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Cu基Al掺杂ZnO多层薄膜的生长和性能
1
作者
王钰萍
叶春丽
+3 位作者
吕建国
丛宏林
江忠永
叶志镇
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第5期684-688,693,共6页
本文采用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了AZO／Cu、Cu／AZO和AZO／Cu／AZO三种复合结构多层膜，研究了生长温度对多层膜特性的影响，发现AZO／Cu双层薄膜具有最优的光电性能，其最佳生长温度为100～150℃。文中进一步考察了生长温度...
本文采用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了AZO／Cu、Cu／AZO和AZO／Cu／AZO三种复合结构多层膜，研究了生长温度对多层膜特性的影响，发现AZO／Cu双层薄膜具有最优的光电性能，其最佳生长温度为100～150℃。文中进一步考察了生长温度对AZO／Cu双层薄膜结构性能和表面形貌的影响，结果表明：合适的生长温度有利于改善AZO／Cu双层薄膜的晶体质量，进而提高其光电性能；150℃下沉积的薄膜具有最佳品质因子1．11×10^-2Ω^-1，此时方块电阻为8．99Ω／sq，可见光透过率为80％，近红外反射率约70％。本文在较低温度下制备的AZO／Cu双层膜具有较优的透明导电性和良好的近红外反射性，可以广泛应用于镀膜玻璃、太阳能电池、平板显示器等光电领域。
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关键词
AZO
多层结构薄膜
光电性能
生长温度
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职称材料
题名
Cu基Al掺杂ZnO多层薄膜的生长和性能
1
作者
王钰萍
叶春丽
吕建国
丛宏林
江忠永
叶志镇
机构
浙江
大学硅材料国家重点实验室
杭州士兰明芯科技有限公司.浙江杭州
出处
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第5期684-688,693,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目（51002131）,浙江省LED照明新技术创新团队（20LOR50020）和中央高校基本科研业务费科研发展专项资助项目（2011FZA4009）
文摘
本文采用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了AZO／Cu、Cu／AZO和AZO／Cu／AZO三种复合结构多层膜，研究了生长温度对多层膜特性的影响，发现AZO／Cu双层薄膜具有最优的光电性能，其最佳生长温度为100～150℃。文中进一步考察了生长温度对AZO／Cu双层薄膜结构性能和表面形貌的影响，结果表明：合适的生长温度有利于改善AZO／Cu双层薄膜的晶体质量，进而提高其光电性能；150℃下沉积的薄膜具有最佳品质因子1．11×10^-2Ω^-1，此时方块电阻为8．99Ω／sq，可见光透过率为80％，近红外反射率约70％。本文在较低温度下制备的AZO／Cu双层膜具有较优的透明导电性和良好的近红外反射性，可以广泛应用于镀膜玻璃、太阳能电池、平板显示器等光电领域。
关键词
AZO
多层结构薄膜
光电性能
生长温度
Keywords
AZO
multiplayer films
photoelectric properties
growth temperature
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Cu基Al掺杂ZnO多层薄膜的生长和性能
王钰萍
叶春丽
吕建国
丛宏林
江忠永
叶志镇
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012
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职称材料
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