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题名基于机器视觉的平面透明元件测量方法研究
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作者
姜丽萍
朱哲琳
丁飞
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机构
南京科技职业学院
格科微电子(上海)有限公司
南京邮电大学通信与网络技术国家工程研究中心
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出处
《中国测试》
北大核心
2025年第7期30-37,共8页
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基金
国家自然科学基金项目(11973007)。
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文摘
针对平面透明元件特征不明显、大视场下测量精度不高等问题,文章提出一种基于机器视觉的平面透明元件测量方法。该方法主要包括平面透明元件二维信息测量及高度信息测量两部分。添加特征背景增加平面透明元件的纹理信息,在此基础上基于SURF角点检测的图像配准方法实现大视场环境下图像高精度拼接,提出一种改进的二值化方法剔除特征背景还原图像信息,结合轮廓检测及矩形轮廓识别技术获得平面透明元件二维信息。同时引入一种激光投影装置,通过灰度重心法及改进的双边滤波方法,实现对平面透明元件上下表面的激光异位成像高精度检测,并基于折射原理获得平面透明元件高度信息。实验结果表明,二维检测的准确度为5μm,相对误差保持在0.02%以下,高度检测的准确度为50μm,相对精度保持在0.78%以下,实现平面透明元件在大视场下的高精度测量。
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关键词
机器视觉
透明元件
图像处理
灰度重心法
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Keywords
machine vision
transparent component
image processing
grayscale centroid method
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分类号
TB9
[机械工程—测试计量技术及仪器]
P111
[天文地球—天文学]
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