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多场耦合非热平衡低温等离子体与微纳米结构材料的相互作用
1
作者
徐少锋
徐雨
+15 位作者
丁可
黄晓江
唐晓亮
杨沁玉
杨唯
彭释
王超梁
昌锡江
卢洪伟
施芸城
郭颖
杜诚然
石建军
钟方川
徐金洲
张菁
《力学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第12期2955-2980,共26页
低温等离子体是制备微纳米材料和调控其结构特性的最重要方法之一,其中材料结构及特性的改变是等离子体电磁场、热场、化学场等多场耦合综合作用的结果.本文系统而简要地回顾了如下主要内容:电源的频率及其调制、施加方式对等离子体放...
低温等离子体是制备微纳米材料和调控其结构特性的最重要方法之一,其中材料结构及特性的改变是等离子体电磁场、热场、化学场等多场耦合综合作用的结果.本文系统而简要地回顾了如下主要内容:电源的频率及其调制、施加方式对等离子体放电特性与稳定性的影响;大气压等离子体物理化学反应动力学;等离子体场对微纳米颗粒的聚集态结构与运动的调控、以及对沉积薄膜微纳米结构的影响.总结并得出如下主要结论:放电频率、脉冲调制功率、容性或者感性耦合方式、单体种类、基片温度等对等离子体活性粒子成分与特性具有主要影响,在kHz~MHz范围可以实现稳定放电和微纳米颗粒制备和薄膜沉积;微纳米颗粒/颗粒膜结构形貌随时间和空间而发生动态变化;低温等离子体多场调制可以快速实现微纳米颗粒的结晶,并调控微纳米颗粒的成分、尺度、带隙、晶型、晶面比例及其形貌特征;引入微颗粒可以在鞘层位置悬浮形成规则的二维等离子体晶格与无序的等离子体非晶,在介观尺度研究复杂系统的结构与动理学过程.
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关键词
低温等离子体
多场耦合
微纳米颗粒
功能薄膜
结构调控
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职称材料
题名
多场耦合非热平衡低温等离子体与微纳米结构材料的相互作用
1
作者
徐少锋
徐雨
丁可
黄晓江
唐晓亮
杨沁玉
杨唯
彭释
王超梁
昌锡江
卢洪伟
施芸城
郭颖
杜诚然
石建军
钟方川
徐金洲
张菁
机构
东华大学理学院
杭州积海半导体有限公司
复旦大学义乌研究院
出处
《力学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第12期2955-2980,共26页
基金
国家自然科学基金资助项目(12075054,11875104).
文摘
低温等离子体是制备微纳米材料和调控其结构特性的最重要方法之一,其中材料结构及特性的改变是等离子体电磁场、热场、化学场等多场耦合综合作用的结果.本文系统而简要地回顾了如下主要内容:电源的频率及其调制、施加方式对等离子体放电特性与稳定性的影响;大气压等离子体物理化学反应动力学;等离子体场对微纳米颗粒的聚集态结构与运动的调控、以及对沉积薄膜微纳米结构的影响.总结并得出如下主要结论:放电频率、脉冲调制功率、容性或者感性耦合方式、单体种类、基片温度等对等离子体活性粒子成分与特性具有主要影响,在kHz~MHz范围可以实现稳定放电和微纳米颗粒制备和薄膜沉积;微纳米颗粒/颗粒膜结构形貌随时间和空间而发生动态变化;低温等离子体多场调制可以快速实现微纳米颗粒的结晶,并调控微纳米颗粒的成分、尺度、带隙、晶型、晶面比例及其形貌特征;引入微颗粒可以在鞘层位置悬浮形成规则的二维等离子体晶格与无序的等离子体非晶,在介观尺度研究复杂系统的结构与动理学过程.
关键词
低温等离子体
多场耦合
微纳米颗粒
功能薄膜
结构调控
Keywords
low-temperature plasma
multi-field coupling
micro-nano particles
functional films
structural regulation
分类号
O53 [理学—等离子体物理]
O531 [理学—等离子体物理]
O539 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
多场耦合非热平衡低温等离子体与微纳米结构材料的相互作用
徐少锋
徐雨
丁可
黄晓江
唐晓亮
杨沁玉
杨唯
彭释
王超梁
昌锡江
卢洪伟
施芸城
郭颖
杜诚然
石建军
钟方川
徐金洲
张菁
《力学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
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