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基于微振动台的传感器位置偏移检测与自校准系统设计
被引量：
4
1
作者
徐娜
颜嘉铭
+5 位作者
邢运宏
刘超然
杨伟煌
王敏昌
李杜娟
董林玺
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第9期1174-1181,共8页
MEMS传感器放置位置的准确性对部分高精密系统的精准检测至关重要。据此提出一种基于微振动台的传感器位置偏移检测与自校准系统。并采用MPU6050模块实验论证器件位置偏移对其输出性能的影响。为了实现器件位置偏移定量检测与校准,建立...
MEMS传感器放置位置的准确性对部分高精密系统的精准检测至关重要。据此提出一种基于微振动台的传感器位置偏移检测与自校准系统。并采用MPU6050模块实验论证器件位置偏移对其输出性能的影响。为了实现器件位置偏移定量检测与校准,建立基于MEMS微振动台的传感器位置偏移检测与自校准模型,利用有限元软件仿真分析传感器位置偏移对器件输出性能的影响。仿真结果表明:当传感器在微振动台中心位置时,器件灵敏度和电容分辨率分别提高了1.31%和1.25%。放置偏移后,器件灵敏度和电容分辨率呈现线性下降,通过建立器件位置偏移与输出性能下降的对应关系,为后续的信号处理算法补偿传感器输出结果,实现器件性能校准提供了一种便捷实用的设计方案。
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关键词
MEMS微振动台
位置偏移
位置自校准系统
加速度传感器
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职称材料
基于电磁诱导透明的人工表面等离激元片上传感器(特邀)
被引量：
1
2
作者
苏晓强
黄宇聪
+2 位作者
李绍限
宋歌
许全
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第10期92-100,共9页
利用排布在人工表面等离激元传输线两侧的微结构谐振组实现了波导类电磁诱导透明(Electromagnetically Induced Transparency,EIT)效应,并基于此开发了结构紧凑的片上传感器。根据电场分布的特性,发现片上类EIT效应的传感工作机理主要...
利用排布在人工表面等离激元传输线两侧的微结构谐振组实现了波导类电磁诱导透明(Electromagnetically Induced Transparency,EIT)效应,并基于此开发了结构紧凑的片上传感器。根据电场分布的特性,发现片上类EIT效应的传感工作机理主要是利用暗模谐振器内部的强局域化电场对周围介质的敏感程度,能够反映到EIT特征频率的偏移量和谐振幅度的变化。进一步地,详细仿真了待测物的折射率、正切损耗、厚度、半径等参数变化对EIT透明窗口的响应规律,发现该片上传感器在1.26~1.79折射率变化范围下的灵敏度可达1.12 GHz/RIU,传感品质因数值为5.45。实验中通过对三种食用油进行传感测量,验证了所提出的基于类EIT效应的片上传感器具有高灵敏度、无标记检测和实验灵活的特点。
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关键词
人工表面等离激元
电磁诱导透明
片上系统
折射率传感
近场耦合
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职称材料
提高单层GeSe对H_(2)O气体传感性能的第一性原理研究
3
作者
庄芹芹
杨伟煌
《原子与分子物理学报》
CAS
北大核心
2023年第4期73-78,共6页
采用第一性原理计算方法,通过在单层GeSe上施加双轴向应变、外加电场、掺Ag等途径来探索提高单层GeSe对H_(2)O分子传感性能的有效方法,并从微观角度阐明内在机理.计算结果表明,-1.0 V/的外加电场能有效降低H_(2)O分子在单层GeSe的吸附...
采用第一性原理计算方法,通过在单层GeSe上施加双轴向应变、外加电场、掺Ag等途径来探索提高单层GeSe对H_(2)O分子传感性能的有效方法,并从微观角度阐明内在机理.计算结果表明,-1.0 V/的外加电场能有效降低H_(2)O分子在单层GeSe的吸附能并使二者之间的电荷转移量增加11倍,显著提高了单层GeSe对H_(2)O分子的响应速度和敏感性.研究结果为进一步设计并制成二维GeSe基湿度传感器提供了理论依据.
