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化学气相沉积法制备ZnSe多晶材料的缺陷研究
被引量：
3
1
作者
魏乃光
蒋立朋
+8 位作者
李冬旭
杨海
袁琴
郭立
田智瑞
宋姿霖
刘晓华
黎建明
张鹏飞
《人工晶体学报》
EI
CAS
北大核心
2020年第1期152-157,共6页
本文介绍了ZnSe晶体的制备方法及其重要应用背景,系统地总结了化学气相沉积法(CVD)制备ZnSe过程中产生的各类缺陷,包括云雾、孔洞和微裂纹、夹杂、分层和胞状物。采用SEM、体视显微镜、金相显微镜、傅里叶光谱仪等方法对缺陷进行了表征...
本文介绍了ZnSe晶体的制备方法及其重要应用背景,系统地总结了化学气相沉积法(CVD)制备ZnSe过程中产生的各类缺陷,包括云雾、孔洞和微裂纹、夹杂、分层和胞状物。采用SEM、体视显微镜、金相显微镜、傅里叶光谱仪等方法对缺陷进行了表征。结合国内外文献和检测结果,对各类缺陷可能的产生机理及抑制方法进行了阐述与分析。
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关键词
化学气相沉积法(CVD)
ZNSE
缺陷
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职称材料
化学气相沉积(CVD)工艺对ZnS力学性能影响的研究
被引量：
1
2
作者
李冬旭
魏乃光
+8 位作者
蒋立朋
黎建明
杨海
张鹏飞
牛延星
田智瑞
郭立
杨建纯
刘晓华
《人工晶体学报》
EI
CAS
北大核心
2019年第8期1430-1437,共8页
介绍了化学气相沉积法(CVD)制备ZnS过程中,CVD工艺对材料相关力学性能的影响和控制方法。通过X射线衍射分析、扫描电镜和金相显微镜等手段研究了不同工艺下制备的ZnS样品材料的内部结构和缺陷,提出了ZnS生长过程中晶粒尺寸和材料缺陷的...
介绍了化学气相沉积法(CVD)制备ZnS过程中,CVD工艺对材料相关力学性能的影响和控制方法。通过X射线衍射分析、扫描电镜和金相显微镜等手段研究了不同工艺下制备的ZnS样品材料的内部结构和缺陷,提出了ZnS生长过程中晶粒尺寸和材料缺陷的控制方法。研究结果表明,设计合理的喷嘴结构,营造稳定的CVD生长环境,提高CVDZnS毛坯一致性,抑制材料缺陷形成,有助于提升ZnS材料力学相关性能。
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关键词
化学气相沉积法(CVD)
晶粒尺寸
喷射结构
力学性能
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职称材料
题名
化学气相沉积法制备ZnSe多晶材料的缺陷研究
被引量：
3
1
作者
魏乃光
蒋立朋
李冬旭
杨海
袁琴
郭立
田智瑞
宋姿霖
刘晓华
黎建明
张鹏飞
机构
有研科技集团有研国晶辉新材料有限公司
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
北大核心
2020年第1期152-157,共6页
文摘
本文介绍了ZnSe晶体的制备方法及其重要应用背景,系统地总结了化学气相沉积法(CVD)制备ZnSe过程中产生的各类缺陷,包括云雾、孔洞和微裂纹、夹杂、分层和胞状物。采用SEM、体视显微镜、金相显微镜、傅里叶光谱仪等方法对缺陷进行了表征。结合国内外文献和检测结果,对各类缺陷可能的产生机理及抑制方法进行了阐述与分析。
关键词
化学气相沉积法(CVD)
ZNSE
缺陷
Keywords
chemical vapor deposition(CVD)
ZnSe
defect
分类号
TN213 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
化学气相沉积(CVD)工艺对ZnS力学性能影响的研究
被引量：
1
2
作者
李冬旭
魏乃光
蒋立朋
黎建明
杨海
张鹏飞
牛延星
田智瑞
郭立
杨建纯
刘晓华
机构
有研科技集团有研国晶辉新材料有限公司
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
北大核心
2019年第8期1430-1437,共8页
基金
军工资助项目
文摘
介绍了化学气相沉积法(CVD)制备ZnS过程中,CVD工艺对材料相关力学性能的影响和控制方法。通过X射线衍射分析、扫描电镜和金相显微镜等手段研究了不同工艺下制备的ZnS样品材料的内部结构和缺陷,提出了ZnS生长过程中晶粒尺寸和材料缺陷的控制方法。研究结果表明,设计合理的喷嘴结构,营造稳定的CVD生长环境,提高CVDZnS毛坯一致性,抑制材料缺陷形成,有助于提升ZnS材料力学相关性能。
关键词
化学气相沉积法(CVD)
晶粒尺寸
喷射结构
力学性能
Keywords
chemical vapor deposition (CVD)
grain size
jet structure
mechanical property
分类号
TN213 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
化学气相沉积法制备ZnSe多晶材料的缺陷研究
魏乃光
蒋立朋
李冬旭
杨海
袁琴
郭立
田智瑞
宋姿霖
刘晓华
黎建明
张鹏飞
《人工晶体学报》
EI
CAS
北大核心
2020
3
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职称材料
2
化学气相沉积(CVD)工艺对ZnS力学性能影响的研究
李冬旭
魏乃光
蒋立朋
黎建明
杨海
张鹏飞
牛延星
田智瑞
郭立
杨建纯
刘晓华
《人工晶体学报》
EI
CAS
北大核心
2019
1
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职称材料
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