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串列加速器-离子注入机-透射电镜联机系统的建立
1
作者
郭立平
刘传胜
+4 位作者
黎明
宋搏
叶明生
付德君
范湘军
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期648-652,共5页
建立了由2×1.7MV串列加速器、200kV离子注入机、H800型透射电子显微镜和联机传输系统组成的我国第1套串列加速器-离子注入机-透射电子显微镜联机装置。对主要设备进行了改造,并采取有效措施解决了联机装置的隔震问题。2台加速器...
建立了由2×1.7MV串列加速器、200kV离子注入机、H800型透射电子显微镜和联机传输系统组成的我国第1套串列加速器-离子注入机-透射电子显微镜联机装置。对主要设备进行了改造,并采取有效措施解决了联机装置的隔震问题。2台加速器和所有的真空泵都运行时,电镜仍可正常工作,观察到的图像质量不受振动影响。电镜室内样品倾斜角最大可达52°以上,离子注入不影响电镜观测,可进行离子注入的原位和实时结构研究。离子注入机输出的115keV氮离子在电镜入口测得的束流强度达100~180nA。初步实验已原位观察到氮离子注入导致单晶硅非晶化的过程,显示这套装置具有离子注入条件下的原位观测能力。
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关键词
原位透射电子显微镜
加速器
联机装置
离子注入
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职称材料
加速器-电镜联机的离子光路及其调整方案
被引量:
1
2
作者
叶小舟
杨铮
+7 位作者
周霖
欧阳中亮
黎明
刘传胜
郭立平
任峰
蒋昌忠
付德君
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第B09期276-280,共5页
离子辐照引起的材料微结构变化是一个复杂的过程,用加速器-电镜联机装置可原位观察载能离子束辐照引起的材料微结构演变。武汉大学加速器-电镜联机装置由1台2×1.7 MV串列加速器、1台200 kV离子注入机和1台200 kV透射电镜组成,通过...
离子辐照引起的材料微结构变化是一个复杂的过程,用加速器-电镜联机装置可原位观察载能离子束辐照引起的材料微结构演变。武汉大学加速器-电镜联机装置由1台2×1.7 MV串列加速器、1台200 kV离子注入机和1台200 kV透射电镜组成,通过自行设计的传输系统实现联机。本文介绍联机装置的光路布局,给出了静电加速器离子动力学计算程序LEADS(linear and electrostatic accelerator dynamics simulation)优化计算的结果,提出了两种改进方案,并用LEADS对改造后的加速器-电镜联机中离子运动进行了计算。结果显示,调整现光路二单元四极透镜的同时,在200 kV注入机90°偏转磁铁至电镜之间增加1个二单元静电四极透镜,将提高该系统中离子束传输效率。
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关键词
加速器
离子注入机
透射电镜
联机
离子光路
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职称材料
题名
串列加速器-离子注入机-透射电镜联机系统的建立
1
作者
郭立平
刘传胜
黎明
宋搏
叶明生
付德君
范湘军
机构
武汉大学物理学院加速器实验室
出处
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期648-652,共5页
基金
国家自然科学基金重点项目(10435060)
文摘
建立了由2×1.7MV串列加速器、200kV离子注入机、H800型透射电子显微镜和联机传输系统组成的我国第1套串列加速器-离子注入机-透射电子显微镜联机装置。对主要设备进行了改造,并采取有效措施解决了联机装置的隔震问题。2台加速器和所有的真空泵都运行时,电镜仍可正常工作,观察到的图像质量不受振动影响。电镜室内样品倾斜角最大可达52°以上,离子注入不影响电镜观测,可进行离子注入的原位和实时结构研究。离子注入机输出的115keV氮离子在电镜入口测得的束流强度达100~180nA。初步实验已原位观察到氮离子注入导致单晶硅非晶化的过程,显示这套装置具有离子注入条件下的原位观测能力。
关键词
原位透射电子显微镜
加速器
联机装置
离子注入
Keywords
in-situ TEM
accelerator
interface facility
ion implantation
分类号
TL52 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
加速器-电镜联机的离子光路及其调整方案
被引量:
1
2
作者
叶小舟
杨铮
周霖
欧阳中亮
黎明
刘传胜
郭立平
任峰
蒋昌忠
付德君
机构
武汉大学物理学院加速器实验室
出处
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第B09期276-280,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(10435060
10675095)
文摘
离子辐照引起的材料微结构变化是一个复杂的过程,用加速器-电镜联机装置可原位观察载能离子束辐照引起的材料微结构演变。武汉大学加速器-电镜联机装置由1台2×1.7 MV串列加速器、1台200 kV离子注入机和1台200 kV透射电镜组成,通过自行设计的传输系统实现联机。本文介绍联机装置的光路布局,给出了静电加速器离子动力学计算程序LEADS(linear and electrostatic accelerator dynamics simulation)优化计算的结果,提出了两种改进方案,并用LEADS对改造后的加速器-电镜联机中离子运动进行了计算。结果显示,调整现光路二单元四极透镜的同时,在200 kV注入机90°偏转磁铁至电镜之间增加1个二单元静电四极透镜,将提高该系统中离子束传输效率。
关键词
加速器
离子注入机
透射电镜
联机
离子光路
Keywords
accelerator
implanter
transmission electron microscopy
interface system
beam line
分类号
TL505 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
串列加速器-离子注入机-透射电镜联机系统的建立
郭立平
刘传胜
黎明
宋搏
叶明生
付德君
范湘军
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
0
在线阅读
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职称材料
2
加速器-电镜联机的离子光路及其调整方案
叶小舟
杨铮
周霖
欧阳中亮
黎明
刘传胜
郭立平
任峰
蒋昌忠
付德君
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
1
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