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微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置的研究进展 被引量：9
1
作者 黄建良 汪建华 满卫东 《真空与低温》 2008年第1期1-5,共5页
综述了各种微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜装置的结构及工作原理,并对它们各自的优缺点做了比较分析;基于MPCVD金刚石膜装置的发展现状,构想设计了一种新型高效的大功率大面积快速沉积CVD金刚石膜装置,并对其可行性做了初步... 综述了各种微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜装置的结构及工作原理,并对它们各自的优缺点做了比较分析;基于MPCVD金刚石膜装置的发展现状,构想设计了一种新型高效的大功率大面积快速沉积CVD金刚石膜装置,并对其可行性做了初步分析研究。 展开更多
关键词 金刚石膜 微波 化学气相沉积 装置
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低温空气等离子体改性PDMS的研究 被引量：3
2
作者 李艳琼 王升高 +1 位作者 程莉莉 汪建华 《真空与低温》 2008年第2期86-90,共5页
为了改善聚二甲基硅氧烷(PDMS)的亲水性和稳定其电渗性能,采用空气微波等离子体在低温条件下对其表面进行改性。利用原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱(XPS)及静态接触角对处理前后的PDMS进行分析。经空气微波等离子体处理3min后,PDM... 为了改善聚二甲基硅氧烷(PDMS)的亲水性和稳定其电渗性能,采用空气微波等离子体在低温条件下对其表面进行改性。利用原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱(XPS)及静态接触角对处理前后的PDMS进行分析。经空气微波等离子体处理3min后,PDMS的亲水性得到极大的改善,水在其表面的接触角接近零度。XPS结果表明:处理后PDMS表面形成SiOx薄层;AFM显示空气等离子体处理对PDMS的表面没有损伤。与文献报道的高、中真空氧等离子体处理方法相比,亲水效果基本一致,却大幅度降低了对设备真空系统的要求,并缩短了操作时间,节约了成本。最佳处理条件为:微波为100W,腔体内气压为1.0kPa,空气的流量为20sccm(1sccm=1cm3·min-1),时间3min。 展开更多
关键词 聚二甲基硅氧烷 空气等离子体 微波 亲水性能
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多功能微波等离子体教学研究装置的研制
3
作者 张磊 侯想 +2 位作者 胥明 夏明荣 马志斌 《大学物理》 北大核心 2009年第6期33-35,39,共4页
针对目前国内等离子体技术的教学和研究远远落后于工程应用的实际情况,开发了多功能微波等离子体教学研究装置.该装置利用频率2.45GHz的微波激励稀薄气体放电,形成轴对称的等离子体球,产生的等离子体无内部电极,可避免放电污染.同时通... 针对目前国内等离子体技术的教学和研究远远落后于工程应用的实际情况,开发了多功能微波等离子体教学研究装置.该装置利用频率2.45GHz的微波激励稀薄气体放电,形成轴对称的等离子体球,产生的等离子体无内部电极,可避免放电污染.同时通过微波技术、真空技术、冷却技术的集成,使该装置结构紧凑、性能稳定、性价比较高.利用该装置进行了金刚石薄膜沉积与离子体诊断实验,效果良好. 展开更多
关键词 微波等离子体 金刚石膜沉积 离子体诊断
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含Fe(Ⅲ)离子有机-无机层状类钙钛矿杂合物修饰电极对对苯二酚的电催化作用及测定 被引量：1
4
作者 周寻 吴婧 +1 位作者 陈高峰 林志东 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1149-1153,共5页
