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低偏压下化学气相沉积金刚石薄膜的生长形貌研究 被引量:1
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作者 王传新 汪建华 +4 位作者 马志斌 满卫东 王升高 康志成 吴素娟 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期1-4,共4页
在微波等离子体化学气相沉积装置中,研究了偏压电压、甲烷浓度及沉积气压对金刚石晶形显露的影响。实验结果表明,生长时施加低的衬底偏压对金刚石的晶形显露有较大的影响,正的偏压有利于(111)面显露,负偏压有利于(100)面显露。在低偏压... 在微波等离子体化学气相沉积装置中,研究了偏压电压、甲烷浓度及沉积气压对金刚石晶形显露的影响。实验结果表明,生长时施加低的衬底偏压对金刚石的晶形显露有较大的影响,正的偏压有利于(111)面显露,负偏压有利于(100)面显露。在低偏压条件下生长时,低的沉积气压和甲烷浓度有利于(111)面显露;而高的气压和甲烷浓度有利于(100)面显露。过高的甲烷浓度将恶化金刚石质量,出现菜花状组织,无明显的晶面显露。 展开更多
关键词 化学气相沉积 低偏压生长 金刚石薄膜 图像
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腔体压力对纳米碳管结构的影响 被引量:4
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作者 王升高 汪建华 +2 位作者 马志斌 王传新 满卫东 《武汉化工学院学报》 2004年第3期46-48,共3页
在镍催化剂的催化作用下 ,利用微波等离子体化学气相沉积法合成了纳米碳管 ,分析了不同腔体压力对所合成的碳材料结构的影响 .研究表明 ,当腔体压力增大时 ,基片温度上升 ,有利于纳米碳管管状结构的形成 。
关键词 纳米碳管 微波等离子体化学气相沉积法 管结构 腔体压力
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硼浓度对沉积在刀具上的金刚石膜表面的影响 被引量:1
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作者 王传新 汪建华 +4 位作者 满卫东 马志斌 王升高 伍新明 屈青 《武汉化工学院学报》 2004年第3期51-53,共3页
在热丝 CVD装置中 ,以氢气、丙酮、硼酸三甲脂为原料 ,在 YG6上制备了含硼金刚石薄膜 .研究丙酮中硼含量对薄膜表面晶形及晶粒度的影响 .结果表明 ,薄膜中渗入适量的硼不改变薄膜表面晶形 ,细化晶粒 .有利于薄膜附着力的提高 ;而过高的... 在热丝 CVD装置中 ,以氢气、丙酮、硼酸三甲脂为原料 ,在 YG6上制备了含硼金刚石薄膜 .研究丙酮中硼含量对薄膜表面晶形及晶粒度的影响 .结果表明 ,薄膜中渗入适量的硼不改变薄膜表面晶形 ,细化晶粒 .有利于薄膜附着力的提高 ;而过高的硼含量恶化金刚石薄膜质量 。 展开更多
关键词 热丝CVD YG6刀具 金刚石薄膜 渗硼
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