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双π型RF EMIF的一种薄膜集成制造方法
被引量：
2
1
作者
张海鹏
秦会斌
+1 位作者
徐振宇
梁海珊
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期31-34,共4页
基于双π型电磁干扰滤波器(EMIF)的电路结构,借鉴了集成电路超微细加工技术,提出了与等平面超大规模集成电路工艺完全兼容的双p型EMIF电路的薄膜集成制造方法。该方法可用于制作满足未来电子系统的高频化、小型化、轻型化和片式化信号处...
基于双π型电磁干扰滤波器(EMIF)的电路结构,借鉴了集成电路超微细加工技术,提出了与等平面超大规模集成电路工艺完全兼容的双p型EMIF电路的薄膜集成制造方法。该方法可用于制作满足未来电子系统的高频化、小型化、轻型化和片式化信号处理EMIF电路的应用需求,改善双p型EMIF电路的信号处理性能,还可将其与VLSI一起片上集成。
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关键词
双π型RF
EMIF
薄膜集成制造法
电磁干扰滤波器
电路结构
超微细加工技术
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职称材料
题名
双π型RF EMIF的一种薄膜集成制造方法
被引量：
2
1
作者
张海鹏
秦会斌
徐振宇
梁海珊
机构
杭州电子工业学院电子信息学院cae研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期31-34,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60171033)
院科研启动基金资助(ZX0202Y37)
文摘
基于双π型电磁干扰滤波器(EMIF)的电路结构,借鉴了集成电路超微细加工技术,提出了与等平面超大规模集成电路工艺完全兼容的双p型EMIF电路的薄膜集成制造方法。该方法可用于制作满足未来电子系统的高频化、小型化、轻型化和片式化信号处理EMIF电路的应用需求,改善双p型EMIF电路的信号处理性能,还可将其与VLSI一起片上集成。
关键词
双π型RF
EMIF
薄膜集成制造法
电磁干扰滤波器
电路结构
超微细加工技术
Keywords
VLSI
superfine processing technology
EMIF
fabrication method in thin-filmIC technology
分类号
TN713 [电子电信—电路与系统]
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
双π型RF EMIF的一种薄膜集成制造方法
张海鹏
秦会斌
徐振宇
梁海珊
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004
2
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