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高Q值声表面波谐振器研究进展
被引量：
3
1
作者
赵钊
高杨
张树民
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第6期841-846,共6页
声表面波(SAW)谐振器作为各类SAW器件的核心元件,其性能决定SAW器件的各项指标,其中以谐振器品质因数(Q)值最重要。该文介绍了影响SAW谐振器Q值的因素,指出目前高Q值SAW谐振器的衬底结构大多为异质声学层结构,且异质声学层结构本质为一...
声表面波(SAW)谐振器作为各类SAW器件的核心元件,其性能决定SAW器件的各项指标,其中以谐振器品质因数(Q)值最重要。该文介绍了影响SAW谐振器Q值的因素,指出目前高Q值SAW谐振器的衬底结构大多为异质声学层结构,且异质声学层结构本质为一维声子晶体。结果表明,通过在谐振器的多个位置构建声子晶体对SAW谐振器的声场能量可实现全三维约束,以提升谐振器Q值,最后展望了高Q值SAW谐振器的理想结构。
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关键词
声表面波谐振器
品质因数
异质声学层
声子晶体
声场能量
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职称材料
题名
高Q值声表面波谐振器研究进展
被引量：
3
1
作者
赵钊
高杨
张树民
机构
西南科技大学信息工程学院
特殊环境机器人
技术
四川省重点实验室
杭州左蓝微电子技术有限公司
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第6期841-846,共6页
基金
西南科技大学科研基金资助项目(20zx7114)
重点实验室预研基金资助项目(6142105200203、61428060303)
气动噪声控制重点实验室开放课题基金资助项目(ANCL20200304)。
文摘
声表面波(SAW)谐振器作为各类SAW器件的核心元件,其性能决定SAW器件的各项指标,其中以谐振器品质因数(Q)值最重要。该文介绍了影响SAW谐振器Q值的因素,指出目前高Q值SAW谐振器的衬底结构大多为异质声学层结构,且异质声学层结构本质为一维声子晶体。结果表明,通过在谐振器的多个位置构建声子晶体对SAW谐振器的声场能量可实现全三维约束,以提升谐振器Q值,最后展望了高Q值SAW谐振器的理想结构。
关键词
声表面波谐振器
品质因数
异质声学层
声子晶体
声场能量
Keywords
surface acoustic wave(SAW)resonator
quality factor
hetero acoustic layer
phononic crystal
sound field energy
分类号
TN713.2 [电子电信—电路与系统]
TN61 [电子电信—电路与系统]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高Q值声表面波谐振器研究进展
赵钊
高杨
张树民
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022
3
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