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氧等离子体处理硬质合金表面对金刚石薄膜附着性能的影响
1
作者
邢文娟
汪建华
+2 位作者
王传新
皮华滨
余学超
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期689-693,698,共6页
本文采用微波氧等离子体刻蚀硬质合金基体表面,再利用热的浓碱溶液清除硬质合金表面所形成的氧化物,通过扫描电镜(SEM)观察了试样表面情况,并通过X射线能谱(EDAX)分析了硬质合金表面各成分变化情况。经过预处理的试样采用热丝化学气相沉...
本文采用微波氧等离子体刻蚀硬质合金基体表面,再利用热的浓碱溶液清除硬质合金表面所形成的氧化物,通过扫描电镜(SEM)观察了试样表面情况,并通过X射线能谱(EDAX)分析了硬质合金表面各成分变化情况。经过预处理的试样采用热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜,对所沉积出的金刚石薄膜采用SEM观察及压痕测试,发现经过氧等离子体处理的金刚石刀具较两步酸蚀法处理过的金刚石薄膜涂层,其附着性能有较大提高。
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关键词
氧等离子体
金刚石薄膜
硬质合金刀具
附着性能
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职称材料
CVD金刚石厚膜的机械抛光研究
被引量：
18
2
作者
严朝辉
汪建华
+1 位作者
满卫东
熊军
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2007年第3期32-35,共4页
化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜表面粗糙且厚薄不均匀,在许多情况下不能直接使用,必须对其进行抛光。本文研究了不同型号的金刚石微粉对CVD金刚石厚膜研磨的影响,通过对研磨结果的比较分析,优化出一种高质量高效率的抛光方法,即先采用...
化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜表面粗糙且厚薄不均匀,在许多情况下不能直接使用,必须对其进行抛光。本文研究了不同型号的金刚石微粉对CVD金刚石厚膜研磨的影响,通过对研磨结果的比较分析,优化出一种高质量高效率的抛光方法,即先采用W40和W28金刚石微粉,分别研磨2 h,然后用W0.5金刚石微粉研磨4 h。经扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)测试分析表明:金刚石膜的平均去除率为12.2μm/h,粗糙度Ra由4.60μm降至3.06 nm,说明该抛光方法能实现金刚石膜高质量、高效率的抛光。
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关键词
CVD金刚石膜
研磨
抛光
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职称材料
题名
氧等离子体处理硬质合金表面对金刚石薄膜附着性能的影响
1
作者
邢文娟
汪建华
王传新
皮华滨
余学超
机构
武汉工程大学湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期689-693,698,共6页
基金
湖北省科技攻关计划(No.2002AA105A02)
湖北省教育厅2004年创新团队项目
文摘
本文采用微波氧等离子体刻蚀硬质合金基体表面,再利用热的浓碱溶液清除硬质合金表面所形成的氧化物,通过扫描电镜(SEM)观察了试样表面情况,并通过X射线能谱(EDAX)分析了硬质合金表面各成分变化情况。经过预处理的试样采用热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜,对所沉积出的金刚石薄膜采用SEM观察及压痕测试,发现经过氧等离子体处理的金刚石刀具较两步酸蚀法处理过的金刚石薄膜涂层,其附着性能有较大提高。
关键词
氧等离子体
金刚石薄膜
硬质合金刀具
附着性能
Keywords
oxyen plasma
diamond film
cemented carbide
adhesion capability
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
CVD金刚石厚膜的机械抛光研究
被引量：
18
2
作者
严朝辉
汪建华
满卫东
熊军
机构
武汉工程大学湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2007年第3期32-35,共4页
基金
湖北省科技攻关计划项目(2002AA105A02)
湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助计划项目
文摘
化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜表面粗糙且厚薄不均匀,在许多情况下不能直接使用,必须对其进行抛光。本文研究了不同型号的金刚石微粉对CVD金刚石厚膜研磨的影响,通过对研磨结果的比较分析,优化出一种高质量高效率的抛光方法,即先采用W40和W28金刚石微粉,分别研磨2 h,然后用W0.5金刚石微粉研磨4 h。经扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)测试分析表明:金刚石膜的平均去除率为12.2μm/h,粗糙度Ra由4.60μm降至3.06 nm,说明该抛光方法能实现金刚石膜高质量、高效率的抛光。
关键词
CVD金刚石膜
研磨
抛光
Keywords
CVD diamond film
lapping
polishing
分类号
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氧等离子体处理硬质合金表面对金刚石薄膜附着性能的影响
邢文娟
汪建华
王传新
皮华滨
余学超
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
0
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职称材料
2
CVD金刚石厚膜的机械抛光研究
严朝辉
汪建华
满卫东
熊军
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2007
18
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职称材料
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