高压微波氢等离子体Balmer线系的实验 被引量：3

1

作者 翁国峰 湛玉龙 +2 位作者 陶利平 付秋明 马志斌 《武汉工程大学学报》 CAS 2011年第7期73-76,共4页

采用压缩波导反应腔结构和热辅助激发的方式产生了可稳定运行于近一个大气压条件下的微波辉光氢等离子体,通过发射光谱诊断技术测量了连续放电过程中氢Balmer线系的Hα、Hβ、Hγ和Hδ谱线,并分析了谱线强度随气压的变化趋势及其机理.... 采用压缩波导反应腔结构和热辅助激发的方式产生了可稳定运行于近一个大气压条件下的微波辉光氢等离子体,通过发射光谱诊断技术测量了连续放电过程中氢Balmer线系的Hα、Hβ、Hγ和Hδ谱线,并分析了谱线强度随气压的变化趋势及其机理.实验结果表明,氢Balmer线系的Hα、Hβ、Hγ和Hδ谱线的强度都有随着气压上升先升高后下降的趋势,等离子体的电子激发温度则是随着气压的升高先降低后趋向于稳定. 展开更多

关键词 微波氢等离子体 发射光谱 Balmer线系

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微波等离子体化学气相沉积法制备石墨烯的研究进展 被引量：3

2

作者 涂昕 满卫东 +1 位作者 游志恒 阳朔 《真空与低温》 2014年第2期63-70,76,共9页

微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法具有低温生长、基底材料选择广泛、容易掺杂等优点,是大面积、高速率、高质量石墨烯制备的首选。首先通过比较制备石墨烯的几种主要CVD方法得出MPCVD法的优势,然后阐述了MPCVD法制备石墨烯的研究,最... 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法具有低温生长、基底材料选择广泛、容易掺杂等优点,是大面积、高速率、高质量石墨烯制备的首选。首先通过比较制备石墨烯的几种主要CVD方法得出MPCVD法的优势,然后阐述了MPCVD法制备石墨烯的研究,最后介绍了MPCVD法制备的石墨烯的应用并对MPCVD法制备石墨烯的发展趋势进行了展望。 展开更多

关键词 微波等离子体化学气相沉积 石墨烯 研究 应用

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低气压直流辉光等离子体实验装置 被引量：1

3

作者 龙珏 吴振辉 +2 位作者 周旋 夏明荣 马志斌 《大学物理实验》 2009年第1期75-78,共4页

介绍了低气压下直流辉光放电等离子体的实验装置,该装置具有结构合理、调节方便、测量参数多等特点,可在其上开展等离子体参数测量、等离子体激发机理研究等多项教学实验。

关键词 直流辉光等离子体 电子温度与浓度 帕邢定律

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用氢气／甲醇混合气体在微波等离子体CVD中合成纳米晶粒金刚石膜(英文) 被引量：9

4

作者 满卫东 江建华 +3 位作者 王传新 马志斌 王升高 熊礼威 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期126-128,131,共4页

用微波等离子体增强化学气相沉积方法(MPECVD),利用氢气和甲醇的混合气体,在硅片上沉积出纳米晶粒的金刚石薄膜。用扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱(Raman)、原子力显微镜(AFM)及扫描隧道显微镜(STM)对薄膜的晶粒平面平整性及纯度进行了... 用微波等离子体增强化学气相沉积方法(MPECVD),利用氢气和甲醇的混合气体,在硅片上沉积出纳米晶粒的金刚石薄膜。用扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱(Raman)、原子力显微镜(AFM)及扫描隧道显微镜(STM)对薄膜的晶粒平面平整性及纯度进行了表征。通过SEM发现,提高甲醇浓度或降低沉积温度可以减小金刚石膜的晶粒尺寸。拉曼光谱显示薄膜中确实存在纳米晶粒的金刚石,并且薄膜的主要成分为金刚石。用AFM测得薄膜表面的粗糙度Rms<80nm,STM观测晶粒的平均尺寸在10-20nm之间。研究结果表明,用MPECVD方法,利用氢气和甲醇的混合气体是制备纳米晶粒金刚石膜的一种理想方法。 展开更多

关键词 纳米晶粒 金刚石膜 微波 化学气相沉积

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微波等离子体CVD法制备金刚石薄膜涂层钻头 被引量：2

5

作者 谢鹏 汪建华 +2 位作者 满卫东 王传新 孙蕾 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S2期309-311,318,共4页