以酚藏花红为有机层、含三价铁的K3Fe(CN)6为无机层在空气中合成了有机-无机层状类钙钛矿杂合物修饰碳糊电极。利用扫描电镜(SEM)和X-射线衍射(XRD)对其表面形貌和微观结构进行表征,并用循环伏安法研究了杂合物修饰电极的电化学性质,发... 以酚藏花红为有机层、含三价铁的K3Fe(CN)6为无机层在空气中合成了有机-无机层状类钙钛矿杂合物修饰碳糊电极。利用扫描电镜(SEM)和X-射线衍射(XRD)对其表面形貌和微观结构进行表征,并用循环伏安法研究了杂合物修饰电极的电化学性质,发现该电极对对苯二酚具有良好的电催化作用。结果表明,在pH5.0的PBS缓冲溶液中,对苯二酚在空白碳糊电极上为二步还原过程而在修饰电极上只有一步还原过程,修饰电极更有利于检测对苯二酚。采用微分脉冲伏安法在-0.4～0V电位范围内进行扫描,在-240.2mV处的还原峰电流与对苯二酚浓度在1.0×10-6～1.0×10-3mol/L范围呈良好的线性关系,相关系数为0.9951,检出限为4.73×10-7mol/L。对1.0×10-5mol/L的对苯二酚连续测定5次,相对标准偏差为1.8%。模拟样品中对苯二酚的平均加标回收率为102%。 展开更多
关键词 有机-无机层状类钙钛矿杂合物 修饰电极 对苯二酚 电催化
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含Fe^(3+)层状类钙钛矿合成及其电化学性能
5
作者 周寻 吴婧 +1 位作者 陈高峰 林志东 《武汉工程大学学报》 CAS 2010年第11期65-69,共5页
以酚藏花红为有机层、以含三价铁的Fe(CN)63-为无机层,在空气中,合成层状有机-无机类钙钛矿杂合物.利用扫描电镜(SEM)和X-射线衍射(XRD)对其表面形貌和微观结构进行表征.利用循环伏安法研究了杂合物修饰碳糊电极的电化学性能,并探讨了Na... 以酚藏花红为有机层、以含三价铁的Fe(CN)63-为无机层,在空气中,合成层状有机-无机类钙钛矿杂合物.利用扫描电镜(SEM)和X-射线衍射(XRD)对其表面形貌和微观结构进行表征.利用循环伏安法研究了杂合物修饰碳糊电极的电化学性能,并探讨了NaNO2、NaBr、对苯二酚、盐酸羟胺与合成的杂合物相互作用.结果表明:合成的杂合物具有典型的层状结构,具有良好的电化学活性,可进一步电化学器件应用研究. 展开更多
关键词 层状类钙钛矿结构 杂合物 酚藏花红 氧化还原 电催化
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纳米氧化钛基气敏材料的合成与气敏性能研究 被引量：2
6
作者 张宏 林志东 许涛 《武汉工程大学学报》 CAS 2009年第7期69-72,75,共5页
采用溶胶凝胶法制备了纳米二氧化钛粉末,并与均匀沉淀法制备的纳米二氧化锡粉末复合,制备出纳米TiO2-SnO2复合材料.通过硝酸银掺杂制得TiO2-Ag+,TiO2-SnO2-Ag+(Ti/Sn=2∶1),TiO2-SnO2-Ag+(Ti/Sn=3∶1)三类气敏材料,采用静态配气法测试... 采用溶胶凝胶法制备了纳米二氧化钛粉末,并与均匀沉淀法制备的纳米二氧化锡粉末复合,制备出纳米TiO2-SnO2复合材料.通过硝酸银掺杂制得TiO2-Ag+,TiO2-SnO2-Ag+(Ti/Sn=2∶1),TiO2-SnO2-Ag+(Ti/Sn=3∶1)三类气敏材料,采用静态配气法测试了气敏元件对乙醇,甲醇和甲醛的气敏特性.实验结果表明,TiO2复合SnO2并掺杂适量Ag+能显著改善TiO2的气敏性能,其中Ti∶Sn=2的复合材料气敏性能优于Ti∶Sn=3的复合材料. 展开更多
关键词 TIO2 SNO2 纳米复合材料 气敏性能
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CVD金刚石薄膜的形核研究 被引量：4
7
作者 黄建良 汪建华 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S2期312-315,共4页
实验采用10kW不锈钢谐振腔型微波等离子体化学气相沉积装置,在Mo、Ni、Fe 3种不同类型的异质衬底上进行了金刚石形核研究;实验中发现对衬底采取高温氢等离子体退火处理(处理条件为:微波功率3000W,工作气压8.0kPa,H2流量100sccm,基片温... 实验采用10kW不锈钢谐振腔型微波等离子体化学气相沉积装置,在Mo、Ni、Fe 3种不同类型的异质衬底上进行了金刚石形核研究;实验中发现对衬底采取高温氢等离子体退火处理(处理条件为:微波功率3000W,工作气压8.0kPa,H2流量100sccm,基片温度约为900℃,处理时间为10～15min);以及在衬底上镀上复合过渡层的预处理方式能够抑制低温低气压条件下碳的石墨化趋向和提高膜、过渡层、衬底三者之间的结合力,进而可以有效地提高和改善金刚石膜的形核密度和质量。 展开更多
关键词 微波化学气相沉积 形核 金刚石膜
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微波法大功率稳定快速沉积CVD金刚石膜 被引量：6
