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MTS/H_2体系CVD SiC的气相分析
被引量：
6
1
作者
卢翠英
成来飞
+1 位作者
赵春年
张立同
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第8期845-850,共6页
采用CG/MS定性定量分析了MTS/H_2体系CVD SiC的气相组成,考察了沉积温度、总压和流量对气相组成的影响,从反应速率和分子浓度大小的角度出发,分析了MTS在H_2中的分解步骤.主要结论如下:(1)检测到CH_4、C_2H_6、C_2H_4、C_3H_6、C_2H_2、...
采用CG/MS定性定量分析了MTS/H_2体系CVD SiC的气相组成,考察了沉积温度、总压和流量对气相组成的影响,从反应速率和分子浓度大小的角度出发,分析了MTS在H_2中的分解步骤.主要结论如下:(1)检测到CH_4、C_2H_6、C_2H_4、C_3H_6、C_2H_2、MTS、SiCl_4和CH_3SiHCl_2物质,其中CH_4和SiCl_4的含量较高.(2)体系温度、总压和总流量对气相组成有显著影响,其影响规律与热力分析结果一致.(3)MTS主要以Si-C键断裂引发分解反应,经历与原反应气反应、中间物质和副产物生成等主要阶段,CH_3→C_2H_6→C_2H_4→C_2H_2是生成烷烃化合物的主要路径.
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关键词
GC/MS
气相分析
CVD
SIC
MTS/H_2
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职称材料
题名
MTS/H_2体系CVD SiC的气相分析
被引量：
6
1
作者
卢翠英
成来飞
赵春年
张立同
机构
榆啉学院化学与化工学院
西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第8期845-850,共6页
基金
国家重点基础研究发展计划(973)(50820145202)
文摘
采用CG/MS定性定量分析了MTS/H_2体系CVD SiC的气相组成,考察了沉积温度、总压和流量对气相组成的影响,从反应速率和分子浓度大小的角度出发,分析了MTS在H_2中的分解步骤.主要结论如下:(1)检测到CH_4、C_2H_6、C_2H_4、C_3H_6、C_2H_2、MTS、SiCl_4和CH_3SiHCl_2物质,其中CH_4和SiCl_4的含量较高.(2)体系温度、总压和总流量对气相组成有显著影响,其影响规律与热力分析结果一致.(3)MTS主要以Si-C键断裂引发分解反应,经历与原反应气反应、中间物质和副产物生成等主要阶段,CH_3→C_2H_6→C_2H_4→C_2H_2是生成烷烃化合物的主要路径.
关键词
GC/MS
气相分析
CVD
SIC
MTS/H_2
Keywords
GC/MS
analysis of gaseous species
CVD SiC
MTS/H_2
分类号
O657 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MTS/H_2体系CVD SiC的气相分析
卢翠英
成来飞
赵春年
张立同
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
6
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