在微波等离子体CVD中,在直径为0.8mm硬质合金钻头上进行沉积金刚石涂层的研究。在沉积前,用硝酸(HNO3:H2O=1:4)腐蚀60s,以去除表面的Co。在金刚石涂层沉积过程中,钻头尖端在微波电磁场中产生辉光放电现象,导致钻头尖端刃部很难获得金刚... 在微波等离子体CVD中,在直径为0.8mm硬质合金钻头上进行沉积金刚石涂层的研究。在沉积前,用硝酸(HNO3:H2O=1:4)腐蚀60s,以去除表面的Co。在金刚石涂层沉积过程中,钻头尖端在微波电磁场中产生辉光放电现象,导致钻头尖端刃部很难获得金刚石涂层。通过使用金属丝屏蔽的方法改变钻头周围的微波电磁场分布,成功地采用微波等离子体CVD法在钻头上沉积出了金刚石涂层。用扫描电子显微镜(SEM)、能量色散谱仪(EDS)和激光拉曼光谱对基体和薄膜进行了表征。结果表明,金刚石薄膜表面比较光滑,晶粒尺寸较小,涂层质量良好;在铝基复合材料上钻孔测试表明,薄膜的附着力也较高。 展开更多

关键词 金刚石涂层 钻头 微波等离子体化学气相沉积 硬质合金

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磁场位形对微波ECR等离子体电子参数的影响 被引量：5

6

作者 沈武林 马志斌 谭必松 《武汉工程大学学报》 CAS 2010年第9期53-57,共5页

测量了两种磁场位形中微波ECR等离子体的电子参数,研究了磁场位形对电子参数空间分布的影响,结果表明:发散场中电子温度在轴心和腔体边缘较大,在过渡的中间区域较小,而磁镜场中电子温度随径向半径R的增大单调减小;电子密度在两种磁场位... 测量了两种磁场位形中微波ECR等离子体的电子参数,研究了磁场位形对电子参数空间分布的影响,结果表明:发散场中电子温度在轴心和腔体边缘较大,在过渡的中间区域较小,而磁镜场中电子温度随径向半径R的增大单调减小;电子密度在两种磁场位形中随径向和轴向距离的增大均呈单调下降的趋势,磁镜场中的下降幅度大于发散场;在共振面附近,发散场中气压对电子温度的影响比在磁镜场中大,而气压对电子密度的影响在两种磁场位形中基本相似. 展开更多

关键词 ECR等离子体 发散场 磁镜场

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微波ECR氧等离子体参数测量 被引量：2

7

作者 谭必松 马志斌 吴振辉 《武汉工程大学学报》 CAS 2009年第5期51-53,共3页

利用双探针对微波ECR氧离子体参数进行了诊断研究,测量了等离子体的双探针伏安曲线并计算出电子温度和离子密度,分析了气压、微波功率、氧气流量等参数对等离子体参数的影响.结果表明:a.随着气压的升高,等离子体密度先增大后减小,电子... 利用双探针对微波ECR氧离子体参数进行了诊断研究,测量了等离子体的双探针伏安曲线并计算出电子温度和离子密度,分析了气压、微波功率、氧气流量等参数对等离子体参数的影响.结果表明:a.随着气压的升高,等离子体密度先增大后减小,电子温度逐渐减小.b.等离子密度随微波功率的增加先增加后达到饱和,电子温度受微波功率影响很小.c.随着氧气流量的增加,等离子体密度和电子温度都减小. 展开更多

关键词 ECR等离子体 朗谬尔双探针 电子温度 等离子体密度

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常压等离子体引发丙烯酰胺聚合研究 被引量：2

8

作者 余冬冬 王明洋 王升高 《武汉工程大学学报》 CAS 2011年第4期62-64,共3页

利用Ar冷弧等离子体对丙烯酰胺单体进行处理并引发聚合,制备出高吸水性聚丙烯酰胺.研究了放电时间、聚合温度、单体质量分数等对聚合产物吸水性能的影响,实验结果表明在放电时间为90 s,聚合温度为30℃,单体质量分数为30%,后聚合时间为2... 利用Ar冷弧等离子体对丙烯酰胺单体进行处理并引发聚合,制备出高吸水性聚丙烯酰胺.研究了放电时间、聚合温度、单体质量分数等对聚合产物吸水性能的影响,实验结果表明在放电时间为90 s,聚合温度为30℃,单体质量分数为30%,后聚合时间为24 h的聚合条件下聚合物的吸水率为340(g/g). 展开更多

