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题名微/纳结构三维形貌高精度测试系统
被引量：4
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作者
谢勇君
史铁林
刘世元
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机构
暨南大学电气自动化研究所
华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室
武汉光电国家实验室(筹)光电材料与微纳制造研究部
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期19-24,共6页
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基金
国家自然科学基金重点项目(50535030)
国家自然科学基金(50775090)
+5 种基金
新世纪优秀人才支持计划(NCET-06-0639)
国家博士后科学基金(20070410930)
广东省自然科学基金博士研究启动项目(9451063201002281)
广东高校优秀青年创新人才培育项目(LYM08019)
广西制造系统与先进制造技术重点实验室开放课题基金
暨南大学青年基金项目(51208027)
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文摘
为实现微/纳结构三维形貌的高精度测量,提出利用显微干涉技术和偏振技术相结合的方法来研制微/纳结构三维形貌亚纳米级精度测试系统。首先,利用五步相移干涉技术采集5幅带有π/2相移增量的干涉条纹图。然后,通过Hariharan五步相移算法得到包裹相位图。最后,利用分割线相位去包裹算法和相位高度关系转换得到微/纳结构三维形貌。在测试过程中通过偏振片产生强度可调的线偏振光,再由1/2波片改变偏振光在分光镜中的分光比,补偿参考镜与试件的反射性能差异,可得到亮度适中且对比度高的干涉条纹图,从而有利于实现微/纳结构三维形貌的高精度测量。系统的轮廓算术平均偏差Ra的重复测量精度可达0.06nm,最大示值误差不到±1%,示值变动性不到0.5%。通过对标准多刻线样板、硅微麦克风膜和硅微陀螺仪折叠梁的三维形貌测量验证了系统的有效性和实用性。
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关键词
微/纳结构
显微干涉
偏振技术
三维形貌
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Keywords
micro/nano structures
microscopic interferometry
polarization technique
3D profile
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分类号
TH741.8
[机械工程—光学工程]
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题名MEMS结构离面微运动测试系统设计与实现
被引量：5
- 2
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作者
谢勇君
史铁林
刘世元
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机构
暨南大学电气自动化研究所
广东珠海
华中科技大学机械科学与工程学院
武汉光电国家实验室(筹)光电材料与微纳制造研究部
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出处
《计算机工程与应用》
CSCD
北大核心
2010年第7期66-68,92,共4页
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基金
国家自然科学基金重点项目No.50535030
国家自然科学基金No.50775090
国家教育部新世纪人才支持计划No.NCET-06-0639~~
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文摘
利用频闪成像和显微干涉技术设计开发了微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)离面微运动测试系统。系统在计算机控制下通过相对延时和五步相移干涉技术自动采集MEMS结构运动周期内各不同时刻的干涉条纹图集,再通过五步相移算法和分割线去包裹算法分别对干涉条纹图和包裹相位图进行分析处理可得到被测MEMS结构的离面微运动情况。为实现浮点型相位图数据的有效存取,提出了一种新的相位图文件格式。通过实验对硅微悬臂梁在不同幅值正弦基础激励下的离面振动响应进行了有效测量,且测量重复性误差小于10nm。
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关键词
微机电系统结构
频闪成像
显微干涉
离面微运动
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Keywords
Micro Electro Mechanical Systems （ MEMS ） structures
stroboscopic imaging
microscopic interferometry
out-of-plane micro-motions
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分类号
TP274.5
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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