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关键词
单层GeSe
第一性原理计算
气体传感
应变
外加电场
掺Ag
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职称材料
题名
基于微振动台的传感器位置偏移检测与自校准系统设计
被引量：
4
1
作者
徐娜
颜嘉铭
邢运宏
刘超然
杨伟煌
王敏昌
李杜娟
董林玺
机构
杭州电子科技大学
电子信息
学院
杭州
士兰
微
电子
股份有限公司
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第9期1174-1181,共8页
基金
国家自然科学基金项目(61871167,U1909221,62111530298)。
文摘
MEMS传感器放置位置的准确性对部分高精密系统的精准检测至关重要。据此提出一种基于微振动台的传感器位置偏移检测与自校准系统。并采用MPU6050模块实验论证器件位置偏移对其输出性能的影响。为了实现器件位置偏移定量检测与校准,建立基于MEMS微振动台的传感器位置偏移检测与自校准模型,利用有限元软件仿真分析传感器位置偏移对器件输出性能的影响。仿真结果表明:当传感器在微振动台中心位置时,器件灵敏度和电容分辨率分别提高了1.31%和1.25%。放置偏移后,器件灵敏度和电容分辨率呈现线性下降,通过建立器件位置偏移与输出性能下降的对应关系,为后续的信号处理算法补偿传感器输出结果,实现器件性能校准提供了一种便捷实用的设计方案。
关键词
MEMS微振动台
位置偏移
位置自校准系统
加速度传感器
Keywords
MEMS micro vibration
position offset
acceleration sensor
position self-calibration system
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于电磁诱导透明的人工表面等离激元片上传感器(特邀)
被引量：
1
2
作者
苏晓强
黄宇聪
李绍限
宋歌
许全
机构
山西大同
大学
物理与
电子科
学
学院
微
结构电磁功能材料省市共建山西省重点实验室
杭州电子科技大学电子信息学院智能微传感器与微系统教育部工程研究中心
天津
大学
精密仪器与光
电子
工程
学院
太赫兹
研究
中心
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第10期92-100,共9页
基金
国家自然科学基金(Nos.62005193,61935015)
山西省基础研究计划项目(No.202203021211328)
+1 种基金
光电信息技术教育重点实验室(天津大学)开放基金(No.2023KFKT015)
山西省留学回国人员科技活动择优资助项目(No.20230037)。
文摘
利用排布在人工表面等离激元传输线两侧的微结构谐振组实现了波导类电磁诱导透明(Electromagnetically Induced Transparency,EIT)效应,并基于此开发了结构紧凑的片上传感器。根据电场分布的特性,发现片上类EIT效应的传感工作机理主要是利用暗模谐振器内部的强局域化电场对周围介质的敏感程度,能够反映到EIT特征频率的偏移量和谐振幅度的变化。进一步地,详细仿真了待测物的折射率、正切损耗、厚度、半径等参数变化对EIT透明窗口的响应规律,发现该片上传感器在1.26~1.79折射率变化范围下的灵敏度可达1.12 GHz/RIU,传感品质因数值为5.45。实验中通过对三种食用油进行传感测量,验证了所提出的基于类EIT效应的片上传感器具有高灵敏度、无标记检测和实验灵活的特点。
关键词
人工表面等离激元
电磁诱导透明
片上系统
折射率传感
近场耦合
Keywords
Spoof surface plasmon polaritons
Electromagnetically induced transparency
On-chip system
Refractive index sensing
Near-field coupling
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
提高单层GeSe对H_(2)O气体传感性能的第一性原理研究
3
作者
庄芹芹
杨伟煌
机构
厦门理工
学院
光电与通信
工程
学院
福建省光电技术与器件重点实验室
杭州电子科技大学电子信息学院智能微传感器与微系统教育部工程研究中心
出处
《原子与分子物理学报》
CAS
北大核心
2023年第4期73-78,共6页
基金
国家自然科学基金(61874091)
浙江省自然科学基金(LGG19F040003)
福建省中青年教师教育科研项目(JAT190671)。
文摘
采用第一性原理计算方法,通过在单层GeSe上施加双轴向应变、外加电场、掺Ag等途径来探索提高单层GeSe对H_(2)O分子传感性能的有效方法,并从微观角度阐明内在机理.计算结果表明,-1.0 V/的外加电场能有效降低H_(2)O分子在单层GeSe的吸附能并使二者之间的电荷转移量增加11倍,显著提高了单层GeSe对H_(2)O分子的响应速度和敏感性.研究结果为进一步设计并制成二维GeSe基湿度传感器提供了理论依据.
关键词
单层GeSe
第一性原理计算
气体传感
应变
外加电场
掺Ag
Keywords
Monolayer GeSe
First-principles calculations
Gas sensing
Strain
External electric field
Ag-doping
分类号
O47 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于微振动台的传感器位置偏移检测与自校准系统设计
徐娜
颜嘉铭
邢运宏
刘超然
杨伟煌
王敏昌
李杜娟
董林玺
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于电磁诱导透明的人工表面等离激元片上传感器(特邀)
苏晓强
黄宇聪
李绍限
宋歌
许全
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
提高单层GeSe对H_(2)O气体传感性能的第一性原理研究
庄芹芹
杨伟煌
《原子与分子物理学报》
CAS
北大核心
2023
0
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职称材料
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