关键词 常压等离子体引发聚合 丙烯酰胺 高吸水性聚合物

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氧等离子体刻蚀CVD金刚石膜 被引量：1

9

作者 吴振辉 马志斌 +2 位作者 谭必松 郑先锋 汪建华 《武汉工程大学学报》 CAS 2009年第1期65-68,共4页

分别采用直流辉光、微波和电子回旋共振3种氧等离子体对CVD金刚石膜表面进行了刻蚀.利用扫描电子显微镜对三种等离子体刻蚀后金刚石膜表面的形貌进行了观察分析.通过对刻蚀后形貌差异的比较,探讨了它们各自的刻蚀机理,并从等离子体鞘层... 分别采用直流辉光、微波和电子回旋共振3种氧等离子体对CVD金刚石膜表面进行了刻蚀.利用扫描电子显微镜对三种等离子体刻蚀后金刚石膜表面的形貌进行了观察分析.通过对刻蚀后形貌差异的比较,探讨了它们各自的刻蚀机理,并从等离子体鞘层理论出发建立了刻蚀模型. 展开更多

关键词 氧等离子体 CVD金刚石膜 刻蚀机理

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不同等离子体体系中纳米金刚石薄膜制备的研究 被引量：3

10

作者 李伟 汪建华 周详 《真空与低温》 2013年第3期150-154,共5页

利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法分别在CH4/H2/Ar体系、CH4/H2/O2体系和C2H5OH/H2体系中进行纳米金刚石(NCD)薄膜的制备研究。采用原子力显微镜(AFM)和激光拉曼光谱(Raman)等方法对不同体系中制备得到的NCD薄膜的表面形貌及其质... 利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法分别在CH4/H2/Ar体系、CH4/H2/O2体系和C2H5OH/H2体系中进行纳米金刚石(NCD)薄膜的制备研究。采用原子力显微镜(AFM)和激光拉曼光谱(Raman)等方法对不同体系中制备得到的NCD薄膜的表面形貌及其质量进行了检测。结果表明:在CH4/H2体系中添加O2对于促进高平整度NCD薄膜的效果明显优于添加Ar;C2H5OH/H2体系更有利于制备颗粒更细、金刚石相含量更高的NCD薄膜。利用等离子体CVD技术的相关理论对上述结论进行了理论分析。 展开更多

关键词 纳米金刚石薄膜 微波等离子 化学气相沉积

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FeMnO_x和等离子体对苯的协同降解 被引量：1

11

作者 陈睿 王升高 +3 位作者 崔丽佳 刘星星 张维 皮晓强 《真空与低温》 2016年第3期173-176,180,共5页

为提高介质阻挡放电对空气中苯的降解效率,以硫酸锰和过硫酸铵为原料,采用水热法制备出β-MnO_2载体,并用浸渍烧结法制备出FeMnO_x复合型催化剂。结合等离子体对模拟空气中的苯进行了降解研究,分析了β-MnO_2和FeMnO_x在不同条件下对苯... 为提高介质阻挡放电对空气中苯的降解效率,以硫酸锰和过硫酸铵为原料,采用水热法制备出β-MnO_2载体,并用浸渍烧结法制备出FeMnO_x复合型催化剂。结合等离子体对模拟空气中的苯进行了降解研究,分析了β-MnO_2和FeMnO_x在不同条件下对苯的降解率的影响。结果表明,FeMnO_x复合型催化剂与等离子体结合能有效提高模拟空气中苯的降解率和二氧化碳选择比;苯的降解率和二氧化碳选择比随功率的增加而增加,但随气体流速的增加而减少。苯的降解率可达到73.4%,二氧化碳选择比升至86.5%。 展开更多

关键词 介质阻挡放电 催化 降解

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氧化钌/聚苯胺复合材料的制备与电化学性能研究 被引量：4

