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CO2激光等离子体极紫外光源收集镜研究
被引量：
2
1
作者
朱新旺
王新兵
+2 位作者
傅焰峰
卢彦兆
石玉华
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期725-728,共4页
为了研究极紫外光源系统中收集镜的形状和液体微滴的漂移,计算了收集镜的参量,并采用ZEMAX模拟了液体微滴上下和左右漂移50μm,100μm,150μm时中间焦点的成像变化情况。结果表明,液体微滴在上下方向上的漂移对中间焦点成像的影响很大,...
为了研究极紫外光源系统中收集镜的形状和液体微滴的漂移,计算了收集镜的参量,并采用ZEMAX模拟了液体微滴上下和左右漂移50μm,100μm,150μm时中间焦点的成像变化情况。结果表明,液体微滴在上下方向上的漂移对中间焦点成像的影响很大,应该尽量将上下漂移控制在20μm以下;而液滴在光轴方向上的漂移对中间焦点成像的影响稍小。
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关键词
激光技术
X射线光学
极紫外光源
激光等离子体
收集镜
ZEMAX
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职称材料
题名
CO2激光等离子体极紫外光源收集镜研究
被引量：
2
1
作者
朱新旺
王新兵
傅焰峰
卢彦兆
石玉华
机构
华中
科技
大学
武汉
光
电国家实验室
武汉光讯科技股份有限公司
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期725-728,共4页
基金
国家科技重大专项基金资助项目
文摘
为了研究极紫外光源系统中收集镜的形状和液体微滴的漂移,计算了收集镜的参量,并采用ZEMAX模拟了液体微滴上下和左右漂移50μm,100μm,150μm时中间焦点的成像变化情况。结果表明,液体微滴在上下方向上的漂移对中间焦点成像的影响很大,应该尽量将上下漂移控制在20μm以下;而液滴在光轴方向上的漂移对中间焦点成像的影响稍小。
关键词
激光技术
X射线光学
极紫外光源
激光等离子体
收集镜
ZEMAX
Keywords
laser technique
X-ray optics
extreme ultraviolet source
laser produced plasma
collector mirror
ZEMAX
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
CO2激光等离子体极紫外光源收集镜研究
朱新旺
王新兵
傅焰峰
卢彦兆
石玉华
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010
2
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