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采用WC过渡层增加金刚石薄膜附着力的研究
被引量:
10
1
作者
王传新
汪建华
+3 位作者
满卫东
马志斌
王升高
康志成
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2003年第3期46-48,共3页
在微波等离子体化学气相沉积装置中 ,以WC -8%Co为基体 ,采用氢等离子体脱碳、磁控溅射镀W、碳化等方法 ,制备了微晶WC过渡层。研究了金刚石薄膜与基体的附着力。结果表明 ,表面脱碳后再镀W膜 ,W填充了氢等离子体脱碳时刀具表面因钴蒸...
在微波等离子体化学气相沉积装置中 ,以WC -8%Co为基体 ,采用氢等离子体脱碳、磁控溅射镀W、碳化等方法 ,制备了微晶WC过渡层。研究了金刚石薄膜与基体的附着力。结果表明 ,表面脱碳后再镀W膜 ,W填充了氢等离子体脱碳时刀具表面因钴蒸发而留下的空洞 ,形成过渡层 ,在随后的碳化中和基体WC连接较为紧密 ,能增加金刚石薄膜与基体附着力 ,克服单纯的氢等离子体脱碳还原法降低刀具基体硬度。
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关键词
硬质合金
微波等离子体化学气相沉积
金刚石薄膜
附着力
刀具
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职称材料
硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响
被引量:
3
2
作者
王传新
汪建华
+5 位作者
满卫东
马志斌
王升高
傅朝坤
李克林
康志成
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期1048-1051,共4页
以WC 6 %Co为基体 ,采用磁控溅射法 ,在酸蚀后进行氢等离子体脱碳试样上制备Ti过渡层 ,然后碳化过渡层为TiC。在电子辅助热丝化学气相沉积装置中制备金刚石薄膜。研究碳化条件对金刚石薄膜与基体附着力的影响。结果表明 ,在 70 0℃左右...
以WC 6 %Co为基体 ,采用磁控溅射法 ,在酸蚀后进行氢等离子体脱碳试样上制备Ti过渡层 ,然后碳化过渡层为TiC。在电子辅助热丝化学气相沉积装置中制备金刚石薄膜。研究碳化条件对金刚石薄膜与基体附着力的影响。结果表明 ,在 70 0℃左右的低温碳化 ,TiC结构致密 ,而在 85 0℃左右的高温碳化 ,TiC呈疏松的多孔组织 ,在CH4 Ar等离子体中碳化则 85 0℃左右仍能获得致密的TiC层。
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关键词
附着力
基体
碳化
制备
脱碳
装置
磁控溅射法
金刚石薄膜
氢等离子体
过渡层
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职称材料
钛过渡层与硬质合金基体表面结合状况对金刚石薄膜附着力的影响
被引量:
5
3
作者
王传新
汪建华
+5 位作者
满卫东
傅朝坤
李克林
马志斌
王升高
康志成
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2004年第3期10-13,共4页
以WC -6%Co为基体 ,采用磁控溅射法 ,在原始试样、酸腐蚀试样以及酸蚀后进行氢等离子体脱碳处理的试样上制备Ti过渡层 ,然后碳化过渡层为TiC。在热丝化学气相沉积装置中 ,制备金刚石薄膜。研究三种不同试样上的金刚石薄膜与基体的附着...