12

作者 陈高峰 徐杰 +4 位作者 周寻 杜楠轩 宋谢清 吕进玉 林志东 《石油化工高等学校学报》 CAS 2009年第4期1-4,共4页

以RuCl3.nH2O为原料通过溶胶-水热法制得纳米RuO2粒子,然后在RuO2溶胶体系中通过常规的化学氧化法由苯胺氧化聚合制备纳米RuO2/聚苯胺复合材料,采用扫描电镜(SEM)和X-射线衍射(XRD)对其形貌和微观结构进行表征,并用循环伏安法研究了不同... 以RuCl3.nH2O为原料通过溶胶-水热法制得纳米RuO2粒子,然后在RuO2溶胶体系中通过常规的化学氧化法由苯胺氧化聚合制备纳米RuO2/聚苯胺复合材料,采用扫描电镜(SEM)和X-射线衍射(XRD)对其形貌和微观结构进行表征,并用循环伏安法研究了不同RuO2质量分数的复合材料电极的电化学性能。结果表明,RuO2质量分数为5%时,RuO2/聚苯胺复合材料形成致密的表面包覆型结构,聚苯胺电化学电容消失,复合材料电极电容很小。RuO2质量分数大于或小于5%时,RuO2粒子呈弥散状分布在聚苯胺中;RuO2质量分数为3%时,复合材料比电容达到极值374.6 F/g,这种复合材料具有很好的电化学特性,适于用作超级电容器电极。 展开更多

关键词 RUO2 聚苯胺 复合材料 电化学性能

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氧回旋离子束刻蚀化学气相沉积金刚石膜 被引量：2

13

作者 吴俊 马志斌 沈武林 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期2459-2463,共5页

利用非对称磁镜场电子回旋共振等离子体产生的氧回旋离子束刻蚀了化学气相沉积金刚石膜,研究了工作气压和磁电加热电压对金刚石样品附近的离子温度和密度的影响,并分析了金刚石膜的刻蚀和机械抛光效果。结果表明:当工作气压为0.03Pa,磁... 利用非对称磁镜场电子回旋共振等离子体产生的氧回旋离子束刻蚀了化学气相沉积金刚石膜,研究了工作气压和磁电加热电压对金刚石样品附近的离子温度和密度的影响,并分析了金刚石膜的刻蚀和机械抛光效果。结果表明:当工作气压为0.03Pa,磁电加热电压为200 V时,离子温度和密度最大,分别为7.38eV和23.8×1010cm-3。在此优化条件下刻蚀金刚石膜4h后,其表面粗糙度由刻蚀前的3.525μm降为2.512μm,机械抛光15min后,表面粗糙度降低为0.517μm,即金刚石膜经离子束刻蚀后可显著提高机械抛光效率。 展开更多

关键词 离子灵敏探针 离子温度 金刚石膜 刻蚀 回旋离子束

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氢等离子作用下Fe、Co对金刚石膜刻蚀的研究

14

作者 满卫东 陈朋 +3 位作者 吴宇琼 吕继磊 董维 朱金凤 《真空与低温》 2011年第1期17-22,共6页

金刚石具有很高的硬度,加工困难,为寻找一种刻蚀效率较高的材料,利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,在氢等离子体作用下,研究了Fe、Co对CVD金刚石膜表面的刻蚀效率。用SEM观察刻蚀效果,用Raman光谱对其表面结构进行表征。结果表... 金刚石具有很高的硬度,加工困难,为寻找一种刻蚀效率较高的材料,利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,在氢等离子体作用下,研究了Fe、Co对CVD金刚石膜表面的刻蚀效率。用SEM观察刻蚀效果,用Raman光谱对其表面结构进行表征。结果表明:在氢等离子体的作用下,Fe、Co对金刚石表面都有明显的腐蚀作用,其中Fe的刻蚀速率较高,并且可以通过对溶碳材料的厚度控制,来实现对刻蚀速率与刻蚀量的有效控制。对刻蚀后的样品用混合酸及丙酮处理后,得到了可与原始金刚石相媲美的质量。 展开更多

关键词 金刚石膜 溶碳材料 刻蚀 MPCVD

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氢氧化钴/氢氧化镍复合材料的制备及电化学性能研究 被引量：1

