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题名圆锥体全局角度尺寸评定方法
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作者
赵新宇
赵则祥
李彬
任东旭
席建普
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机构
中原工学院计算机学院
中原工学院机电学院
机械工业光学传感与测试技术重点实验室
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024年第3期455-464,共10页
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基金
国家自然科学基金(51975598)。
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文摘
提出了基于圆周轮廓提取方案的圆锥全局角度尺寸的评定方法,建立了圆锥最小二乘全局角度尺寸和最大最小全局角度尺寸的评定模型。基于所建立的评定模型,给出了圆锥全局角度尺寸评定的飞蛾扑火优化算法(MFO)的流程图,并编制了圆锥全局角度尺寸评定及最小二乘圆锥面、最大最小圆锥面可视化程序。采用所编制的程序,对4个圆锥仿真试样进行了最小二乘全局角度尺寸和最大最小全局角度尺寸评定,对其不同评定方法、不同优化初始参数和不同优化方法得到的全局评定结果进行了比较。用乌鸦搜索算法、人工生态优化算法、平衡优化器算法和粒子群优化算法对1个试样的最大最小全局角度尺寸进行了评定,并与MFO的评定结果进行了比较。除了优化初始值对评定结果有影响外,搜索区间、种群数和最大迭代次数对评定结果均有影响,但其规律性不强。总体上讲,MFO的评定结果优于其他4种优化方法的评定结果。
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关键词
几何量计量
圆锥
最小二乘全局角度尺寸
最大最小全局角度尺寸
飞蛾扑火优化算法
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Keywords
geometric metrology
cone
least square global angular size
minimax global angular size
mothflame optimization
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分类号
TB92
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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题名激光振镜直写光栅误差分析及校正方法
被引量：1
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作者
任东旭
周梦园
牛奚
李彬
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机构
中原工学院机电学院
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第12期1840-1845,共6页
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基金
国家自然科学基金(No.51905558
No.51975599)资助。
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文摘
针对振镜式激光直写光栅系统中存在的扫描畸变的问题,提出了一种内部转角优化和外部扫描误差补偿相结合的校正方法。以光栅栅距10μm为目标,建立了振镜系统的几何光学模型,对扫描误差进行了分析,然后对振镜转角进行了优化,进一步对振镜进行了曲线拟合补偿,坐标点(100,10)处误差从0936mm,1912mm降低到0148μm,00296μm。结果表明,这种方法能够满足振镜式激光直写光栅在短距离刻划的精度要求。
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关键词
激光直写
二维振镜
误差校正
曲线拟合
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Keywords
laser direct writing
2D galvanometer
error compensation
curve fitting
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
TN247
[电子电信—物理电子学]
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