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碳基无源器件研究进展综述 被引量:1
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作者 王高峰 赵文生 孙玲玲 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期3037-3045,共9页
碳纳米材料具有诸多独特的物理特性,如极大的热导率和载流容量.根据国际半导体技术发展路线图给出的预测,碳纳米材料可望取代传统硅和铜材料成为下一代集成电路的基础材料.本文针对碳纳米材料在无源电子器件方面的发展现状和应用前景,... 碳纳米材料具有诸多独特的物理特性,如极大的热导率和载流容量.根据国际半导体技术发展路线图给出的预测,碳纳米材料可望取代传统硅和铜材料成为下一代集成电路的基础材料.本文针对碳纳米材料在无源电子器件方面的发展现状和应用前景,详细讨论了碳纳米管、石墨烯纳米带等碳基纳米互连结构的电学特性.进而,简要评述了片上电感、电容器等碳基高频无源器件,并介绍了碳纳米材料在集成电路热管理方面的应用. 展开更多
关键词 碳纳米管 石墨烯 铜-碳纳米材料 互连线 片上电感 变容器 散热器
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工艺误差对盘式耦合谐振滤波器的影响 被引量:4
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作者 李豪 郑梦萍 董林玺 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期334-341,共8页
MEMS谐振器采用阵列耦合设计可以降低运动电阻、提高功率处理能力等,但是阵列耦合谐振器的性能对于耦合梁结构特性非常敏感,据此分析工艺误差造成的耦合梁形状变化对圆盘阵列耦合谐振器滤波性能的影响。对耦合梁不同程度倾斜下的谐振滤... MEMS谐振器采用阵列耦合设计可以降低运动电阻、提高功率处理能力等,但是阵列耦合谐振器的性能对于耦合梁结构特性非常敏感,据此分析工艺误差造成的耦合梁形状变化对圆盘阵列耦合谐振器滤波性能的影响。对耦合梁不同程度倾斜下的谐振滤波器结构和性能参数进行理论分析,并采用有限元仿真软件ANSYS进行模拟仿真。结果表明当耦合梁分别发生0.1°、0.2°、0.5°倾斜时,滤波器中心频率分别下偏10×10^(-6)、24×10-6、51×10-6。当倾斜角达到0.5°时,分数带宽偏差将达到5.6%。提出了一种半高耦合梁的圆盘阵列谐振滤波器,其滤波器性能稳定性要4×优于常规型圆盘耦合谐振滤波器。 展开更多
关键词 MEMS滤波器 MEMS谐振器 倾斜效应 MEMS谐振器阵列
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基于Rytov积分近似的有限口径定量反演成像(特邀)
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作者 徐魁文 侯莎莎 +2 位作者 邓皓千 苏江涛 李文钧 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第10期139-149,共11页
提出一种适用于有限口径下高相对介电常数和大尺寸目标物体的反演方法。首先分析了低损耗介质的复折射率,通过有效折射率的计算方法得到有效折射率与介电常数关系;利用高频近似估计对比度函数,通过近似估计散射体内部散射场及其梯度对传... 提出一种适用于有限口径下高相对介电常数和大尺寸目标物体的反演方法。首先分析了低损耗介质的复折射率,通过有效折射率的计算方法得到有效折射率与介电常数关系;利用高频近似估计对比度函数,通过近似估计散射体内部散射场及其梯度对传统Rytov近似进行数学上的修正,产生无相位条件下Rytov积分近似模型,该模型可以实现定量重建高相对介电常数和大尺寸未知目标的对比度虚部。仿真结果显示有限口径下的Rytov积分近似可以对高介电常数和大尺寸目标的对比度虚部提供精确的形状重建。 展开更多
关键词 计算电磁学 逆散射问题 电磁成像 有限口径 Rytov积分近似 高相对介电常数
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