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题名微机电系统微弹簧优化设计方法
被引量：3
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作者
张炜
李华
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机构
桂林电子科技大学国家软件与集成电路公共服务平台广西分中心
桂林电子科技大学生命与环境科学学院
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出处
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2014年第6期11-14,共4页
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文摘
针对现有微机电系统(MEMS)微弹簧研究中侧重于弹性系数的分析,微弹簧优化设计研究则不足的情况,提出了微机电系统微弹簧优化设计方法。该方法根据MEMS工艺易于平面图形加工的优势,采用Matlab软件的fgoalattain函数对"L"型微弹簧的线宽进行优化设计,以降低"L"型微弹簧的最大应力。仿真验证表明:在保证微弹簧相同尺寸和弹性系数的前提下,最大应力减少了20%,为后续MEMS微弹簧的结构设计提供了参考。
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关键词
微机电系统
微弹簧
弹性系数
优化设计
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Keywords
MEMS
microspring
spring constant
optimization design
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分类号
TH703
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名MEMS微弹簧力学特性分析
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作者
张炜
李华
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机构
桂林电子科技大学国家软件与集成电路公共服务平台广西分中心
桂林电子科技大学生命与环境科学学院
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2014年第3期484-486,共3页
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基金
桂林电子科技大学博士启动基金资助项目(No.VF11001y)
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文摘
基于微机电系统(MEMS)工艺,设计并加工了一种"L"型微弹簧。根据经典材料力学理论进行的分析表明,在微弹簧竖直方向所受10mN力的作用下,微弹簧内部最大应力为88.75MPa,且最大应力位于连接处。有限元仿真表明在同等条件下,微弹簧的最大应力为89.326 MPa,与理论分析吻合。采用Tytron250拉伸实验机进行微弹簧拉伸实验,"L"型微弹簧的断裂位置位于连接处,实验结果验证了理论分析和仿真的正确性。在此基础上,提出增大微弹簧连接处的宽度是提高微弹簧作用可靠性的一条有效途径。
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关键词
微机电系统(MEMS)
微弹簧
最大应力
拉伸实验
可靠性
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Keywords
MEMS
microspring
the max stress
the tensile experiment
reliability
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分类号
TN303
[电子电信—物理电子学]
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