期刊文献+
共找到7篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
联合载荷下无裂纹DLC薄膜的内应力有限元分析 被引量:9
1
作者 蔺增 孙少妮 +3 位作者 王永 巴德纯 韩清凯 刘春明 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期550-554,共5页
本文用有限元分析的方法,对受法向和切向联合载荷作用下的无裂纹类金刚石(DLC)薄膜系统内部应力进行了模拟计算,分析了不同摩擦系数和膜厚比对于内部应力的影响,数值模拟结果表明:较大的摩擦系数可以使得界面处剪切应力和Mises等效应力... 本文用有限元分析的方法,对受法向和切向联合载荷作用下的无裂纹类金刚石(DLC)薄膜系统内部应力进行了模拟计算,分析了不同摩擦系数和膜厚比对于内部应力的影响,数值模拟结果表明:较大的摩擦系数可以使得界面处剪切应力和Mises等效应力以及y轴Mises等效应力显著增大,而对于界面处的y向压应力影响不是很大。在一定的范围内(0<t/a<0.1),DLC薄膜的厚度越大越有利于薄膜体系内部应力的改善。模拟结果能为不同膜系系统中涂层基底结合力的评价以及界面失效临界应力的预估提供参考。 展开更多
关键词 DLC薄膜 有限元分析 结合强度 应力分析
在线阅读 下载PDF
钛种植体表面润湿性控制的实验研究 被引量:6
2
作者 蔺增 王永 +3 位作者 王凤 高丁 李建昌 巴德纯 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期969-973,共5页
首先用喷砂酸蚀法对钛种植体表面进行粗化处理,制备出具有微米-纳米双微观孔洞结构的超亲水表面。然后用等离子体氧化的工艺,制备具有超亲水性能的氧化钛表面,发现表面亲水性能随自偏压的增加先减小后增加,随处理时间的增加而减小。在3... 首先用喷砂酸蚀法对钛种植体表面进行粗化处理,制备出具有微米-纳米双微观孔洞结构的超亲水表面。然后用等离子体氧化的工艺,制备具有超亲水性能的氧化钛表面,发现表面亲水性能随自偏压的增加先减小后增加,随处理时间的增加而减小。在360V自偏压、20 min处理时间和1 ml/min(标准状态)氧气流量时能到超亲水效果的锐钛矿二氧化钛表面。最后尝试用十二烷基三氯硅烷和分子自组装法在粗糙的氧化钛表面制备疏水表面,最大角度可达120°,利用等离子体处理和紫外光照射成功实现了表面由超亲水到疏水之间的转换。 展开更多
关键词 钛种植体 润湿性控制 喷砂酸蚀法 等离子体氧化 分子自组装法
在线阅读 下载PDF
离子能流密度对AISI304不锈钢氮化层摩擦性能的影响 被引量:4
3
作者 徐林 巴德纯 +1 位作者 王庆 郭德宇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1019-1023,共5页
采用低温等离子体氮化技术,对AISI304不锈钢进行表面氮化处理。考察了离子能流密度对不锈钢氮化层性能的影响。运用X射线衍射、扫描电镜和显微硬度计等分析手段对氮化层的物相组成及表面硬度进行分析及测量;利用球-盘摩擦实验在干摩擦... 采用低温等离子体氮化技术,对AISI304不锈钢进行表面氮化处理。考察了离子能流密度对不锈钢氮化层性能的影响。运用X射线衍射、扫描电镜和显微硬度计等分析手段对氮化层的物相组成及表面硬度进行分析及测量;利用球-盘摩擦实验在干摩擦条件下对氮化层的摩擦磨损性能进行测试。结果表明:AISI304不锈钢经低温等离子体氮化处理后,形成单一高氮面心立方相γN。在氮化处理过程中,离子能流密度受工作压力及基片负偏压影响较大。离子能流密度变化能显著影响不锈钢氮化层的摩擦性能,随着离子能流密度的增加,氮化层显微硬度增大,摩擦系数减小,耐磨损性能上升。 展开更多
关键词 AISI304不锈钢 氮化层 表面改性 能流密度 摩擦性能
在线阅读 下载PDF
医用锻造CoCrMo合金高压直流等离子氮化性能研究 被引量:1
4
作者 徐林 巴德纯 王庆 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期311-315,共5页
采用高压直流等离子体氮化技术,对医用锻造钴铬钼合金进行表面氮化处理,考察了氮化温度对钴铬钼合金摩擦性能及润湿性能的影响。运用x射线衍射仪分析氮化层物相组成,显微硬度计和光学动/静态接触角仪测试合金表面显微硬度及接触角... 采用高压直流等离子体氮化技术,对医用锻造钴铬钼合金进行表面氮化处理,考察了氮化温度对钴铬钼合金摩擦性能及润湿性能的影响。运用x射线衍射仪分析氮化层物相组成,显微硬度计和光学动/静态接触角仪测试合金表面显微硬度及接触角数值;利用球-盘摩擦实验在干摩擦条件下对氮化层的摩擦磨损性能进行测试。实验结果表明:医用锻造钴铬钼合金经高压直流等离子体氮化处理后,形成硬质化合物CrN和Cr_2N,氮化层厚度4.5~9.5μm,合金显微硬度随氮化温度升高而增加,最高可达788HV。与未处理合金试样相比,氮化合金的亲水性及耐磨损性得到明显改善,氮化温度为800℃时磨损率最低,磨痕宽度最窄,耐磨损性能最佳。 展开更多
