辩证统一关系
社会历史性
客观实在性
对象性关系
超越性
自主性
主体和客体
客观性
分类号
B02 [哲学宗教—哲学理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微透镜及其应用简介
孔令彬
易新建
申毕红
陈四海
《红外技术》
CSCD
北大核心
2002
1
在线阅读
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职称材料
2
反映的主体性原则和客体性原则的辩证统一关系
田耘
《江汉论坛》
CSSCI
北大核心
1996
0
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