8
作者 黄建良 汪建华 《武汉工程大学学报》 CAS 2007年第4期63-66,共4页
为了提高微波等离子体化学气相沉积CVD金刚石膜的速率,通过对微波源的磁控管、装置的冷却系统及真空密封技术三方面的改进,当微波频率为2.45 GHz、输出有效功率为6.0 kW以上时,装置能够长期稳定地运行;并在微波输入功率4.5 kW、CH4质量... 为了提高微波等离子体化学气相沉积CVD金刚石膜的速率,通过对微波源的磁控管、装置的冷却系统及真空密封技术三方面的改进,当微波频率为2.45 GHz、输出有效功率为6.0 kW以上时,装置能够长期稳定地运行;并在微波输入功率4.5 kW、CH4质量分数1.2%、气体流量150 SCCM、沉积气压9.5 kPa、基片温度(900±10)°C、沉积时间240 h的沉积工艺条件下(衬底上加上-150 V偏压),成功地在硅片上快速沉积出了厚度为500μm的金刚石厚膜,平均沉积速率为2.1μm/h,沉积膜的拉曼光谱图和SEM照片表明沉积出金刚石膜的质量很好. 展开更多
关键词 金刚石膜 微波 化学气相沉积 装置 磁控管
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聚乙二醇修饰纳米二氧化锡的制备及气敏特性 被引量：1
9
作者 林志东 宋文龙 +2 位作者 王珂 郭春亮 陈双 《武汉工程大学学报》 CAS 2013年第3期52-56,共5页
以五水四氯化锡为原材料,聚乙二醇为表面包覆剂,用沉淀法制备出二氧化锡纳米粉体.将制得的二氧化锡纳米粉体经过研磨、涂覆、烧结、焊接、老化等步骤即制得旁热式烧结型二氧化锡气敏元件.取少量二氧化锡纳米粉体采用X射线衍射、比表面... 以五水四氯化锡为原材料,聚乙二醇为表面包覆剂,用沉淀法制备出二氧化锡纳米粉体.将制得的二氧化锡纳米粉体经过研磨、涂覆、烧结、焊接、老化等步骤即制得旁热式烧结型二氧化锡气敏元件.取少量二氧化锡纳米粉体采用X射线衍射、比表面测试、扫描电镜和透射电镜等测试手段对材料的结构、比表面积和形貌进行了表征;采用静态配气法测试了气敏元件对乙醇、甲醛、丙酮、甲醇等气体的气敏性能.结果表明:制备的二气化锡粉体粒径非常小且均一性比较好,颗粒大小约为5～8nm;比表面积极大,最高达到每克73.29平方米,具有多孔结构,最可几孔径为4.7～6.1nm,多孔结构可形成气体通道有利于气体分子扩散,从而提高气敏性能.通过添加聚乙二醇作为表面包覆剂对二氧化锡进行修饰,提高了二氧化锡材料的气敏性能,研究表明各元件对乙醇、甲醛、丙酮、甲醇等气体都具有很高的灵敏度,具有较大的应用前景. 展开更多
关键词 纳米材料 多孔 传感器 灵敏度 沉淀法
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氧化钛锡复合纳米粉的制备及其气敏性 被引量：3
10
作者 宋文龙 郑聚成 +2 位作者 陈高峰 何芳远 林志东 《武汉工程大学学报》 CAS 2011年第7期81-86,共6页
TiO2和SnO2都是n型半导体,广泛应用于检测H2、CO、醇类等气体的气敏传感器的研究中.本文以钛酸丁脂Ti(OC4H9)4和结晶四氯化锡SnCl4.5H2O为原料,采用共沉淀法,制备出氧化钛、氧化锡复合纳米粉.通过XRD、AFM对制备的复合材料进行了表征.... TiO2和SnO2都是n型半导体,广泛应用于检测H2、CO、醇类等气体的气敏传感器的研究中.本文以钛酸丁脂Ti(OC4H9)4和结晶四氯化锡SnCl4.5H2O为原料,采用共沉淀法,制备出氧化钛、氧化锡复合纳米粉.通过XRD、AFM对制备的复合材料进行了表征.以二氧化锡和二氧化钛摩尔比分别为2∶1;4∶1;6∶1;8∶1;10∶1的5种复合纳米粉体为基体材料,制成旁热式气敏传感器;采用静态配气法测试了各元件对乙醇气体的气敏性能;对元件的灵敏度、响应及恢复特性进行了研究;并分析了乙醇浓度、加热温度等对气敏元件气敏性能的影响.结果表明,复合材料由纳米晶粒组成,复合材料中TiO2含量低于12.5%时,钛离子取代锡离子形成固溶体,其气敏性能较高;TiO2含量大于12.5%,TiO2独立形核,形成两相复合纳米粉.复合材料对乙醇的灵敏度随浓度的增加而增大,呈现出比较好的线性关系.在273℃,乙醇体积分数为400×10-6时,n(SnO2)∶n(TiO2)=10∶1的复合粉体制备的气敏元件的灵敏度高达130.7;并且元件具有良好的响应及恢复特性. 展开更多
关键词 纳米材料 半导体 传感器 TIO2 SNO2
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