15

作者 钟艳 王升高 +3 位作者 陈睿 刘星星 崔丽佳 王岩 《真空与低温》 2017年第4期235-240,共6页

过渡金属氧化物(氢氧化物)由于其优良的电容特性而受到极大的关注,其中Co(OH)_2和Ni(OH)_2是研究的热点。采用电化学沉积法制备不同摩尔比的Co(OH)_2/Ni(OH)_2复合材料,利用XRD和SEM对沉积产物进行结构和形貌表征,同时采用循环伏安法、... 过渡金属氧化物(氢氧化物)由于其优良的电容特性而受到极大的关注,其中Co(OH)_2和Ni(OH)_2是研究的热点。采用电化学沉积法制备不同摩尔比的Co(OH)_2/Ni(OH)_2复合材料,利用XRD和SEM对沉积产物进行结构和形貌表征,同时采用循环伏安法、恒电流充放电以及电化学阻抗谱对电极材料进行电化学性能测试。结果表明,电化学沉积法可以制备出不同摩尔比的Co(OH)_2/Ni(OH)_2复合材料,电极材料为纳米花状结构,而这种结构大幅增加了活性材料的比表面积。随着沉积溶液中Co(NO_3)_2或Ni(NO_3)_2含量的增加,Co(OH)_2/Ni(OH)_2电极材料的放电时间与比电容值呈现先增大后减小的趋势。其中,当沉积溶液中Ni(NO_3)_2∶Co(NO_3)_2=1∶1时,所沉积的Co(OH)_2/Ni(OH)_2复合材料的放电时间最长、比电容值最大,可达到841.15 F/g。 展开更多

关键词 超级电容器 电沉积 氢氧化钴 氢氧化镍 复合材料 电化学性能

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不同衬底材料上外延金刚石的研究 被引量：7

16

作者 满卫东 吕继磊 +4 位作者 吴宇琼 陈朋 朱金凤 董维 汪建华 《宝石和宝石学杂志》 CAS 2010年第4期6-11,共6页

利用自制的5kW微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置对在不同衬底材料上外延生长的CVD金刚石进行了研究。利用HPHT金刚石、CVD异质形核生长的金刚石及Ia型天然金刚石样品作为籽晶,分析了不同CH4浓度与基片温度对外延CVD金刚石的影响以... 利用自制的5kW微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置对在不同衬底材料上外延生长的CVD金刚石进行了研究。利用HPHT金刚石、CVD异质形核生长的金刚石及Ia型天然金刚石样品作为籽晶,分析了不同CH4浓度与基片温度对外延CVD金刚石的影响以及通过扫描电子显微镜表征了CVD金刚石外延面的表面形貌。结果发现,HPHT金刚石为籽晶,由于其自身缺陷导致外延效果不佳;CVD异质形核生长的衬底因形核阶段的晶面生长难以控制而使其外延面较粗糙;经打磨的Ia型天然金刚石才是理想的籽晶。当CH4浓度约为10%、基片温度为1020℃时,CVD金刚石的外延生长速率可达到70.0μm/h。 展开更多

关键词 宝石级金刚石 微波等离子体 化学气相沉积 外延 籽晶

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掺镍多孔纳米SnO_2材料的制备及其气敏性能 被引量：4

17

作者 周旋 陈高峰 +3 位作者 龙钰璇 周寻 宋文龙 林志东 《武汉工程大学学报》 CAS 2010年第12期73-75,79,共4页

以SnCl4.5H2O为原料,聚乙二醇(PEG-1000)作为分散剂,利用沉淀法制备出SnO2纳米粉体,采用扫描电镜(SEM)和X-射线衍射(XRD)对其形貌和微观结构进行表征.并以其作为基底材料以离子的形式掺杂摩尔比为1%的Ni2+作为气敏材料,制作掺杂和未掺... 以SnCl4.5H2O为原料,聚乙二醇(PEG-1000)作为分散剂,利用沉淀法制备出SnO2纳米粉体,采用扫描电镜(SEM)和X-射线衍射(XRD)对其形貌和微观结构进行表征.并以其作为基底材料以离子的形式掺杂摩尔比为1%的Ni2+作为气敏材料,制作掺杂和未掺杂两种旁热式气敏元件,测试其对乙醇、甲醇和丙酮的气敏特性.发现在较低的工作温度下两种元件对三种气体都有较高的敏感性,同时Ni离子的掺杂对三种气体的灵敏度有不同的影响,对乙醇表现出很好的选择性. 展开更多

关键词 多孔纳米SnO2 聚乙二醇 气敏性能

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光辐照、热处理对Li_2O-Al_2O_3-SiO_2光敏微晶玻璃光化学加工性能的影响 被引量：1