关键词 医用锻造钴铬钼合金 高压直流等离子体氮化 显微硬度 润湿性 摩擦性能
在线阅读 下载PDF
外载荷下带有界面裂纹的DLC薄膜应力响应研究
5
作者 蔺增 张浩良 +2 位作者 庞骏德 程春玉 王凤 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期473-476,共4页
用有限元分析的方法,对受法向和切向联合载荷作用下的带界面裂纹类金刚石碳(DLC)膜力学响应进行了模拟研究。分析了薄膜厚度、裂纹长度和裂纹宽度对内部应力的影响。数值模拟结果表明:薄膜厚度对表面和界面处的应力有显著的影响;Mises... 用有限元分析的方法,对受法向和切向联合载荷作用下的带界面裂纹类金刚石碳(DLC)膜力学响应进行了模拟研究。分析了薄膜厚度、裂纹长度和裂纹宽度对内部应力的影响。数值模拟结果表明:薄膜厚度对表面和界面处的应力有显著的影响;Mises等效应力的幅值和最大应力的位置对裂纹长度非常敏感,而对裂纹宽度的敏感度低。在一定的范围内(0<t/a<0.1),较厚的DLC薄膜有利于薄膜系统内部应力的改善。模拟结果能够为不同膜系中薄膜基体结合力的评价以及界面失效临界应力的预估提供参考。 展开更多
关键词 类金刚石碳膜 有限元分析 界面裂纹 力学响应 应力分析
在线阅读 下载PDF
聚碳酸酯表面碳基薄膜的制备及其光学性能研究
6
作者 程春玉 蔺增 +1 位作者 王凤 巴德纯 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2014年第9期890-895,共6页
用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法在聚碳酸酯(PC)片上沉积类金刚石(DLC)薄膜,用射频磁控溅射方法制备过渡层以提高膜基结合力及控制光路。本文利用激光拉曼光谱检测薄膜的微观结构,利用X射线光电子能谱分析试样中元素组成... 用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法在聚碳酸酯(PC)片上沉积类金刚石(DLC)薄膜,用射频磁控溅射方法制备过渡层以提高膜基结合力及控制光路。本文利用激光拉曼光谱检测薄膜的微观结构,利用X射线光电子能谱分析试样中元素组成,利用扫描电子显微镜观察薄膜的表面形貌,利用摩擦磨损试验机测试薄膜的摩擦学性能,利用紫外-可见光分光光度计研究试样在沉积碳膜后的光学性能。结果表明:利用RF-PECVD方法在PC片上沉积的薄膜为DLC薄膜,试样的摩擦系数与薄膜中sp3百分比有关,其光学特性与薄膜中sp2百分比有关,通过对不同过渡层的研究发现使用Si过渡层对形成高质量高透光率的DLC薄膜更加有利。 展开更多
关键词 聚碳酸酯 含氢碳膜 射频等离子体增强化学气相沉积 摩擦学性能 光学性能
在线阅读 下载PDF
电子回旋共振波等离子体及其应用 被引量:3
7
作者 殷冀平 蔺增 巴德纯 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期324-333,共10页
电子回旋共振波等离子体是依靠特殊的电磁波与电学各向异性材料相互作用来实现的,它被证明是一种适用于改进传统真空镀膜工艺的高效技术。与传统辉光等离子体放电系统相比,电子回旋共振波系统的特点是产生高离子电流密度、能量分布集中... 电子回旋共振波等离子体是依靠特殊的电磁波与电学各向异性材料相互作用来实现的,它被证明是一种适用于改进传统真空镀膜工艺的高效技术。与传统辉光等离子体放电系统相比,电子回旋共振波系统的特点是产生高离子电流密度、能量分布集中的等离子体,能够实现半导体薄膜的低压高速沉积,具有离化率高、放电反应室内无电极、适合大面积薄膜沉积等优点。在实际实验及应用中常使用双电源驱动等离子体放电系统,利用电子回旋共振波原理进行等离子体放电,而使用另一个独立的射频(或者直流)电源系统来驱动等离子体束流的引出,在等离子体放电过程中可实现独立、精确控制离子电流密度和离子能量等参数,在半导体薄膜沉积、精密刻蚀、等离子体源等领域有着重要的应用。本文主要介绍了电子回旋共振波等离子体原理、特点,并结合实验与诊断方法朗缪尔探针等技术来展示其研究应用进展。 展开更多
关键词 电子回旋共振波 薄膜沉积 等离子体源 朗缪尔探针
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部