以WC -6%Co为基体 ,采用磁控溅射法 ,在原始试样、酸腐蚀试样以及酸蚀后进行氢等离子体脱碳处理的试样上制备Ti过渡层 ,然后碳化过渡层为TiC。在热丝化学气相沉积装置中 ,制备金刚石薄膜。研究三种不同试样上的金刚石薄膜与基体的附着力。结果表明 ,在原始试样上的金刚石薄膜在冷却过程中自动脱落 ;在经等离子体处理后的试样上 ,金刚石薄膜与基体间附着力高于在经酸蚀处理的试样上的金刚石薄膜与基体附着力。造成这种现象的主要原因可能是等离子体脱碳还原处理降低WC晶粒表面能 ,增强Ti与WC间的结合强度 ,导致TiC过渡层与WC基体结合强度增加 ,从而增加金刚石薄膜附着力。
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关键词
YG6硬质合金
HFCVD
金刚石薄膜
Ti过渡层
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职称材料
题名
采用WC过渡层增加金刚石薄膜附着力的研究
被引量:
10
1
作者
王传新
汪建华
满卫东
马志斌
王升高
康志成
机构
武汉化工学院省微波等离子体化学与新材料重点实验室
中国科
学院
等离子体
物理研究所
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2003年第3期46-48,共3页
基金
湖北省科技攻关计划项目 (2 0 0 2AA1 0 5A0 2 )
文摘
在微波等离子体化学气相沉积装置中 ,以WC -8%Co为基体 ,采用氢等离子体脱碳、磁控溅射镀W、碳化等方法 ,制备了微晶WC过渡层。研究了金刚石薄膜与基体的附着力。结果表明 ,表面脱碳后再镀W膜 ,W填充了氢等离子体脱碳时刀具表面因钴蒸发而留下的空洞 ,形成过渡层 ,在随后的碳化中和基体WC连接较为紧密 ,能增加金刚石薄膜与基体附着力 ,克服单纯的氢等离子体脱碳还原法降低刀具基体硬度。
关键词
硬质合金
微波等离子体化学气相沉积
金刚石薄膜
附着力
刀具
Keywords
cemented tungsten carbide
MWCVD
diamond thin film
分类号
TG71 [金属学及工艺—刀具与模具]
TF125.3 [冶金工程—粉末冶金]
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职称材料
题名
硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响
被引量:
3
2
作者
王传新
汪建华
满卫东
马志斌
王升高
傅朝坤
李克林
康志成
机构
武汉化工学院省微波等离子体化学与新材料重点实验室
自贡硬质合金有限公司
中国科
学院
等离子体
物理研究所
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期1048-1051,共4页
基金
湖北省科技攻关计划 (No .2 0 0 2AA1 0 5A0 2 )资助项目
文摘
以WC 6 %Co为基体 ,采用磁控溅射法 ,在酸蚀后进行氢等离子体脱碳试样上制备Ti过渡层 ,然后碳化过渡层为TiC。在电子辅助热丝化学气相沉积装置中制备金刚石薄膜。研究碳化条件对金刚石薄膜与基体附着力的影响。结果表明 ,在 70 0℃左右的低温碳化 ,TiC结构致密 ,而在 85 0℃左右的高温碳化 ,TiC呈疏松的多孔组织 ,在CH4 Ar等离子体中碳化则 85 0℃左右仍能获得致密的TiC层。
关键词
附着力
基体
碳化
制备
脱碳
装置
磁控溅射法
金刚石薄膜
氢等离子体
过渡层
Keywords
cemented carbide
HFCVD
diamond film
Ti interlayer
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
钛过渡层与硬质合金基体表面结合状况对金刚石薄膜附着力的影响
被引量:
5
3
作者
王传新
汪建华
满卫东
傅朝坤
李克林
马志斌
王升高
康志成
机构
武汉化工学院省微波等离子体化学与新材料重点实验室
自贡硬质合金有限公司
中国科
学院
等离子体
物理研究所
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2004年第3期10-13,共4页
基金
湖北省科技攻关计划
项目编号 :2 0 0 2AA1 0 5A0 2
文摘
以WC -6%Co为基体 ,采用磁控溅射法 ,在原始试样、酸腐蚀试样以及酸蚀后进行氢等离子体脱碳处理的试样上制备Ti过渡层 ,然后碳化过渡层为TiC。在热丝化学气相沉积装置中 ,制备金刚石薄膜。研究三种不同试样上的金刚石薄膜与基体的附着力。结果表明 ,在原始试样上的金刚石薄膜在冷却过程中自动脱落 ;在经等离子体处理后的试样上 ,金刚石薄膜与基体间附着力高于在经酸蚀处理的试样上的金刚石薄膜与基体附着力。造成这种现象的主要原因可能是等离子体脱碳还原处理降低WC晶粒表面能 ,增强Ti与WC间的结合强度 ,导致TiC过渡层与WC基体结合强度增加 ,从而增加金刚石薄膜附着力。
关键词
YG6硬质合金
HFCVD
金刚石薄膜
Ti过渡层
Keywords
diamond coating
HFCVD
cemented carbide
titanium
interlayer
分类号
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
采用WC过渡层增加金刚石薄膜附着力的研究
王传新
汪建华
满卫东
马志斌
王升高
康志成
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2003
10
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职称材料
2
硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响
王传新
汪建华
满卫东
马志斌
王升高
傅朝坤
李克林
康志成
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
钛过渡层与硬质合金基体表面结合状况对金刚石薄膜附着力的影响
王传新
汪建华
满卫东
傅朝坤
李克林
马志斌
王升高
康志成
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2004
5
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职称材料
已选择
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