期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于傅里叶变换红外反射谱的DRAM深沟槽结构测量系统研究
被引量：
2
1
作者
刘世元
张传维
+1 位作者
沈宏伟
顾华勇
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第4期935-939,共5页
提出了一种基于傅里叶变换红外(FTIR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统。给出了测量原理与方法,设计了测量系统光路。通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合适的入射角,消除了背面杂散光反射干扰的影响,大大提高...
提出了一种基于傅里叶变换红外(FTIR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统。给出了测量原理与方法,设计了测量系统光路。通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合适的入射角,消除了背面杂散光反射干扰的影响,大大提高了信噪比。对DRAM深沟槽样品进行反射光谱图测试与实验研究,表明所述方法与系统能够提取出纳米级精度的深沟槽参数。该技术提供了一种无接触、非破坏、快速、低成本和高精度的深沟槽结构测量新途径,在集成电路制造过程中的在线监测与工艺控制方面具有广阔的应用前景。
展开更多
关键词
傅里叶变换红外光谱仪
红外反射谱
动态随机存储器
深沟槽结构
在线阅读
下载PDF
职称材料
基于流场模拟的复杂形面搅拌桨叶三维设计与优化系统
被引量：
6
2
作者
易朋兴
刘世元
+2 位作者
崔峰
胡友民
杜润生
《宇航学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期321-326,共6页
为实现立式捏合机搅拌桨叶全三维设计与优化,集成搅拌桨叶几何造型、流场模拟与机械性能分析,开发了基于流场模拟的复杂形面搅拌桨叶三维设计与优化系统。分析搅拌桨叶运动特性,建立搅拌桨叶的三维参数化模型;综合搅拌桨叶的几何造型、...
为实现立式捏合机搅拌桨叶全三维设计与优化,集成搅拌桨叶几何造型、流场模拟与机械性能分析,开发了基于流场模拟的复杂形面搅拌桨叶三维设计与优化系统。分析搅拌桨叶运动特性,建立搅拌桨叶的三维参数化模型;综合搅拌桨叶的几何造型、运动方式、混合工艺条件,在虚拟环境中真实地模拟搅拌桨叶混合过程,快速分析与评价搅拌桨叶几何形状与流场特征的关系;在虚拟环境下,将流场模拟结果作为负载,添加在搅拌桨叶上,对其机械性能进行分析与优化。通过工程设计实例,对这套方法进行验证,设计结果成功地应用于生产实践。应用结果表明这套系统可以缩短设计时间20%,设计的设备能耗降低5%。
展开更多
关键词
搅拌桨叶
参数化造型
流场模拟
机械性能分析
优化
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于傅里叶变换红外反射谱的DRAM深沟槽结构测量系统研究
被引量：
2
1
作者
刘世元
张传维
沈宏伟
顾华勇
机构
华中科技大学数字
制造
装备与技术
国家
重点
实验室
武汉光电国家实验室光电材料与微纳制造研究部
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第4期935-939,共5页
基金
国家"863"计划项目(2006AA04Z325)
国家自然科学基金项目(50775090)
新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-06-0639)资助
文摘
提出了一种基于傅里叶变换红外(FTIR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统。给出了测量原理与方法,设计了测量系统光路。通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合适的入射角,消除了背面杂散光反射干扰的影响,大大提高了信噪比。对DRAM深沟槽样品进行反射光谱图测试与实验研究,表明所述方法与系统能够提取出纳米级精度的深沟槽参数。该技术提供了一种无接触、非破坏、快速、低成本和高精度的深沟槽结构测量新途径,在集成电路制造过程中的在线监测与工艺控制方面具有广阔的应用前景。
关键词
傅里叶变换红外光谱仪
红外反射谱
动态随机存储器
深沟槽结构
Keywords
FTIR spectrometer
Infrared reflectance spectrum
DRAM
Deep trench structure
分类号
O657.3 [理学—分析化学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于流场模拟的复杂形面搅拌桨叶三维设计与优化系统
被引量：
6
2
作者
易朋兴
刘世元
崔峰
胡友民
杜润生
机构
华中科技大学数字
制造
装备与技术
国家
重点
实验室
武汉光电国家实验室光电材料与微纳制造研究部
航天科工集团第九
研究
院江河化工厂
出处
《宇航学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期321-326,共6页
基金
国家自然科学基金(50575087
50775090)
新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-06-0639)
文摘
为实现立式捏合机搅拌桨叶全三维设计与优化,集成搅拌桨叶几何造型、流场模拟与机械性能分析,开发了基于流场模拟的复杂形面搅拌桨叶三维设计与优化系统。分析搅拌桨叶运动特性,建立搅拌桨叶的三维参数化模型;综合搅拌桨叶的几何造型、运动方式、混合工艺条件,在虚拟环境中真实地模拟搅拌桨叶混合过程,快速分析与评价搅拌桨叶几何形状与流场特征的关系;在虚拟环境下,将流场模拟结果作为负载,添加在搅拌桨叶上,对其机械性能进行分析与优化。通过工程设计实例,对这套方法进行验证,设计结果成功地应用于生产实践。应用结果表明这套系统可以缩短设计时间20%,设计的设备能耗降低5%。
关键词
搅拌桨叶
参数化造型
流场模拟
机械性能分析
优化
Keywords
Stirring blades
Parametric modeling
Flow field simulation
Mechanical properties
Optimization
分类号
TQ520 [化学工程—煤化学工程]
V512 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于傅里叶变换红外反射谱的DRAM深沟槽结构测量系统研究
刘世元
张传维
沈宏伟
顾华勇
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于流场模拟的复杂形面搅拌桨叶三维设计与优化系统
易朋兴
刘世元
崔峰
胡友民
杜润生
《宇航学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
