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一种薄膜离子束冶金学研究用多功能靶室
1
作者
范湘军
郭怀喜
+2 位作者
刘昌
王叔琪
余全华
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
1989年第5期293-296,共4页
在200keV离子注入机上设计和建造了一个多功能靶室,它装有:(1)四源真空蒸发沉积系统;(2)石英晶体膜厚计;(3)高低温度温靶;(4)“原位”四探针电阻测量系统。用本装置制备了离子束混合非晶态Al-Mn合金薄膜,并“原位”测量了薄膜的电特性。
关键词
离子束混合
靶室
蒸发沉积
电阻测量
非晶态合金
石英晶体
离子注入机
电特性
蒸镀
瓦瓶
在线阅读
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职称材料
题名
一种薄膜离子束冶金学研究用多功能靶室
1
作者
范湘军
郭怀喜
刘昌
王叔琪
余全华
机构
武汉大学离子束物理实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
1989年第5期293-296,共4页
基金
国家自然科学基金
文摘
在200keV离子注入机上设计和建造了一个多功能靶室,它装有:(1)四源真空蒸发沉积系统;(2)石英晶体膜厚计;(3)高低温度温靶;(4)“原位”四探针电阻测量系统。用本装置制备了离子束混合非晶态Al-Mn合金薄膜,并“原位”测量了薄膜的电特性。
关键词
离子束混合
靶室
蒸发沉积
电阻测量
非晶态合金
石英晶体
离子注入机
电特性
蒸镀
瓦瓶
分类号
TB7-55 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种薄膜离子束冶金学研究用多功能靶室
范湘军
郭怀喜
刘昌
王叔琪
余全华
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
1989
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