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联合载荷下无裂纹DLC薄膜的内应力有限元分析
被引量：
9
1
作者
蔺增
孙少妮
+3 位作者
王永
巴德纯
韩清凯
刘春明
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期550-554,共5页
本文用有限元分析的方法,对受法向和切向联合载荷作用下的无裂纹类金刚石(DLC)薄膜系统内部应力进行了模拟计算,分析了不同摩擦系数和膜厚比对于内部应力的影响,数值模拟结果表明:较大的摩擦系数可以使得界面处剪切应力和Mises等效应力...
本文用有限元分析的方法,对受法向和切向联合载荷作用下的无裂纹类金刚石(DLC)薄膜系统内部应力进行了模拟计算,分析了不同摩擦系数和膜厚比对于内部应力的影响,数值模拟结果表明:较大的摩擦系数可以使得界面处剪切应力和Mises等效应力以及y轴Mises等效应力显著增大,而对于界面处的y向压应力影响不是很大。在一定的范围内(0<t/a<0.1),DLC薄膜的厚度越大越有利于薄膜体系内部应力的改善。模拟结果能为不同膜系系统中涂层基底结合力的评价以及界面失效临界应力的预估提供参考。
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关键词
DLC薄膜
有限元分析
结合强度
应力分析
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职称材料
题名
联合载荷下无裂纹DLC薄膜的内应力有限元分析
被引量：
9
1
作者
蔺增
孙少妮
王永
巴德纯
韩清凯
刘春明
机构
机械工程与自动化
学院
东北大学
材料与冶金学院东北大学
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期550-554,共5页
基金
辽宁省博士启动基金项目(20071019)
中央高校基本科研业务费专项基金资助项目(90403002)
文摘
本文用有限元分析的方法,对受法向和切向联合载荷作用下的无裂纹类金刚石(DLC)薄膜系统内部应力进行了模拟计算,分析了不同摩擦系数和膜厚比对于内部应力的影响,数值模拟结果表明:较大的摩擦系数可以使得界面处剪切应力和Mises等效应力以及y轴Mises等效应力显著增大,而对于界面处的y向压应力影响不是很大。在一定的范围内(0<t/a<0.1),DLC薄膜的厚度越大越有利于薄膜体系内部应力的改善。模拟结果能为不同膜系系统中涂层基底结合力的评价以及界面失效临界应力的预估提供参考。
关键词
DLC薄膜
有限元分析
结合强度
应力分析
Keywords
Diamond-like carbon film
Finite element method
Adhesion strength
Stress analysis
分类号
TH117 [机械工程—机械设计及理论]
TB301 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
联合载荷下无裂纹DLC薄膜的内应力有限元分析
蔺增
孙少妮
王永
巴德纯
韩清凯
刘春明
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
9
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