18

作者 李艳琼 杨茂文 +3 位作者 王升高 王涛 程莉莉 汪建华 《青岛科技大学学报（自然科学版）》 CAS 2008年第2期143-146,159,共5页

采用溶胶凝胶法结合高温熔制法,研制了适合微流控芯片用的光敏微晶玻璃。利用XRD、DTA和SEM测试技术,研究了热处理、光辐照对Li2O-Al2O3-SiO2系统微晶玻璃光化学加工性能的影响,确定出较为合理的工艺条件:光照时间30 min,热处理时温度升... 采用溶胶凝胶法结合高温熔制法,研制了适合微流控芯片用的光敏微晶玻璃。利用XRD、DTA和SEM测试技术,研究了热处理、光辐照对Li2O-Al2O3-SiO2系统微晶玻璃光化学加工性能的影响,确定出较为合理的工艺条件:光照时间30 min,热处理时温度升到485℃保温200 min,600℃保温60 min,升温速率约5℃.min-1。在此基础上,制备出微流控芯片分析用的十字沟道和储液池。 展开更多

关键词 溶胶凝胶法 微流控芯片 光敏微晶玻璃 光敏性能

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掺硼多晶金刚石膜电极的电化学研究

19

作者 陈朋 满卫东 +3 位作者 吕继磊 朱金凤 董维 汪建华 《武汉工程大学学报》 CAS 2010年第12期69-72,共4页

通过MPCVD法在高掺杂硅衬底上生长掺硼金刚石膜（BDD）,并用四探针,扫描电镜,激光拉曼,电化学工作站对其进行了检测,发现所制备的掺硼金刚石膜电导率达10-2Ω.cm,同时发现金刚石膜质量因硼原子的掺入而有所下降,采用循环伏安法研究其电... 通过MPCVD法在高掺杂硅衬底上生长掺硼金刚石膜（BDD）,并用四探针,扫描电镜,激光拉曼,电化学工作站对其进行了检测,发现所制备的掺硼金刚石膜电导率达10-2Ω.cm,同时发现金刚石膜质量因硼原子的掺入而有所下降,采用循环伏安法研究其电化学性质,结果表明,与Pt电极相比（1.8V和-1×10-3~3×10-4A）,BDD具有很宽的电化学窗口（~3.2 V）,较低的背景电流（-3×10-6~2×10-6A）,在铁氰化钾电解液中,表面所进行的电化学反应具有较好的准可逆性,在对有机物苯酚的催化氧化检测中发现：与Pt电极相比,BDD电极氧化能力强,且氧化产物简单、彻底,因此可以作为一种理想的电极材料. 展开更多

关键词 化学气相沉积 掺硼金刚石膜 电化学 循环伏安法

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碳纳米纤维/镍管复合材料的制备

20

作者 王传新 谢秋实 +1 位作者 汪建华 谢海鸥 《武汉工程大学学报》 CAS 2013年第1期31-35,共5页

采用化学镀法在化学纤维布表面覆盖均匀镍层,通过热处理去除基体后获得中空镍纤维管;将其置于化学气相沉积装置中,通过调整合适的氢气和甲烷流量比及气压条件制备了以中空微米镍纤维管为主体结构、碳纳米纤维(CNF)以及金属管体结构为存... 采用化学镀法在化学纤维布表面覆盖均匀镍层,通过热处理去除基体后获得中空镍纤维管;将其置于化学气相沉积装置中,通过调整合适的氢气和甲烷流量比及气压条件制备了以中空微米镍纤维管为主体结构、碳纳米纤维(CNF)以及金属管体结构为存储介质的碳纳米纤维/镍管复合纤维材料.运用扫描电子显微镜(SEM)分析中空镍纤维及复合纤维管表面形貌,X射线衍射(XRD)对复合纤维管晶相组成进行表征.结果表明,利用模版法制备出的中空镍纤维管孔径在10μm左右,管壁厚约0.5μm;化学气相沉积制备过程中,当微波功率500W,氢气和甲烷流量比100∶6,气压4.0kPa,沉积时间5min时,复合纤维管外壁和端口内壁均匀沉积长径比较大且直径均匀分布的碳纳米纤维,碳纤维直径约50nm;复合纤维成分为碳纳米纤维、镍和三镍化磷合金相,其中碳纳米纤维表现为石墨相.表面覆盖有碳纳米纤维的镍管复合材料,增加了材料自身的吸附存储和导电性能,可应用于多相催化、电容存储和电极材料等领域. 展开更多

关键词 碳纳米纤维 镍纤维管 复合材料 化学气相沉积

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